터보 분자 진공 펌프
깨끗한 고진공 또는 초고진공이 필요한 분야용
기계식, 하이브리드 및 자기 부상 고진공 펌프
터보 분자 진공 펌프는 핵 융합 연구 개발, 코팅 산업 및 분석 분야 등 깨끗한 고진공 및 초고진공 진공을 필요로 하는 분야에 사용됩니다.
터보 분자 펌프는 이론적으로 각 단계에 다수의 로터 날이 장착된 하우징에서 빠르게 회전하는 터빈입니다. 회전 로터 날 사이에 위치한 고정 고정자 디스크는 날의 반대 방향으로 배열되어 있습니다.
회전 로터 날에서 가스 분자로 추진력을 전달함으로써 가스 분자는 초기의 무방향성 열 운동을 축 방향 펌프 주입구 플랜지에서 포어 진공 플랜지로 방향을 변경합니다.
분자 유동 범위(즉, 압력이 10-3mbar(0.75 x 10-3Torr) 미만)에서 가스 분자의 평균 자유 경로는 로터와 고정자 날 사이(일반적으로 10분의 1밀리미터)의 간격보다 큽니다. 이에 따라 분자가 광학적으로 밀집한 로터 날과 충돌하여 펌핑 작용이 매우 효율적으로 발생합니다. 층류(정류) 범위(즉, 10-1mbar(0.75 x 10-1Torr)를 초과하는 압력)에서, 로터 효과는 분자 간 빈번한 충돌에 의해 손상됩니다.
이러한 이유로, 터보 분자 펌프는 대기압에서 가스를 펌핑할 수 없습니다.
TURBOVAC MAGiNTEGRA: 자기 부상 터보 분자 펌프
분석 및 연구 뿐만 아니라 코팅 분야와 같은 까다로운 산업에도 사용하기에 적합한 소형 펌프입니다.
MAGiNTEGRA 펌프는 뛰어난 저항성과 성능으로 유연하고 비용 및 유지 보수에 효율적인 제품입니다.
TURBOVAC i: 하이브리드 터보 분자 펌프
R&D, 분석, 생명 과학 및 산업/코팅 분야의 넓은 작업에 적합한 다목적 펌프입니다.
뛰어난 펌프 성능과 기본 탑재된 전자식 드라이브로 쉽게 적용이 가능합니다. 공정의 요구 사항을 충족하기 위해 8가지 크기로 제공되며, 다양한 모델 및 부속품을 선택할 수 있습니다.
또한 다음과 같은 여러 가지 변형 모델로 제공됩니다.
- TURBOVAC iX는 진공 시스템의 컨트롤러 역할을 합니다.
- TURBOVAC iR은 고이온화 방사선이 노출되는 환경의 요구 사항을 충족합니다.
- TURBOVAC i 멀티 흡입: 여러 도달 진공도가 필요한 응용 분야용입니다.
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Leybold의 고객 중심 엔지니어링(CFE) 팀은 고객의 사양에 맞춰 제품을 납품하고 요구 사항 수집부터 프로토타입 제품에 이르기까지 공정의 모든 면을 관리합니다. 또한, 필요할 시 용량 펌프 공급 장치를 사용을 보장합니다.
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