RUVAC WA/WAU

루츠 블로어

고객의 응용 분야를 위한 검증된 기술

Leybold의 RUVAC WA /WAU 루츠 블로어는 플랜지에 공랭식 표준 3단 모터를 갖춘 2차 펌프로 유연성을 제공하며, 통합형 정압선과 우회 밸브를 포함하여 대기 펌프 다운 분야에 적합합니다.

RUVAC WA/WAU 루츠 블로어에는 더 긴 서비스 주기를 위해 FPM(FKM)(플루오린화 중합체)으로 만들어진 방사형 샤프트 씰링 링이 장착되어 있습니다. 또한, RUVAC WAU 루츠 블로어에는 통합형 정압선과 차동 압력 우회 밸브가 추가되어 있습니다. 이 블로어는 수직 펌프 흐름이 기본으로 제공되지만 필요한 경우 수평 흐름으로 변경할 수 있습니다.

건식 루츠 블로어인 RUVAC WA/WAU 제품은 친환경적이며, 물 회선 유지 보수 비용을 포함하여 물 사용/폐기 비용을 절감하는 수랭식을 제공합니다. 또한, RUVAC WA/WAU 제품은 열처리, 식품 포장 및 냉동 건조와 같은 다양한 분야에서 검증된 안정성과 성능을 자랑합니다.

장점

각 4개의 펌프 크기를 가지는 2개의 공랭식 라인 WA/WAU

특수 전압 및 방폭 준수를 위한 맞춤형 모터의 유연성

ATEX Cat.3i/o 사용 가능한 모델, ATEX Cat. 3i의 표준을 준수하는 모든 WA(U) 펌프

샤프트 씰링 링의 쉬운 유지 보수 및 교체

WAU 모델의 고압 과부하를 방지하기 위한 통합형 정압선

현장에서 수직에서 수평 흐름으로 전환

공급 장비
안정적이고 문제없는 진공
빠른 순환 시간
낮은 압력에서 높은 펌핑 속도
대용량 제공

공급 장비

표준 윤활제로 사용되는 미네랄 오일 LVO 100
먼지 거름망이 있는 흡입구 플랜지의 개스킷
별도의 병에 포함된 필요 윤활유 충전

안정적이고 문제없는 진공

RUVAC WA/WAU 루츠 블로어는 건축용 유리 코팅 산업의 표준 장비입니다. 이 장비는 기존의 오일 씰 SOGEVAC 펌프 또는 DRYVAC 펌프와 결합하여 로드 록 챔버에서 가장 짧은 펌프 정지 시간을 제공합니다. 건식 압축 DRYVAC 및 SCREWLINE 펌프와 함께 사용하면 공정 챔버에서 건식의 신뢰할 수 있는, 그리고 문제가 발생하지 않는 진공이 보장됩니다.

빠른 순환 시간

RUVAC WA/WAU 루츠 블로어는 로드 록 챔버 지원 또는 고속 식품 포장 등 빠른 배출이 중요한 여러 응용 분야에서 최단의 작업 소요 시간을 제공하기 위해 사용됩니다.

낮은 압력에서 높은 펌핑 속도

RUVAC WA /WAU 루츠 블로어는 증착 공정 또는 리튬 이온 배터리 제조 공정을 위한 전해질 탈기 작업 전 박막 코팅 작업에서 빠르게 10^-3mbar 미만의 압력을 제공하여 원활한 작업을 가능하게 합니다.

대용량 제공

RUVAC WA/WAU 블로어는 반도체 및 태양광 전지의 기본 재료를 제조하기 위해 실리콘 모노 크리스털 풀링과 같은 대규모 생산 공정에 필요한 용량을 제공합니다. Leybold의 광범위한 제품과 응용 분야 지원 및 노하우를 경험해보세요.

기술 정보
응용 분야
온라인 매장

		RUVAC WA/WAU 251	RUVAC WA/WAU 501	RUVAC WA/WAU 1001	RUVAC WA/WAU 2001
공칭 펌핑 속도(50Hz)	m3 · h-1	253	505	1000	2050
회전 속도(50/60Hz)	min-1	3000/3600	3000/3600	3000/3600	3000/3600
모터 출력	kW	≤ 1.1	≤ 2.2	≤ 4.0	7.5
최대 허용 압력 차이	mbar	80	80	80	50
연결 플랜지		DN 63 PN6	DN 63 PN6	DN 100 PN6	DN 160 PN6