UNIVEX kutu kaplama sistemleri Hazne boyutlarıyla tanımlanır
Kompakt kutu kaplama sistemlerimiz, proses haznesine doğrudan erişim sağlar.
- UNIVEX 250
- UNIVEX 400
- UNIVEX 600
- UNIVEX 900
UNIVEX 250
UNIVEX 250
Dünya çapındaki üniversiteler, laboratuvarlar, teknik liseler ve endüstriyel Ar-Ge tesisleri için özel olarak tasarlanmış kusursuz kaplama proseslerine geçiş noktanız.
UNIVEX 250, kaliteden veya performanstan ödün vermeyen uygun maliyetli bir çözüm sunarak hassas ve tutarlı sonuçlar elde etmenizi sağlar. Sezgisel kontrolleri ve sorunsuz kullanımı sayesinde her seviyedeki kullanıcılar için mükemmeldir.
UNIVEX 250, temas metalizasyonundan mikroskopi ve ince film uygulamaları için kontrast görüntülemeye kadar çeşitli kaplama ihtiyaçlarını karşılar.
Sağlam tasarımı ve güvenilir performansı, en üst düzey esneklik için rahat erişim, modüler genişletilebilirlik ve mobil özellikler sunarak her türlü bilimsel veya endüstriyel ortam için vazgeçilmez bir araçtır.
Tipik uygulamalar:
- Kontak metalizasyonu (altın, gümüş, krom, nikel, titanyum vb. buharlaşması)
- Mikroskopi için kontrast görüntüleme (indiyum, karbon vb.)
- İnce film güneş
- Liselerde ve üniversitelerde eğitim amaçları
Yapılandırmalar:
- Termal Buharlaşma
- E-Işını Buharlaştırma
- Püskürtme
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Hazne boyutu | genişlik: 270 mm, derinlik: 370 mm, yükseklik: 400 mm |
| Toplam Boyut | genişlik: 1400 mm, derinlik: 950 mm, yükseklik: 1800 mm |
| Isıtıcı buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| Organik buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| Elektron ışını buharlaşması | çoklu cep veya tek cep |
| Püskürtme | 2 x 2" kaynaklara kadar |
| Birleştirme | buharlaşma ve/veya püskürtme mümkündür |
| Sistem kontrolü | Monitörlü PLC |
| Film kalınlığı sensörü | Kuvars kristali |
| Vakum seviyesi | < 1 E-6 mbar |
| Temiz oda uyumlu | Evet |
UNIVEX 400
UNIVEX 400
UNIVEX 400, laboratuvar görevleri veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutları nedeniyle küçük ila orta boyutlu substratların kaplaması için idealdir.
Maks. toplam çapa kadar substratlar / substrat tutucular 350 mm boyanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenize olanak sağlar.
Tipik uygulamalar
- İnce film güneş enerjisi: CdTe, CIGS, CZTS püskürtme işlemleri
- Organik elektronik (PV, OLEDS)
- Optik kaplamalar
- Mikroelektronikler
Tipik yapılandırmalar
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-ışın.
- Yukarı veya aşağı sputter için konfokal konfigürasyonda dört adede kadar 2" sputter tabancası
- İnorganik-organik perovskit oluşumu için e-ışın ve organik madde buharlaştırıcıları
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
genişlik: 420 mm, derinlik: 480 mm, yükseklik: 550 mm |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep veya tek cep |
Püskürtme |
yukarı veya aşağı, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" veya diğer |
Birleştirme |
buharlaşma ve/veya püskürtme |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 600
UNIVEX 600
UNIVEX 600, laboratuvar veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutu nedeniyle orta ila büyük substrat boyutları için uygundur.
Ulaşılabilir substrat verimi, küçük seri üretimler için genel talepleri karşılar. Substratlar / substrat tutucular maks. 550 mm'lik toplam çap boyanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Substrat ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-ışın.
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet substrat konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu püskürtme tabancaları
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 600 mm Derinlik: 600 mm Yükseklik: 800 mm veya 550 mm (sputter) |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu tabanca kullanımı |
Püskürtme |
yukarı veya aşağı: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" veya diğer |
Birleştirme |
buharlaşma ve/veya püskürtme |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 900
UNIVEX 900
UNIVEX 900, orta ila büyük substrat boyutları için, sırasıyla daha yüksek substrat verimleri için en gelişmiş çözümdür. Toplam çapı 800 mm'ye kadar olan substratlar/substrat tutucuları kaplanabilir. Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Substrat ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Substrat ön temizliği ve iyon destekli dolgu için iyon kaynaklı çok cepli e-ışın
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet substrat konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu püskürtme tabancaları
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 900 mm Derinlik: 900 mm Yükseklik: 1100 mm |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu tabanca kullanımı |
Püskürtme |
isteğe bağlı |
Birleştirme |
evet |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 250
Dünya çapındaki üniversiteler, laboratuvarlar, teknik liseler ve endüstriyel Ar-Ge tesisleri için özel olarak tasarlanmış kusursuz kaplama proseslerine geçiş noktanız.
UNIVEX 250, kaliteden veya performanstan ödün vermeyen uygun maliyetli bir çözüm sunarak hassas ve tutarlı sonuçlar elde etmenizi sağlar. Sezgisel kontrolleri ve sorunsuz kullanımı sayesinde her seviyedeki kullanıcılar için mükemmeldir.
