광학 코팅용 진공 솔루션
필터, 렌즈, 안경 렌즈 또는 거울을 비롯한
광학 시스템의 반사 동작 또는 전송 속성을 개선합니다.
진공 상태의 박막 코팅
안경, 거울 및 반사경을 생산하려면 고급 기술이 필요하며, 이러한 기술 중 일부는 진공을 통해 구현됩니다. 진공이 중요한 역할을 하는 대표적인 프로세스는 반사 방지 및 긁힘 방지 박막 층 생산입니다. 물론 안경용 특수 광학, 적외선 및 자외선 필터도 유명하지만, 광학 코팅은 수많은 과학적 응용 분야에도 적용됩니다. 현미경에서 우주 관측용 제임스 웹 망원경 거울에 이르는, 우리 주위의 많은 곳에서 특수 광학 필터 렌즈를 확인할 수 있습니다.
PVD를 이용한 광학 코팅
광학 코팅은 여러 박층을 조합하여 다양한 반사 특성 또는 층을 생성함으로써 광전도성을 향상시킵니다. 이 층들은 일반적으로 "물리적 기상 증착"(PVD) 또는 증발 프로세스라는 프로세스를 통해 배치 코팅 시스템에 도포되며, 모두 10-2에서 10-3mbar 압력 범위의 진공 상태에서 발생합니다.
광학 코팅 작업에는 진공 챔버 내의 안정적인 값에서 원하는 진공 수준을 유지할 수 있는 정밀 시스템이 필요합니다. Leybold는 다음과 같이 이러한 시스템에 필요한 모든 진공 제품을 제공합니다.
- 배압 펌프(전진공)
- 고진공 펌프
- 안정적이고 비용 효율적인 설치
- 프로세스 제어 솔루션
- 시스템 통합
프로세스 첫 번째 단계에서는 진공 챔버가 매우 빠르게 배출될 수 있는 "저진공" 펌프를 사용하여 진공 챔버에서 주변 기체와 습도를 제거해야 합니다. 당사는 DRYVAC, VARODRY, SCREWLINE, SOGEVAC, TRIVAC 및 RUVAC 등 고객 프로세스의 정확한 요구 사항에 따라 다양한 제품군을 보유하고 있습니다. 여러 시스템을 조합하여 완벽한 펌핑 속도를 얻고 소유 비용을 최적화할 수 있습니다.
프로세스의 다음 단계에서 프로세스 챔버는 5x10-6mbar 이하의 진공 수준으로 펌핑되고, 이 수준은 작동 압력 범위에서 아르곤, 질소 및 산소 부하로 지속적으로 유지되어야 합니다. 일부 프로세스에는 오일, 먼지 및 진동이 없는 프로세스 환경이 필요합니다. 이 경우 TURBOVAC i, TURBOVAC MAG 또는 COOLVAC 펌프가 권장됩니다. 덜 까다로운 프로세스에는 DIJ 및 DIP와 같은 확산 펌프가 더 적합합니다.
고진공 시스템은 장시간 동안 높은 기체 부하로 계속 작동할 수 있어야 합니다.
Leybold 펌프는 코팅 작업에 맞춰 설계되었고 수십 년 동안 그 가치를 입증해 왔습니다. 또한 경험에 따르면 안정성과 가동 시간이 매우 중요합니다. 따라서 정기적인 정비 계획과 OEM 예비 부품을 권장합니다. 진공 시스템을 적절히 관리하면 운영 비용도 절감됩니다. 현지 Leybold 담당자에게 문의하여 언제든지 생산을 유지할 수 있는 최상의 솔루션을 확인하십시오.
진공 증착 프로세스의 진공 조건을 항상 정확하게 측정할 수 있어야 합니다. 당사의 전체 범위 진공 게이지 제품군을 통해 항상 프로세스에 가장 적합한 조건을 모니터링할 수 있습니다. Leybold 담당자가 최상의 프로세스 제어 솔루션에 대한 조언을 드릴 것입니다. 누출 감지 및 RGA(잔류 기체 분석기) 시스템은 프로세스 반복성 및 신뢰성에 있어 중요한 역할을 합니다.
당사의 펌프는 완벽하게 결합하도록 설계되었지만 때로는 프로세스에 더 많은 제어 및 모니터링 솔루션이 필요할 수 있습니다. 이 경우 생산 프로세스를 지원하는 PLC 또는 컨트롤러를 설치하십시오.
