Hệ thống phủ hộp UNIVEX Được xác định bởi kích thước buồng
Hệ thống phủ hộp nhỏ gọn của chúng tôi cho phép tiếp cận trực tiếp buồng xử lý.
- UNIVEX 250
- UNIVEX 400
- UNIVEX 600
- UNIVEX 900
UNIVEX 250
UNIVEX 250
Cổng vào quy trình phủ liền mạch của bạn, được thiết kế đặc biệt cho các trường đại học, phòng thí nghiệm, trường trung học kỹ thuật và cơ sở R&D công nghiệp trên toàn thế giới.
UNIVEX 250 cung cấp một giải pháp tiết kiệm chi phí mà không ảnh hưởng đến chất lượng hoặc hiệu suất, đảm bảo bạn đạt được kết quả chính xác và nhất quán. Với các nút điều khiển trực quan và vận hành dễ dàng, thiết bị này hoàn hảo cho người dùng ở mọi cấp độ.
UNIVEX 250 đáp ứng nhiều nhu cầu phủ khác nhau, từ kim loại hóa tiếp xúc đến hình ảnh tương phản cho các ứng dụng kính hiển vi và màng mỏng.
Thiết kế mạnh mẽ và hiệu suất đáng tin cậy làm cho nó trở thành một công cụ thiết yếu cho bất kỳ môi trường khoa học hoặc công nghiệp nào, cung cấp khả năng tiếp cận thuận tiện, khả năng mở rộng mô-đun và khả năng di động cho sự linh hoạt tối đa.
Ứng dụng điển hình:
- Kim loại hóa tiếp xúc (làm bay hơi vàng, bạc, crom, niken, titan, v.v.)
- Hình ảnh tương phản cho kính hiển vi (indium, carbon, v.v.)
- Màng năng lượng mặt trời mỏng
- Mục đích giáo dục tại các trường trung học và đại học
Các cài đặt
- Bình bay hơi nhiệt
- Bình bay hơi chùm tia E
- Vòi phun nước
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Kích cỡ khoang | chiều rộng: 270 mm, chiều sâu: 370 mm, chiều cao: 400 mm |
| Kích thước | chiều rộng: 1400 mm, chiều sâu: 950 mm, chiều cao: 1800 mm |
| Bình bay hơi | lên đến 4 vật liệu |
| Bình bay hơi hữu cơ | lên đến 4 vật liệu |
| Bình bay hơi chùm tia điện | nhiều túi hoặc một túi |
| Vòi phun nước | lên đến 2 x 2" nguồn |
| Đồng khoáng | có thể bay hơi và/hoặc phún xạ |
| Kiểm soát hệ thống | PLC có màn hình |
| Cảm biến độ dày màng | Tinh thể thạch anh |
| Mức chân không | < 1 E-6 mbar |
| Tương thích với phòng sạch | Có |
UNIVEX 400
UNIVEX 400
UNIVEX 400 là một hệ thống phủ nhỏ gọn dành cho các nhiệm vụ trong phòng thí nghiệm, tương ứng với các quy trình sản xuất thử nghiệm. Do kích thước khoang, nó lý tưởng để phủ các chất nền có kích thước nhỏ đến trung bình.
Chất nền / giá đỡ chất nền lên đến đường kính tổng thể tối đa 350 mm có thể được phủ.
Bộ điều khiển hệ thống cho phép bạn chạy các quy trình phủ thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
Ứng dụng điển hình
- Năng lượng mặt trời màng mỏng: Quy trình phún xạ CdTe, CIGS, CZTS
- Điện tử hữu cơ (PV, OLEDS)
- Lớp phủ quang học
- Vi điện tử
Cấu hình thông thường
- Chùm tia điện tử nhiều túi với bình bay hơi nhiệt và nguồn ion.
