국립 연구소, 대형 글로벌 연구 대학, 국방, 항공우주 또는 분석 기기 제조에서는 다양한 진공 장비를 사용하여 필요한 수준의 진공을 달성합니다. 이러한 조직 중 상당수는 Leybold를 통해 구체적인 진공 펌프, 기기 및 시스템을 사용합니다.
UHV는 10~9mbar(또는 10~7Pa)보다 낮은 압력이 특징인 진공 체제입니다. 초고진공 상태는 많은 표면 분석 기법에서 표면 오염을 줄이는 데 필요합니다. 대표적인 예는 X선 광전자 분광법(XPS), 오제 전자 분광법(AES), 보조 이온 질량 분광법(SIMS) 또는 전자 방출 현미경법(FEM)입니다.
분자선 에피택시(MBE)와 원자층 증착(ALD)처럼 순도에 관한 엄격한 요구 사항이 적용되는 박막 성장 및 준비 기법에도 UHV 상태가 필요합니다.
입자 가속기나 중력파 감지기 같은 연구 응용 분야에서 초고진공 상태는 주로 빔과 가스의 상호 작용을 줄이고 외부 환경에서 발생하는 원치 않는 교란을 제한하는 데 도움이 됩니다. 이러한 진공 수준을 달성하려면 특수 소재와 펌핑 원리를 사용해야 합니다.
Leybold는 야심 찬 UHV 응용 분야에서 사용할 수 있는 다양한 고급 진공 솔루션을 제공합니다. Leybold의 구성품, 시스템 솔루션 및 애프터세일즈 서비스는 전 세계 주요 연구 센터에서 이점을 제공하고 있습니다.
자동화 기반 옵션 포함 사항
100 | 200 | 300 | 400
최종 압력
< 5 x 10-10mbar
| 다단 루츠 펌프 | 스크롤 펌프 | 터보 분자 펌프(TMP) | 극저온 펌프 |
|---|---|---|---|
ECODRY Plus 장점: |
SCROLLVAC Plus 장점: |
TURBOVAC IX & MAG W IP TURBOLAB 장점: |
COOLVAC ICL & BL 장점: |
|
|
|
|
| 이온 게터 펌프 및 컨트롤러 | 티타늄 승화 펌프 | NEG 펌프 | UHV 하드웨어, 밸브, 피팅 |
|---|---|---|---|
TITan & DIGITEL 장점: |
장점: |
장점: |
장점: |
|
|
|
|
