Kısmi gaz basıncının ayarlanması
Kısmi gaz basıncının ayarlanması
Reaktif sputter işlemleri gibi bazı işlemler, kaplanacak olan substrat üzerinde reaksiyona giren gaz molekülleri için mümkün olduğunca sabit insidans oranları gerektirir.
"İnsidans oranı", Gaz Giderme sayfasında bahsedilen "çarpışma oranı" ile aynıdır; kısmi basınca doğrudan orantılıdır. Bir gaz bileşeni için kısmi basıncı sabit tutmanınen basit yolu akış kontrolörüyle regülasyon yapmaktır; regülatörün gaz tüketiminin veya vakum odasındaki gazın bileşiminin ne zaman ve nerede değiştiğini belirleyemeyeceği dezavantajı vardır. Çok daha üstün ve daha etkili seçenek, gaz giriş valfleri aracılığıyla kütle spektrometresi kullanarak kısmi basınç kontrolüdür. Burada dikkate alınan gazların önemli pikleri kütle spektrometresindeki kanallara atanır. Uygun regülatörler, bu kanalların analog çıkış sinyallerini nominal değerlerle karşılaştırır ve her bir kanal için nominal ve gerçek değerler arasındaki farktan kanalın gaz giriş valfi için uygun kumanda sinyalini türetir. QUADREX PPC'de altı kanalı kontrol etmek için bu tür bir konfigürasyon gerçekleştirilmiştir. Üniteye uygun gaz giriş valfleri de teslim edilebilir.
Darbe oranını (kısmi basınç) ölçmek için kullanılan gaz doğal olarak vakum haznesindeki temsili bir noktadan alınmalıdır. Bu tip bir regülasyon devresi için zaman sabitini değerlendirirken, sadece elektrik sinyalinin yayılması ve kütle spektrometresindeki işleme değil, aynı zamanda Şekil 4,17'de gösterildiği gibi vakum teknolojisi zaman sabitleri ve akış hızları da dahil olmak üzere tüm zaman yönlerini dikkate almak önemlidir. Basınç dönüştürücüleri veya kontrol valfi ile vakum kabını birleştiren uygun olmayan şekilde kurulmuş gaz giriş hatları, genel zaman sabitine özellikle büyük katkıda bulunacaktır. Genellikle, tek tek kanallarda uzun entegrasyon sürelerinden ziyade büyük bir sinyalle (yani büyük bir açıklığa sahip bir giriş diyaframı aracılığıyla) uygun bir S/N oranı oluşturmak daha iyidir. Şekil 4,18'de takviye basıncının ve entegrasyon süresinin sinyal algılanabilirliği üzerindeki etkileri zıttır. Resimler a, b ve c'de sadece entegrasyon süresi sırasıyla 0,1'den 1,0'a ve 1,0 saniyeye yükseltilmiştir (bu nedenle toplam faktör 100'dür). Karşılaştırma yaparak, sabit entegrasyon süresinde a-d-e-f sıralamasında toplam basınç üç adımda 7,2 · 10 -6 mbar'dan 7,2 · 10 -5 mbar'a (veya toplamda sadece 10 kat) yükseltilmiştir.
Şekil 4,17 Genel zaman kısıtlamaları için kısmi paylar
Şekil 4,18 Basıncı artırarak veya entegrasyon süresini uzatarak sinyal-gürültü oranını iyileştirme
Bakım
Katot kullanım ömrü
Katotun kullanım ömrü büyük ölçüde yükün yapısına bağlıdır. Deneyimler, çalışma süresinin çalışma basıncı ile çarpılmasının yükleme için bir ölçü olarak kullanılabileceğini göstermiştir. Yüksek çalışma basınçları (1 · 10 -4 ila 1 · 10 -3 mbar aralığında) kullanım ömrü üzerinde özellikle olumsuz etkiye sahiptir, örneğin soğutucu madde gibi belirli kimyasal etkiler. Sensörün basit tasarımı sayesinde katotun değiştirilmesi oldukça kolaydır. Ancak, bu fırsatı kullanarak iyon kaynağının tamamını değiştirmeniz veya en azından temizlemeniz önerilir.
Sensör dengelemesi
Kütle eksenindeki sensör dengelemesi (genellikle yanlışlıkla kalibrasyon olarak adlandırılır) günümüzde yazılımla (örn. SQX, Transpector-Ware) çok kolay bir şekilde yapılır ve doğrudan ekrandan gözlemlenebilir. Elbette burada sadece kütle ekseni boyunca düzen değil, aynı zamanda çizgilerin şekli, yani çözünürlük ve hassasiyet de belirlenir (kütle spektrometrisindeki teknik özellikler sayfasına bakın).
İyon kaynağını ve çubuk sistemini temizleme
Sensörün temizlenmesi sadece aşırı kirlenme durumunda gereklidir. Kolayca sökülebilen ve temizlenebilen iyon kaynağının temizlenmesi genellikle tamamen yeterlidir. Çubuk sistemi konfigürasyondan çıkarıldıktan sonra ultrasonik banyoda temizlenebilir. Özellikle inatçı kir nedeniyle sistemin sökülmesi kaçınılmazsa, daha sonra gerekli olacak çubukların ayarı fabrikada yapılmalıdır.
Vakum Teknolojisinin Temelleri
Vakum pompası temellerini ve proseslerini keşfetmek için "Vakum Teknolojisinin Temelleri" adlı e-Kitabımızı indirin.
Referanslar
- Vakum sembolleri
- Terimler Sözlüğü
- Referanslar ve kaynaklar
Vakum sembolleri
Vakum sembolleri
Pompa tiplerinin ve pompalama sistemlerindeki parçaların görsel bir temsili olarak vakum teknolojisi şemalarında yaygın olarak kullanılan sembollerin sözlüğü
Terimler Sözlüğü
Terimler Sözlüğü
Vakum teknolojisinde kullanılan ölçüm birimlerine ve sembollerin ne anlama geldiğine ve tarihi birimlerin modern eşdeğerlerine genel bir bakış
Referanslar ve kaynaklar
Referanslar ve kaynaklar
Vakum teknolojisinin temel bilgileriyle ilgili referanslar, kaynaklar ve daha fazla okuma
Vakum sembolleri
Pompa tiplerinin ve pompalama sistemlerindeki parçaların görsel bir temsili olarak vakum teknolojisi şemalarında yaygın olarak kullanılan sembollerin sözlüğü
Terimler Sözlüğü
Vakum teknolojisinde kullanılan ölçüm birimlerine ve sembollerin ne anlama geldiğine ve tarihi birimlerin modern eşdeğerlerine genel bir bakış
Referanslar ve kaynaklar
Vakum teknolojisinin temel bilgileriyle ilgili referanslar, kaynaklar ve daha fazla okuma
