UNIVEX kompakt kaplama sistemleri Hazne boyutlarıyla tanımlanır
Kompakt kaplama sistemlerimiz, proses haznesine doğrudan erişim sağlar.
- UNIVEX 250
- UNIVEX 400
- UNIVEX 600
- UNIVEX 900
UNIVEX 250
UNIVEX 250
Dünya çapındaki üniversiteler, laboratuvarlar, teknik liseler ve endüstriyel Ar-Ge tesisleri için özel olarak tasarlanmış kusursuz kaplama proseslerine geçiş noktanız.
UNIVEX 250, kaliteden veya performanstan ödün vermeyen uygun maliyetli bir çözüm sunarak hassas ve tutarlı sonuçlar elde etmenizi sağlar. Sezgisel kontrolleri ve sorunsuz çalışması sayesinde her seviyedeki kullanıcılar için mükemmeldir.
UNIVEX 250; temas metalizasyonundan, mikroskopi ve ince film uygulamaları için kontrast görüntülemeye kadar çeşitli kaplama ihtiyaçlarını karşılar.
Sağlam tasarımı ve güvenilir performansı onu, en üst düzey esneklik için rahat erişim, modüler genişletilebilirlik ve mobil özellikler sunarak her türlü bilimsel veya endüstriyel ortam için vazgeçilmez bir araç yapar.
Tipik uygulamalar:
- Kontak metalizasyonu (altın, gümüş, krom, nikel, titanyum vb. buharlaşması)
- Mikroskopi için kontrast görüntüleme (indiyum, karbon vb.)
- Solar ince film
- Liselerde ve üniversitelerde eğitim amaçları
Yapılandırmalar:
- Termal Buharlaşma
- E-Beam Buharlaştırma
- Sputtering
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Hazne boyutu | genişlik: 270 mm, derinlik: 370 mm, yükseklik: 400 mm |
| Toplam Boyut | genişlik: 1400 mm, derinlik: 950 mm, yükseklik: 1800 mm |
| Termal buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| Organik buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| E-Beam buharlaştırma | çoklu cep veya tek cep |
| Sputtering | 2 x 2" kaynaklara kadar |
| Ön biriktirme | buharlaşma ve/veya sputtering mümkün |
| Sistem kontrolü | Monitörlü PLC |
| Film kalınlığı sensörü | Kuvars kristali |
| Vakum seviyesi | < 1 E-6 mbar |
| Temiz oda uyumlu | Evet |
UNIVEX 400
UNIVEX 400
UNIVEX 400, laboratuvar görevleri veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutları nedeniyle küçük ila orta boyutlu numunelerin kaplaması için idealdir.
Maks. 350 mm toplam çapa kadar numuneler / numune tutucular kaplanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenize olanak sağlar.
Tipik uygulamalar
- Solar ince film: CdTe, CIGS, CZTS sputtering prosesleri
- Organik elektronik (PV, OLEDS)
- Optik kaplamalar
- Mikroelektronikler
Tipik yapılandırmalar
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-beam.
- Yukarı veya aşağı sputter için konfokal konfigürasyonda dört adede kadar 2" sputter kaynağı
- İnorganik-organik perovskit oluşumu için e-beam ve organik madde buharlaştırıcıları
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
genişlik: 420 mm, derinlik: 480 mm, yükseklik: 550 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
E-Beam buharlaştırma |
çoklu cep veya tek cep |
Sputtering |
yukarı veya aşağı, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" veya diğer |
Ön biriktirme |
buharlaşma ve/veya sputtering |
Load lock uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10-7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 600
UNIVEX 600
UNIVEX 600, laboratuvar veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutu nedeniyle orta ila büyük numune boyutları için uygundur.
Ulaşılabilir numune verimi, küçük seri üretimler için genel talepleri karşılar. Numune / numune tutucular için maks. 550 mm'lik toplam çap kaplanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Numune ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-beam.
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet numune konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu sputter kaynakları
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 600 mm Derinlik: 600 mm Yükseklik: 800 mm veya 550 mm (sputter) |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
E-Beam buharlaştırma |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu kaynak kullanımı |
Sputtering |
yukarı veya aşağı: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" veya diğer |
Ön biriktirme |
buharlaşma ve/veya sputtering |
Load lock uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 900
UNIVEX 900
UNIVEX 900, orta ila büyük numune boyutları için, daha yüksek numune verimleri ile en gelişmiş çözümdür. Toplam çapı 800 mm'ye kadar olan numune/numune tutucuları kaplanabilir. Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Numune ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Numune ön temizliği ve iyon destekli biriktirme için iyon kaynaklı çok cepli e-beam
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet numune konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu sputter kaynakları
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 900 mm Derinlik: 900 mm Yükseklik: 1100 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
E-Beam buharlaştırma |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu kaynak kullanımı |
Sputtering |
isteğe bağlı |
Ön biriktirme |
evet |
Load lock uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10-7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 250
Dünya çapındaki üniversiteler, laboratuvarlar, teknik liseler ve endüstriyel Ar-Ge tesisleri için özel olarak tasarlanmış kusursuz kaplama proseslerine geçiş noktanız.
