Một số quy trình, ví dụ như quy trình phún xạ phản ứng, đòi hỏi tỷ lệ xảy ra nhất có thể cho các phân tử khí phản ứng trên chất nền được phủ. 

"Tỷ lệ xảy ra" giống như "tỷ lệ va chạm" được thảo luận trên trang về Khử khí; nó tỷ lệ thuận trực tiếp với áp suất một phần. Cố gắng duy trì áp suất một phần cho một thành phần khí không đổi đơn giản nhất là thông lượng bằng cách điều chỉnh bằng bộ điều khiển lưu lượng; nó có nhược điểm là bộ điều chỉnh không thể xác định xem mức tiêu thụ khí hoặc thành phần khí trong buồng chân không có thay đổi hay không, khi nào và ở đâu. Tùy chọn vượt trội và hiệu quả hơn nhiều là kiểm soát áp suất một phần bằng cách sử dụng máy đo quang phổ khối lượng thông qua các van khí vào. Ở đây các đỉnh đáng kể của các khí được xem xét được gán cho các kênh trong máy đo quang phổ khối lượng. Các bộ điều chỉnh phù hợp so sánh tín hiệu đầu ra tương tự cho các kênh này với giá trị điểm đặt và rút ra từ sự chênh lệch giữa giá trị mục tiêu và giá trị thực tế cho mỗi kênh tín hiệu kích hoạt thích hợp cho van nạp khí cho kênh. Một cấu hình như vậy đã được thực hiện để kiểm soát sáu kênh trong QUADREX PPC. Van khí vào phù hợp với thiết bị cũng có thể được cung cấp. 

Khí được sử dụng để đo tốc độ va chạm (áp suất một phần) phải tự nhiên được lấy từ một điểm đại diện trong buồng chân không. Khi đánh giá hằng số thời gian cho mạch điều chỉnh loại này, điều quan trọng là phải tính đến tất cả các khía cạnh thời gian và không chỉ là sự lan truyền tín hiệu điện và xử lý trong máy đo quang phổ khối lượng, mà còn cả hằng số thời gian và tốc độ dòng chảy của công nghệ chân không, như minh họa trong Hình 4,17. Bộ chuyển đổi áp suất hoặc đường khí đầu vào được lắp đặt không thuận lợi kết nối van điều khiển và bình chân không sẽ đóng góp đặc biệt lớn vào hằng số thời gian tổng thể. Nói chung, tốt hơn là thiết lập tỷ lệ S/N thuận lợi với tín hiệu lớn (tức là thông qua màng ngăn đầu vào có lỗ mở lớn) hơn là với thời gian tích hợp dài tại các kênh riêng lẻ. Hình 4,18 so sánh các ảnh hưởng của việc tăng áp suất và kéo dài thời gian tích hợp lên khả năng phát hiện tín hiệu. Trong các minh họa a, b và c, chỉ giai đoạn tích hợp được tăng lên, từ 0,1 đến 1,0 và 1,0 giây (do đó bằng hệ số tổng thể là 100), lần lượt. Để so sánh, trong trình tự a-d-e-f, tại thời gian tích hợp không đổi, tổng áp suất được tăng lên theo ba bước, từ 7,2 · 10 ^-6 mbar đến 7,2 · 10 ^-5 mbar (hoặc chỉ bằng hệ số tổng cộng là 10). 

Tuổi thọ catốt

Tuổi thọ của catot sẽ phụ thuộc rất nhiều vào bản chất của tải. Kinh nghiệm đã cho thấy rằng sản phẩm thời gian vận hành nhân với áp suất vận hành có thể được sử dụng làm thước đo tải. Áp suất vận hành cao hơn (trong phạm vi từ 1 · 10 ^-4 đến 1 · 10 ^-3 mbar) có tác động đặc biệt xấu đến tuổi thọ, cũng như một số ảnh hưởng hóa học nhất định như môi chất lạnh. Thay thế catốt khá dễ dàng, nhờ thiết kế đơn giản của cảm biến. Tuy nhiên, nên tận dụng cơ hội này để thay thế hoặc ít nhất là vệ sinh toàn bộ nguồn ion. 

Cân bằng cảm biến

Cân bằng cảm biến tại trục khối lượng (thường được gọi sai là hiệu chuẩn ) ngày nay được thực hiện một cách rất dễ dàng với phần mềm (ví dụ: SQX, Transpector-Ware) và có thể được quan sát trực tiếp trên màn hình. Tất nhiên, không chỉ sự sắp xếp dọc theo trục khối lượng sẽ được xác định ở đây, mà còn hình dạng của các đường, tức là độ phân giải và độ nhạy ( xem trang về Thông số kỹ thuật trong đo quang phổ khối lượng ).

Vệ sinh nguồn ion và hệ thống thanh

Chỉ cần vệ sinh cảm biến trong các trường hợp đặc biệt khi cảm biến bị bẩn nặng. Thường thì việc vệ sinh nguồn ion là hoàn toàn đủ, có thể dễ dàng tháo rời và vệ sinh. Hệ thống thanh có thể được làm sạch trong bồn rửa siêu âm sau khi được tháo ra khỏi cấu hình. Nếu việc tháo rời hệ thống là không thể tránh khỏi do bụi bẩn đặc biệt cứng đầu, thì việc điều chỉnh các thanh cần thiết sau đó sẽ phải được thực hiện tại nhà máy.