UNIVEX C Hệ thống lắng đọng cụm và tùy chỉnh

Đối với các ứng dụng đặc biệt, chúng tôi cũng có thể cung cấp các hệ thống cụm hoặc tùy chỉnh dựa trên khái niệm mô-đun UNIVEX.

Liên hệ với chúng tôi

Cửa hàng trực tuyến

Thiết kế hệ thống tùy chỉnh

Trình tự quy trình có thể lập trình, được kiểm soát công thức

Chân không quy trình tuyệt vời, ít ô nhiễm khí dư

UNIVEX C - CỤM
UNIVEX C - TÙY CHỈNH

UNIVEX C - CỤM

Các cụm UNIVEX của chúng tôi được trang bị theo yêu cầu của khách hàng và kết hợp các khoang xử lý, khóa tải và chuyển riêng biệt. Nói chung, mỗi buồng chân không sẽ có hệ thống chân không cao riêng. Trong trường hợp đơn giản nhất, khoang khóa tải được nạp thủ công với các chất nền riêng lẻ. Ngoài ra, có thể xử lý nhiều chất nền trên mỗi lô.

Để vận chuyển các chất nền giữa các buồng chân không riêng lẻ, cánh tay robot truyền động bằng động cơ hoặc bộ truyền động truyền tuyến tính thường được sử dụng. Phần mềm điều khiển UNIVEX được tùy chỉnh theo yêu cầu ứng dụng cụ thể, và thường sẽ cho phép vận hành quy trình hoàn toàn tự động bao gồm xử lý công thức.

UNIVEX C - TÙY CHỈNH

Trong trường hợp không có loại hệ thống UNIVEX nào phù hợp với yêu cầu của bạn, bạn muốn có bất kỳ kích thước hoặc chiều cao buồng chứa nào khác nhau? Đừng lo lắng, hãy liên hệ với chúng tôi.

Chúng tôi mong muốn làm cho hệ thống của bạn trở nên khả thi!