UNIVEX 250, kaliteden veya performanstan ödün vermeyen uygun maliyetli bir çözüm sunarak hassas ve tutarlı sonuçlar elde etmenizi sağlar. Sezgisel kontrolleri ve sorunsuz çalışması sayesinde her seviyedeki kullanıcılar için mükemmeldir.
UNIVEX 250; temas metalizasyonundan, mikroskopi ve ince film uygulamaları için kontrast görüntülemeye kadar çeşitli kaplama ihtiyaçlarını karşılar.
Sağlam tasarımı ve güvenilir performansı onu, en üst düzey esneklik için rahat erişim, modüler genişletilebilirlik ve mobil özellikler sunarak her türlü bilimsel veya endüstriyel ortam için vazgeçilmez bir araç yapar.
Tipik uygulamalar:
- Kontak metalizasyonu (altın, gümüş, krom, nikel, titanyum vb. buharlaşması)
- Mikroskopi için kontrast görüntüleme (indiyum, karbon vb.)
- Solar ince film
- Liselerde ve üniversitelerde eğitim amaçları
Yapılandırmalar:
- Termal Buharlaşma
- E-Beam Buharlaştırma
- Sputtering
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Hazne boyutu | genişlik: 270 mm, derinlik: 370 mm, yükseklik: 400 mm |
| Toplam Boyut | genişlik: 1400 mm, derinlik: 950 mm, yükseklik: 1800 mm |
| Termal buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| Organik buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| E-Beam buharlaştırma | çoklu cep veya tek cep |
| Sputtering | 2 x 2" kaynaklara kadar |
| Ön biriktirme | buharlaşma ve/veya sputtering mümkün |
| Sistem kontrolü | Monitörlü PLC |
| Film kalınlığı sensörü | Kuvars kristali |
| Vakum seviyesi | < 1 E-6 mbar |
| Temiz oda uyumlu | Evet |
UNIVEX 400
UNIVEX 400, laboratuvar görevleri veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutları nedeniyle küçük ila orta boyutlu numunelerin kaplaması için idealdir.
Maks. 350 mm toplam çapa kadar numuneler / numune tutucular kaplanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenize olanak sağlar.
Tipik uygulamalar
- Solar ince film: CdTe, CIGS, CZTS sputtering prosesleri
- Organik elektronik (PV, OLEDS)
- Optik kaplamalar
- Mikroelektronikler
Tipik yapılandırmalar
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-beam.
- Yukarı veya aşağı sputter için konfokal konfigürasyonda dört adede kadar 2" sputter kaynağı
- İnorganik-organik perovskit oluşumu için e-beam ve organik madde buharlaştırıcıları
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
genişlik: 420 mm, derinlik: 480 mm, yükseklik: 550 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
E-Beam buharlaştırma |
çoklu cep veya tek cep |
Sputtering |
yukarı veya aşağı, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" veya diğer |
Ön biriktirme |
buharlaşma ve/veya sputtering |
Load lock uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10-7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 600
UNIVEX 600, laboratuvar veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutu nedeniyle orta ila büyük numune boyutları için uygundur.
Ulaşılabilir numune verimi, küçük seri üretimler için genel talepleri karşılar. Numune / numune tutucular için maks. 550 mm'lik toplam çap kaplanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Numune ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-beam.
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet numune konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu sputter kaynakları
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 600 mm Derinlik: 600 mm Yükseklik: 800 mm veya 550 mm (sputter) |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
E-Beam buharlaştırma |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu kaynak kullanımı |
Sputtering |
yukarı veya aşağı: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" veya diğer |
Ön biriktirme |
buharlaşma ve/veya sputtering |
Load lock uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 900
UNIVEX 900, orta ila büyük numune boyutları için, daha yüksek numune verimleri ile en gelişmiş çözümdür. Toplam çapı 800 mm'ye kadar olan numune/numune tutucuları kaplanabilir. Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Numune ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Numune ön temizliği ve iyon destekli biriktirme için iyon kaynaklı çok cepli e-beam
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet numune konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu sputter kaynakları
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 900 mm Derinlik: 900 mm Yükseklik: 1100 mm |
Termal buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
E-Beam buharlaştırma |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu kaynak kullanımı |
Sputtering |
isteğe bağlı |
Ön biriktirme |
evet |
Load lock uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10-7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
- Online Alışveriş
- Belgeler