- Lên đến bốn súng phún xạ 2" trong cấu hình đồng tiêu để phún xạ lên hoặc xuống
- Bình bay hơi chùm tia điện tử và chất hữu cơ để hình thành perovskite vô cơ-hữu cơ
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Kích cỡ khoang |
chiều rộng: 420 mm, chiều sâu: 480 mm, chiều cao: 550 mm |
Bình bay hơi |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi hữu cơ |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi chùm tia điện |
nhiều túi hoặc một túi |
Vòi phun nước |
lên hoặc xuống, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" hoặc khác |
Đồng khoáng |
bay hơi và/hoặc phún xạ |
Khóa tải tương thích |
tùy chọn |
Lắng đọng hỗ trợ ion |
tùy chọn |
Buồng làm ấm bằng nước |
có |
Mức chân không |
trung bình 10 -7 mbar |
Phiên bản UHV |
tùy chọn |
Tương thích với phòng sạch |
có |
UNIVEX 600
UNIVEX 600
UNIVEX 600 là một hệ thống phủ nhỏ gọn dành cho phòng thí nghiệm, tương ứng với các quy trình sản xuất thử nghiệm. Do kích thước buồng của nó, nó phù hợp với kích thước chất nền từ trung bình đến lớn.
Thông lượng chất nền đạt được đáp ứng các yêu cầu chung cho các lô sản xuất nhỏ. Chất nền / giá đỡ chất nền tối đa tổng đường kính 550 mm có thể được phủ.
Bộ điều khiển hệ thống cho phép bạn chạy các quy trình phủ thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
Ứng dụng điển hình
- Lớp phủ quang học
- Thiết bị quang điện tử
- RAM điện trở
- Siêu dẫn nhiệt độ cao
Cấu hình thông thường
- Máy sưởi và/hoặc máy làm mát bề mặt
- Chùm tia điện tử nhiều túi với bình bay hơi nhiệt và nguồn ion.
- Cấu hình bề mặt pallet, vòm hoặc hành tinh cho một hoặc nhiều mẫu
- Nhiều súng phún xạ trong cấu hình đồng tiêu hoặc mặt đối mặt
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Kích cỡ khoang |
Chiều rộng: 600 mm Độ sâu: 600 mm Chiều cao: 800 mm hoặc 550 mm (phún xạ) |
Bình bay hơi |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi hữu cơ |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi chùm tia điện |
nhiều túi và/hoặc một túi, vận hành nhiều súng |
Vòi phun nước |
lên hoặc xuống: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" hoặc khác |
Đồng khoáng |
bay hơi và/hoặc phún xạ |
Khóa tải tương thích |
tùy chọn |
Lắng đọng hỗ trợ ion |
tùy chọn |
Buồng làm ấm bằng nước |
có |
Mức chân không |
trung bình 10 -7 mbar |
Phiên bản UHV |
tùy chọn |
Tương thích với phòng sạch |
có |
UNIVEX 900
UNIVEX 900
UNIVEX 900 là giải pháp tinh vi nhất cho kích thước chất nền từ trung bình đến lớn, tương ứng cho công suất chất nền cao hơn. Có thể phủ các chất nền / giá đỡ chất nền có đường kính tổng thể lên đến 800 mm. Bộ điều khiển hệ thống cho phép bạn chạy các quy trình phủ thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
Ứng dụng điển hình
- Lớp phủ quang học
- Thiết bị quang điện tử
- RAM điện trở
- Siêu dẫn nhiệt độ cao
Cấu hình thông thường
- Máy sưởi và/hoặc máy làm mát bề mặt
- Chùm tia điện tử đa túi với các nguồn ion để làm sạch sơ bộ chất nền và lắng đọng hỗ trợ ion
- Cấu hình bề mặt pallet, vòm hoặc hành tinh cho một hoặc nhiều mẫu
- Nhiều súng phún xạ trong cấu hình đồng tiêu hoặc mặt đối mặt
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Kích cỡ khoang |
Chiều rộng: 900 mm Độ sâu: 900 mm Chiều cao: 1100 mm |
Bình bay hơi |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi hữu cơ |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi chùm tia điện |
nhiều túi và/hoặc một túi, vận hành nhiều súng |
Vòi phun nước |
tùy chọn |
Đồng khoáng |
có |
Khóa tải tương thích |
tùy chọn |
Lắng đọng hỗ trợ ion |
tùy chọn |
Buồng làm ấm bằng nước |
có |
Mức chân không |
trung bình 10 -7 mbar |
Phiên bản UHV |
tùy chọn |
Tương thích với phòng sạch |
có |
UNIVEX 250
Cổng vào quy trình phủ liền mạch của bạn, được thiết kế đặc biệt cho các trường đại học, phòng thí nghiệm, trường trung học kỹ thuật và cơ sở R&D công nghiệp trên toàn thế giới.