UNIVEX 250, temas metalizasyonundan mikroskopi ve ince film uygulamaları için kontrast görüntülemeye kadar çeşitli kaplama ihtiyaçlarını karşılar.
Sağlam tasarımı ve güvenilir performansı, en üst düzey esneklik için rahat erişim, modüler genişletilebilirlik ve mobil özellikler sunarak her türlü bilimsel veya endüstriyel ortam için vazgeçilmez bir araçtır.
Tipik uygulamalar:
- Kontak metalizasyonu (altın, gümüş, krom, nikel, titanyum vb. buharlaşması)
- Mikroskopi için kontrast görüntüleme (indiyum, karbon vb.)
- İnce film güneş
- Liselerde ve üniversitelerde eğitim amaçları
Yapılandırmalar:
- Termal Buharlaşma
- E-Işını Buharlaştırma
- Püskürtme
| UNIVEX 250 | |
|---|---|
| Hazne boyutu | genişlik: 270 mm, derinlik: 370 mm, yükseklik: 400 mm |
| Toplam Boyut | genişlik: 1400 mm, derinlik: 950 mm, yükseklik: 1800 mm |
| Isıtıcı buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| Organik buharlaştırıcı | 4 malzemeye kadar |
| Elektron ışını buharlaşması | çoklu cep veya tek cep |
| Püskürtme | 2 x 2" kaynaklara kadar |
| Birleştirme | buharlaşma ve/veya püskürtme mümkündür |
| Sistem kontrolü | Monitörlü PLC |
| Film kalınlığı sensörü | Kuvars kristali |
| Vakum seviyesi | < 1 E-6 mbar |
| Temiz oda uyumlu | Evet |
UNIVEX 400
UNIVEX 400, laboratuvar görevleri veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutları nedeniyle küçük ila orta boyutlu substratların kaplaması için idealdir.
Maks. toplam çapa kadar substratlar / substrat tutucular 350 mm boyanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenize olanak sağlar.
Tipik uygulamalar
- İnce film güneş enerjisi: CdTe, CIGS, CZTS püskürtme işlemleri
- Organik elektronik (PV, OLEDS)
- Optik kaplamalar
- Mikroelektronikler
Tipik yapılandırmalar
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-ışın.
- Yukarı veya aşağı sputter için konfokal konfigürasyonda dört adede kadar 2" sputter tabancası
- İnorganik-organik perovskit oluşumu için e-ışın ve organik madde buharlaştırıcıları
UNIVEX 400 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
genişlik: 420 mm, derinlik: 480 mm, yükseklik: 550 mm |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep veya tek cep |
Püskürtme |
yukarı veya aşağı, 4 X 2", 3 X 3", 2 X 4" veya diğer |
Birleştirme |
buharlaşma ve/veya püskürtme |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 600
UNIVEX 600, laboratuvar veya pilot üretim çalışmaları için kompakt bir kaplama sistemidir. Hazne boyutu nedeniyle orta ila büyük substrat boyutları için uygundur.
Ulaşılabilir substrat verimi, küçük seri üretimler için genel talepleri karşılar. Substratlar / substrat tutucular maks. 550 mm'lik toplam çap boyanabilir.
Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Substrat ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Termal evaporatörlü ve iyon kaynaklı çok cepli e-ışın.
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet substrat konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu püskürtme tabancaları
UNIVEX 600 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 600 mm Derinlik: 600 mm Yükseklik: 800 mm veya 550 mm (sputter) |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu tabanca kullanımı |
Püskürtme |
yukarı veya aşağı: 4 X 3", 3 X 4", 6 X 2" veya diğer |
Birleştirme |
buharlaşma ve/veya püskürtme |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
UNIVEX 900
UNIVEX 900, orta ila büyük substrat boyutları için, sırasıyla daha yüksek substrat verimleri için en gelişmiş çözümdür. Toplam çapı 800 mm'ye kadar olan substratlar/substrat tutucuları kaplanabilir. Sistem kontrol ünitesi, manuel, yarı otomatik ve tam otomatik kaplama işlemlerini yürütmenizi sağlar.
Tipik uygulamalar
- Optik kaplamalar
- Optoelektronik cihazlar
- Dirençli RAM
- Yüksek sıcaklık süper iletkenleri
Tipik yapılandırmalar
- Substrat ısıtıcıları ve/veya soğutucuları
- Substrat ön temizliği ve iyon destekli dolgu için iyon kaynaklı çok cepli e-ışın
- Tek veya birden fazla örnek için palet, kubbe veya planet substrat konfigürasyonları
- Konfokal veya yüz yüze konfigürasyonda çoklu püskürtme tabancaları
UNIVEX 900 |
|
|---|---|
Hazne boyutu |
Genişlik: 900 mm Derinlik: 900 mm Yükseklik: 1100 mm |
Isıtıcı buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Organik buharlaştırıcı |
8 malzemeye kadar |
Elektron ışını buharlaşması |
çoklu cep ve/veya tek cep, çoklu tabanca kullanımı |
Püskürtme |
isteğe bağlı |
Birleştirme |
evet |
Yük kilidi uyumlu |
isteğe bağlı |
İyon destekli biriktirme |
isteğe bağlı |
Su temperlemeli hazne |
evet |
Vakum seviyesi |
orta 10 -7 mbar |
UHV versiyonu |
isteğe bağlı |
Temiz oda uyumlu |
evet |
- Online Alışveriş
- Belgeler
