하드웨어
저진공에서 초고진공까지. 모든 주요 연결 표준을 충족하는 제공 사항으로 완벽한 진공 시스템을 얻을 수 있습니다!
어떠한 진공 수준이든 시스템에 연결할 수 있는 광범위한 구성 요소를 제공할 수 있습니다.
한 눈에 파악하는 장점:
- ISO-KF
- ISO-K/ISO-F
- CF
- 피드스루
ISO-KF
ISO-KF 연결은 Leybold에서 개발한 것으로, 현재 전 세계 모든 진공 응용 분야에 걸쳐 소형 피팅(최대 내경: 50mm)에 사용되는 주요 플랜지 유형입니다.
퀵 릴리스 클램프를 통해 진공 시스템의 부품을 신속하게 장착 및 교체할 수 있으므로 퀵 플랜지(Quick Flange, QF)라고 불리기도 합니다.
모든 연결부는 대칭형 ISO-KF 플랜지 2개, O링 개스킷이 있는 캔터링 링 및 클램핑 링으로 구성됩니다. 클램핑 링의 윙 너트를 돌려 공구를 사용하지 않고도 고진공 상태의 ISO-KF 연결부를 만들 수 있습니다.
일반적으로 10-7mbar/torr 이하의 압력에 적합하며 최대 5bar의 압력을 견딜 수 있고 금속 씰을 사용할 경우 200°C까지, 또는 FPM 개스킷을 사용할 경우 150°C까지 가열할 수 있습니다.
가장 주된 특징은 조립 속도이며 진공 밀폐 효과를 제공하기 위해 별도의 도구가 필요하지 않습니다.
ISO-K/ISO-F
직경이 큰 경우 일반적으로 ISO-K 및 ISO-F 피팅을 사용할 수 있습니다.
- 볼트 체결 지점이 고정되어 있지 않고 플랜지 주변의 모든 지점에 클램프를 설치할 수 있기 때문에 ISO-K 피팅이 더 많이 선호됩니다.
- ISO-F 플랜지는 강도가 증가한 조건에서 플랜지가 구조적 요소로 사용될 때 쓰여집니다.
이러한 플랜지 유형은 내부 직경이 DN 63~DN 630(따라서 관 직경은 70~650mm)에 이르기까지 다양합니다. 플랜지의 중심 홈에 중심 링을 단단히 끼울 수 있기 때문에 수평 연결하는 경우에도 빠르고 쉽게 장착할 수 있습니다.
이 연결 유형을 사용하면 금속 개스킷을 사용할 때 10-9mbar까지 압력을 낮출 수 있습니다. 다시 말하지만, 금속 플랜지를 사용할 경우 200°C까지, FPM을 사용할 경우 150°C의 베이크아웃이 가능합니다.
CF
CF 플랜지 연결은 OFHC 구리, 볼트, 너트 및 와셔로 만들어진 평면 개스킷과 기하학적으로 동일한 플랜지 두 개로 구성됩니다.
CF 부품은 내부식성을 가진 엄선된 스테인리스강으로 제작됩니다. 이러한 씰링 유형은 매우 강력하기 때문에, UHV 압력에 도달해야 할 때 CF 플랜지를 사용하는 이유이기도 합니다(모든 금속 씰링에 적합).
모든 구성 요소는 처음부터 소위 가상 누출이라고 할 수 있는 균열이나 포켓 홀을 방지하기 위해 내부에서 용접됩니다.
DN 16 CF에서 DN 250 CF(ID 16mm~250mm)까지 다양한 크기로 제공되며, 초고진공 압력에 도달하기 위해 사용되는 게이지, 이온 펌프 및 터보분자 펌프에서 흔히 볼 수 있습니다.
피드스루
내부 제어의 필요성 및 진공에 이르기까지 동력 전달은 피드스루를 통해 처리됩니다.
당사는 다양한 표준 및 고전류 피드스루를 갖추고 있습니다. 그다음, 힘/물체를 진공 시스템으로 전달하기 위한 다양한 회전식, 액체식, 회전/선형식 제품군을 갖추고 있습니다.