UNIVEX 250 cung cấp một giải pháp tiết kiệm chi phí mà không ảnh hưởng đến chất lượng hoặc hiệu suất, đảm bảo bạn đạt được kết quả chính xác và nhất quán. Với các nút điều khiển trực quan và vận hành dễ dàng, thiết bị này hoàn hảo cho người dùng ở mọi cấp độ.
UNIVEX 250 đáp ứng nhiều nhu cầu phủ khác nhau, từ kim loại hóa tiếp xúc đến hình ảnh tương phản cho các ứng dụng kính hiển vi và màng mỏng.
Thiết kế mạnh mẽ và hiệu suất đáng tin cậy làm cho nó trở thành một công cụ thiết yếu cho bất kỳ môi trường khoa học hoặc công nghiệp nào, cung cấp khả năng tiếp cận thuận tiện, khả năng mở rộng mô-đun và khả năng di động cho sự linh hoạt tối đa.
Ứng dụng điển hình:
- Kim loại hóa tiếp xúc (làm bay hơi vàng, bạc, crom, niken, titan, v.v.)
- Hình ảnh tương phản cho kính hiển vi (indium, carbon, v.v.)
- Màng năng lượng mặt trời mỏng
- Mục đích giáo dục tại các trường trung học và đại học
Các cài đặt
- Bình bay hơi nhiệt
- Bình bay hơi chùm tia E
- Vòi phun nước
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Kích cỡ khoang | chiều rộng: 270 mm, chiều sâu: 370 mm, chiều cao: 400 mm |
| Kích thước | chiều rộng: 1400 mm, chiều sâu: 950 mm, chiều cao: 1800 mm |
| Bình bay hơi | lên đến 4 vật liệu |
| Bình bay hơi hữu cơ | lên đến 4 vật liệu |
| Bình bay hơi chùm tia điện | nhiều túi hoặc một túi |
| Vòi phun nước | lên đến 2 x 2" nguồn |
| Đồng khoáng | có thể bay hơi và/hoặc phún xạ |
| Kiểm soát hệ thống | PLC có màn hình |
| Cảm biến độ dày màng | Tinh thể thạch anh |
| Mức chân không | < 1 E-6 mbar |
| Tương thích với phòng sạch | Có |
UNIVEX 400
UNIVEX 400 là một hệ thống phủ nhỏ gọn dành cho các nhiệm vụ trong phòng thí nghiệm, tương ứng với các quy trình sản xuất thử nghiệm. Do kích thước khoang, nó lý tưởng để phủ các chất nền có kích thước nhỏ đến trung bình.
Chất nền / giá đỡ chất nền lên đến đường kính tổng thể tối đa 350 mm có thể được phủ.
Bộ điều khiển hệ thống cho phép bạn chạy các quy trình phủ thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
Ứng dụng điển hình
- Năng lượng mặt trời màng mỏng: Quy trình phún xạ CdTe, CIGS, CZTS
- Điện tử hữu cơ (PV, OLEDS)
- Lớp phủ quang học
- Vi điện tử
Cấu hình thông thường
- Chùm tia điện tử nhiều túi với bình bay hơi nhiệt và nguồn ion.
