Kantitatif gaz analizi nedir?
Bilinmeyen bir gaz karışımının spektrumunu yorumlarken özel zorluklarla karşılaşılır. Çeşitli kaynaklardan gelen iyon akışı oranları ancak tüm kaynaklar tanımlandıktan sonra birbirine göre dengelenebilir. Vakum teknolojisindeki birçok uygulamada, kimliği bilinen ve atom sayısı 50'den az olan birkaç basit gazın karışımlarıyla uğraşılacaktır (prosesle ilgili gazlar istisnalar oluşturabilir). Normalde, daha karmaşık bir durumda, birçok gaz bileşeninin tamamen bilinmeyen bir karışımında çok sayıda üst üste bindirmeli bir spektrum olacaktır; burada, nicel analiz denemeden önce nitel bir analiz yapılması gerekecektir. Karşılaşılan zorluk derecesi üst üste bindirmelerin sayısına bağlıdır (bireysel/birkaç/çok).
Bireysel süper impozisyonlar söz konusu olduğunda, birden fazla atom numarası için tek ve aynı gaz türünün ölçümü sırasında iyon akışlarının karşılıklı olarak dengelenmesi genellikle verimli olabilir.
Daha fazla sayıda üst üste bindirme ve toplamda sınırlı sayıda gaz bulunduğunda, bilinen bileşime sahip bir kalibrasyon gazının spektrumuna karşı düzeltme faktörleri kullanılarak tablo şeklinde değerlendirme yapmak genellikle yararlı olabilir.
En genel durumda, birden fazla gaz tüm kütleler için iyon akışına daha fazla veya daha az katkıda bulunacaktır. Atom numarası m için her durumda bir gazın g payı, parça faktörü F fm,g ile ifade edilecektir. Hesaplamayı basitleştirmek için, parça faktörü F fm,g ayrıca trans misyon faktörü TF ve algılama faktörü DF'yi de içerecektir. Ardından, dahil olan tüm gazların toplam iyon akımlarının bir fonksiyonu olarak kütle m'ye olan iyon akımı, matris notasyonunda şu şekildedir:
Atom sayısı m için iyon akımı vektörü (bireysel gazların parçacıklarının katkılarından kaynaklanan), parça matrisinin katkı vektörü ile bireysel gazlar için akışların toplamına eşittir.
(basitleştirilmiş notasyonda: i = FF · I)
burada im + = atom numaraları için iyon akışı vektörü, çeşitli bireysel gazların parçacıklarının katkılarından kaynaklanır
Bir gazdan kaynaklanan iyon akışının kısmi basınca orantılı olduğu görülebilir. Doğrusal denklem sistemi yalnızca m = g (kare matris) olduğu özel durum için çözülebilir; m > g için aşırı tanımlanır. Kaçınılmaz ölçüm hatası nedeniyle (gürültü vb.) denklem sistemini tam olarak karşılayan toplam iyon akışı I +g (kısmi basınçlar veya konsantrasyonlar) seti yoktur. Olası tüm çözümler arasında, kısmi iyon akışları I + *m'ye ters hesaplama yapıldıktan sonra gerçekte ölçülen kısmi iyon akımlarından i+m en küçük kare sapmasını gösterecek olan I +*g setini belirlemek gerekir. Bu nedenle:
Bu en aza indirgeme problemi matematiksel olarak başka bir denklem sisteminin çözümüyle aynıdır
Bilgisayar tarafından doğrudan değerlendirilebilir. Her bir gaz için iyon akımı vektörü şu şekildedir:
Vakum Teknolojisinin Temelleri
Vakum pompası temellerini ve proseslerini keşfetmek için "Vakum Teknolojisinin Temelleri" adlı e-Kitabımızı indirin.
Referanslar
- Vakum sembolleri
- Terimler Sözlüğü
- Referanslar ve kaynaklar
Vakum sembolleri
Vakum sembolleri
Pompa tiplerinin ve pompalama sistemlerindeki parçaların görsel bir temsili olarak vakum teknolojisi şemalarında yaygın olarak kullanılan sembollerin sözlüğü
Terimler Sözlüğü
Terimler Sözlüğü
Vakum teknolojisinde kullanılan ölçüm birimlerine ve sembollerin ne anlama geldiğine ve tarihi birimlerin modern eşdeğerlerine genel bir bakış
Referanslar ve kaynaklar
Referanslar ve kaynaklar
Vakum teknolojisinin temel bilgileriyle ilgili referanslar, kaynaklar ve daha fazla okuma
Vakum sembolleri
Pompa tiplerinin ve pompalama sistemlerindeki parçaların görsel bir temsili olarak vakum teknolojisi şemalarında yaygın olarak kullanılan sembollerin sözlüğü
Terimler Sözlüğü
Vakum teknolojisinde kullanılan ölçüm birimlerine ve sembollerin ne anlama geldiğine ve tarihi birimlerin modern eşdeğerlerine genel bir bakış
Referanslar ve kaynaklar
Vakum teknolojisinin temel bilgileriyle ilgili referanslar, kaynaklar ve daha fazla okuma
