IONIVAC
熱陰極 Bayard Alpert 真空計
為何選擇 IONIVAC？
我們的 IONIVAC 真空計系列，無論是被動式 (IE) 或主動式 (ITR)，都能測量到超高真空狀態。如此即可詳細追蹤實驗，並控制製程中的變數。
IONIVAC 熱陰極真空計的運作方式是讓一個熱陰極發射電子撞擊陽極。因此，測量到的氣體即為離子氣體。透過第三電極偵測到產生的正極電流，而此電流會用作與壓力成正比的訊號。
熱陰極離子化感測器根據所使用的熱陰極技術類型，提供 10-12 至 10-1 mbar (0.75·10-10 至 0.75·10-1 Torr) 的廣泛測量範圍。
- IONIVAC ITR 90/200 系列
- IONIVAC IE 414/IE 514 系列
IONIVAC ITR 90/200 系列
最佳化組合發射器
IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合，可進行 5 . 10-10 至 1000 mbar (3.75 . 10-10 至 750 torr) 的真空壓力測量。
有兩種主要版本可用：
- ITR 90 搭配單一熱陰極燈絲
- 透過內建備援功能的 ITR 200 及雙重燈絲，可延長使用壽命。萬一發生故障，它會自動切換燈絲，並指出燈絲已故障。為了進一步增加真空計使用壽命，可以執行除氣程式，重新活化燈絲效能。
- 從 1 x 10-10 mbar/torr 至大氣壓力的連續量測壓力
- 採用可交換陰極與除氣模式的輕巧設計
- 可苦加熱除氣的感測器以啟用 UHV 測量
- 提供類比、顯示、數位和 Profibus 介面，安裝簡便
- 一般 10-2 至 10-9 mbar 製程壓力範圍內具備高可重複性
- 使用被動式計量進行精確的 UHV 壓力測量，可測量至 10-12 mbar/torr
IONIVAC IE 414/IE 514 系列
UHV 測量範圍上限
我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」，具備超低基礎壓力讀數和高準確度。
與被動式真空計控制器共同運作時，這些控制器會在需要最低壓力等級之詳細壓力讀數的環境中使用。
被動式 IONIVAC IE 感測器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。
- IE 414 利用 Bayard Alpert 技術，可測量從 2 . 10-11 至 e-2 mbar (1.5e-11 至 e-2 torr) 的壓力範圍。
- 若要達到最低壓力，您需要減少 X 射線的影響。我們的 IE 514 系列真空計能以 Extrator 熱陰極離子化的方式來達成此目的。使用這種傳感器技術，您可讀取從 2e-12 至 1e-4 mbar (2e-12 至 7.5e-5 torr) 的讀數。