- Lên đến bốn súng phún xạ 2" trong cấu hình đồng tiêu để phún xạ lên hoặc xuống
- Bình bay hơi chùm tia điện tử và chất hữu cơ để hình thành perovskite vô cơ-hữu cơ
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Kích cỡ khoang |
chiều rộng: 420 mm, chiều sâu: 480 mm, chiều cao: 550 mm |
Bình bay hơi |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi hữu cơ |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi chùm tia điện |
nhiều túi hoặc một túi |
Vòi phun nước |
lên hoặc xuống, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" hoặc khác |
Đồng khoáng |
bay hơi và/hoặc phún xạ |
Khóa tải tương thích |
tùy chọn |
Lắng đọng hỗ trợ ion |
tùy chọn |
Buồng làm ấm bằng nước |
có |
Mức chân không |
trung bình 10 -7 mbar |
Phiên bản UHV |
tùy chọn |
Tương thích với phòng sạch |
có |
UNIVEX 600
UNIVEX 600 là một hệ thống phủ nhỏ gọn dành cho phòng thí nghiệm, tương ứng với các quy trình sản xuất thử nghiệm. Do kích thước buồng của nó, nó phù hợp với kích thước chất nền từ trung bình đến lớn.
Thông lượng chất nền đạt được đáp ứng các yêu cầu chung cho các lô sản xuất nhỏ. Chất nền / giá đỡ chất nền tối đa tổng đường kính 550 mm có thể được phủ.
Bộ điều khiển hệ thống cho phép bạn chạy các quy trình phủ thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
Ứng dụng điển hình
- Lớp phủ quang học
- Thiết bị quang điện tử
- RAM điện trở
- Siêu dẫn nhiệt độ cao
Cấu hình thông thường
- Máy sưởi và/hoặc máy làm mát bề mặt
- Chùm tia điện tử nhiều túi với bình bay hơi nhiệt và nguồn ion.
- Cấu hình bề mặt pallet, vòm hoặc hành tinh cho một hoặc nhiều mẫu
- Nhiều súng phún xạ trong cấu hình đồng tiêu hoặc mặt đối mặt
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Kích cỡ khoang |
Chiều rộng: 600 mm Độ sâu: 600 mm Chiều cao: 800 mm hoặc 550 mm (phún xạ) |
Bình bay hơi |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi hữu cơ |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi chùm tia điện |
nhiều túi và/hoặc một túi, vận hành nhiều súng |
Vòi phun nước |
lên hoặc xuống: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" hoặc khác |
Đồng khoáng |
bay hơi và/hoặc phún xạ |
Khóa tải tương thích |
tùy chọn |
Lắng đọng hỗ trợ ion |
tùy chọn |
Buồng làm ấm bằng nước |
có |
Mức chân không |
trung bình 10 -7 mbar |
Phiên bản UHV |
tùy chọn |
Tương thích với phòng sạch |
có |
UNIVEX 900
UNIVEX 900 là giải pháp tinh vi nhất cho kích thước chất nền từ trung bình đến lớn, tương ứng cho công suất chất nền cao hơn. Có thể phủ các chất nền / giá đỡ chất nền có đường kính tổng thể lên đến 800 mm. Bộ điều khiển hệ thống cho phép bạn chạy các quy trình phủ thủ công, bán tự động và hoàn toàn tự động.
Ứng dụng điển hình
- Lớp phủ quang học
- Thiết bị quang điện tử
- RAM điện trở
- Siêu dẫn nhiệt độ cao
Cấu hình thông thường
- Máy sưởi và/hoặc máy làm mát bề mặt
- Chùm tia điện tử đa túi với các nguồn ion để làm sạch sơ bộ chất nền và lắng đọng hỗ trợ ion
- Cấu hình bề mặt pallet, vòm hoặc hành tinh cho một hoặc nhiều mẫu
- Nhiều súng phún xạ trong cấu hình đồng tiêu hoặc mặt đối mặt
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Kích cỡ khoang |
Chiều rộng: 900 mm Độ sâu: 900 mm Chiều cao: 1100 mm |
Bình bay hơi |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi hữu cơ |
lên đến 8 vật liệu |
Bình bay hơi chùm tia điện |
nhiều túi và/hoặc một túi, vận hành nhiều súng |
Vòi phun nước |
tùy chọn |
Đồng khoáng |
có |
Khóa tải tương thích |
tùy chọn |
Lắng đọng hỗ trợ ion |
tùy chọn |
Buồng làm ấm bằng nước |
có |
Mức chân không |
trung bình 10 -7 mbar |
Phiên bản UHV |
tùy chọn |
Tương thích với phòng sạch |
có |
- Cửa hàng trực tuyến
- Tài liệu, văn bản