UNIVEX G torpido gözü
İnert bir ortam altında neme ve oksijene duyarlı substratların yüklenmesi ve kaplanması
Standart eldiven kutusu sistemimiz, bir eldiven kutusunun inert ortamı altında neme ve oksijene duyarlı substratların yüklenmesini ve kaplanmasını sağlar.
UNIVEX G sistemleri, torpido gözüne bağlantı için önde kayar bir kapıya sahiptir. Bu kayar kapı, operatörün eldiven kutusu aracılığıyla proses haznesine kolayca erişmesini sağlar. Doğrudan erişim gerektiğinde UNIVEX G'nin arkasında ikinci bir kapı bulunur.
Tipik uygulamalar
- Kontak metalizasyonu (altın, gümüş, krom, nikel, titanyum vb. buharlaşması)
- Biyosensörler / tıbbi cihazlar
- Organik elektronik: OLED, organik fotovoltaik
- Kuantum noktaları / ekran
- İnorganik-organik perovskit oluşumu için e-ışın ve organik madde buharlaştırıcıları
- UNIVEX G 250
- UNIVEX G 350
- UNIVEX G 450
UNIVEX G 250
UNIVEX G 250
UNIVEX G 250, az yer gerektiren kaplama işleri için kullanışlı ve uygun maliyetli bir çözümdür.
Yaklaşık 220 mm toplam çapa kadar olan substratlar veya substrat tutucular işlenebilir.
G 250 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik 270 mm Derinlik 370 mm Yükseklik 400 mm |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
4 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
4 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep veya tek cep |
Püskürtme |
yukarı veya aşağı, 2 x 2" |
Birleştirme |
buharlaşma ve/veya püskürtme |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX G 350
UNIVEX G 350
UNIVEX G 350, kompakt tasarımı bol hazne alanı ile birleştirir.
UNIVEX G 350, birçok kaplama görevi için optimum alan koşulları ve proses bileşenlerine ve substrat işlemeye rahat erişim sunar.
Toplam çapı yaklaşık 300 mm'ye kadar olan substratlar veya substrat tutucular işlenebilir.
G 350 |
|
|---|---|
Kazan boyutu |
Genişlik: 370 mm Derinlik: 390 mm Yükseklik: 500 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
organik buharlaştırıcı |
4 malzemeye kadar |
elektron ışını buharlaşması |
Çoklu cep ve/veya tek cep |
Püskürtme sistemi |
Yukarı veya aşağı: 3 X 2" tabancalar veya 2 X 3" tabancalar |
Birleştirme |
Buharlaşma ve/veya püskürtme |
yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX G 450
UNIVEX G 450
Hazne boyutları sayesinde UNIVEX G 450, büyük alan gerektiren tüm kaplama işleri için uygundur. Toplam çapı 400 mm'nin üzerinde olan substratlar veya substrat tutucular işlenebilir. Yüksekliği 650 mm olan vakum haznesi, kaldırma uygulamaları için de uygundur.
G 450 |
|
|---|---|
Kazan boyutu |
Genişlik: 500 mm Derinlik: 500 mm Yükseklik: 650 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
elektron ışını buharlaşması |
Çoklu cep ve/veya tek cep |
Püskürtme sistemi |
Yukarı veya aşağı: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" veya diğer |
Birleştirme |
Buharlaşma ve/veya püskürtme |
yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX G 250
UNIVEX G 250, az yer gerektiren kaplama işleri için kullanışlı ve uygun maliyetli bir çözümdür.
Yaklaşık 220 mm toplam çapa kadar olan substratlar veya substrat tutucular işlenebilir.
G 250 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik 270 mm Derinlik 370 mm Yükseklik 400 mm |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
4 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
4 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep veya tek cep |
Püskürtme |
yukarı veya aşağı, 2 x 2" |
Birleştirme |
buharlaşma ve/veya püskürtme |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX G 350
UNIVEX G 350, kompakt tasarımı bol hazne alanı ile birleştirir.
UNIVEX G 350, birçok kaplama görevi için optimum alan koşulları ve proses bileşenlerine ve substrat işlemeye rahat erişim sunar.
Toplam çapı yaklaşık 300 mm'ye kadar olan substratlar veya substrat tutucular işlenebilir.
G 350 |
|
|---|---|
Kazan boyutu |
Genişlik: 370 mm Derinlik: 390 mm Yükseklik: 500 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
organik buharlaştırıcı |
4 malzemeye kadar |
elektron ışını buharlaşması |
Çoklu cep ve/veya tek cep |
Püskürtme sistemi |
Yukarı veya aşağı: 3 X 2" tabancalar veya 2 X 3" tabancalar |
Birleştirme |
Buharlaşma ve/veya püskürtme |
yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX G 450
Hazne boyutları sayesinde UNIVEX G 450, büyük alan gerektiren tüm kaplama işleri için uygundur. Toplam çapı 400 mm'nin üzerinde olan substratlar veya substrat tutucular işlenebilir. Yüksekliği 650 mm olan vakum haznesi, kaldırma uygulamaları için de uygundur.
G 450 |
|
|---|---|
Kazan boyutu |
Genişlik: 500 mm Derinlik: 500 mm Yükseklik: 650 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
elektron ışını buharlaşması |
Çoklu cep ve/veya tek cep |
Püskürtme sistemi |
Yukarı veya aşağı: 3 X 3", 2 X 4", 4 X 2" veya diğer |
Birleştirme |
Buharlaşma ve/veya püskürtme |
yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
temiz oda uyumlu |
evet |
- Online Alışveriş
- Belgeler
