Các yếu tố chính ảnh hưởng đến độ nhạy và độ chính xác của máy đo chân không là gì Ngày 5 tháng 1 năm 2021

Một số yếu tố có thể ảnh hưởng đến độ nhạy của máy đo chân không và do đó ảnh hưởng đến độ chính xác và độ tin cậy của chúng. 

Các mối quan tâm hàng đầu là:

• Loại cảm biến
• Chân không và môi trường chung
• Loại khí nén
• Phạm vi áp suất vận hành
• Nhiệt độ 
• Độ chính xác
• Nhịp đập
• Độ rung

Để điều chỉnh độ nhạy của máy đo chân không đến mức cao nhất có thể, cần phải hiểu từng yếu tố giảm thiểu tiềm năng này và cách chúng có thể ảnh hưởng đến thiết bị của bạn. 

Không phải tất cả các máy đo đều phù hợp với mọi ứng dụng.

Có hai loại máy đo chính được sử dụng để đo chân không - máy đo ion hóa và máy đo nhiệt. Cả hai đều được xem là phương tiện đo gián tiếp, nhưng máy đo ion hóa thường được xem là kém chính xác hơn. Chúng được sử dụng tốt hơn để đo áp suất thấp.

Chân không và điều kiện môi trường xung quanh có thể khiến máy đo chịu nhiệt độ cao, từ trường lạc và gây sốc và rung không mong muốn. Môi trường chân không đang được bơm có thể phản ứng với máy đo.

Nhiệt độ nền cao và nguy cơ nước hoặc bụi xâm nhập cũng sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất của máy đo.

Máy đo thường được hiệu chuẩn tại nhà máy bằng khí nitơ, vì vậy khi sử dụng khí nitơ, hệ số hiệu chỉnh của bạn là một. Tuy nhiên, khi sử dụng một loại khí khác, máy đo phải được hiệu chuẩn cho chất đó. Không làm như vậy có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của máy đo.

Máy đo nhiệt và máy đo ion hóa có các phương trình riêng biệt được sử dụng để xác định hệ số điều chỉnh khí.

Không phải tất cả các máy đo đều có khả năng đo chính xác tất cả các phạm vi áp suất chân không. 

• Mức chân không (từ 10 mbar đến áp suất khí quyển) có thể sử dụng ống Bourdon, ống thổi, máy đo biến dạng chủ động và cảm biến điện dung.
• Máy hút chân không tầm trung (10 ^-1 đến 10 ^-3 ) nên sử dụng áp kế điện dung, cặp nhiệt điện hoặc đồng hồ đo kiểu Pirani. 
• Chân không cấp cao (10 ^-3 đến 10 ^-9 ) nên sử dụng máy đo catốt lạnh hoặc catốt nóng Bayard-Alpert.

Nhiệt độ khắc nghiệt có thể góp phần gây ra các chỉ số sai từ máy đo chân không. Điều này thường là do những nhiệt độ này phá vỡ các thành phần quan trọng của máy đo. Nhiệt độ khắc nghiệt cũng có thể tương tác với nước, tạo ra sương giá hoặc ngưng tụ có thể làm mờ chỉ số.

Máy đo thường sẽ đến từ nhà sản xuất với hiệu chuẩn "thô", trong đó không áp dụng hệ số hiệu chỉnh. Mặc dù việc áp dụng hệ số điều chỉnh khí có thể cải thiện đáng kể việc hiệu chuẩn, nhưng cần thực hiện các bước khác khi độ chính xác cao là điều cần thiết. Trong những tình huống như vậy, cần thực hiện hiệu chuẩn trên toàn bộ phạm vi áp suất và cho từng loại khí nếu có thể.

Nếu công việc đang được thực hiện gây ra các đỉnh quá áp thường xuyên và lặp đi lặp lại, điều này có thể làm hỏng máy đo. Hư hỏng này dẫn đến các vấn đề về độ chính xác.

Rung động từ máy móc nặng, động cơ và các thiết bị khác có thể làm hỏng máy đo theo thời gian. Hư hỏng này đặc biệt phổ biến trong cơ chế con trỏ, do nó thường xuyên bị lắc khỏi điểm không.

Ngoài ra, các chỉ số đo được trong khi rung động ảnh hưởng đến máy đo thường dễ bị thiếu chính xác.