현재 우리가 접하는 유리 표면은 BC 2500년경에 발명된 최초의 유리에서 엄청나게 발전한 제품입니다. 모든 현대 유리는 투과되는 빛과 태양열 수준에 영향을 주는 얇은 막으로 코팅되어 있습니다. 이렇게 얇은 막으로 코팅한 유리는 유리를 사용하는 건물과 차량이 더욱 편안하게 느껴지게 하며, 환기 및 공조 시스템의 효율을 개선하기도 합니다.
또한 유리 코팅은 유리 표면의 색상과 반사에 영향을 주어 외형을 바꾸기도 합니다. 현대적인 도시의 마천루는 진공 코팅된 판유리를 이용해 단열 효과와 정확한 색상을 통해 아름다운 외관을 선사합니다.
PVD(물리적 기상 증착)에 의한 진공 스퍼터링은 코팅된 유리를 생산하는 가장 일반적인 프로세스입니다. 이 프로세스에서는 재료를 진공 챔버에 놓은 다음 "스퍼터링"이라는 프로세스를 진행하여 금속, 금속 산화물 및 질화물 층을 아르곤, 질소 및 산소 같은 프로세스 가스를 사용하여 유리에 증착합니다. 이러한 진공 스퍼터링 프로세스는 코팅을 조성과 두께가 서로 다른 여러 층으로 구성된 유리에 증착합니다. 대부분 연중무휴로 작동하는 PVD 장비가 이 프로세스를 담당하는 진공 시스템을 구성합니다. 따라서 PVD 장비 제조업체는 지속적인 생산을 지원할 수 있는 견고한 진공 펌프를 원합니다.
Leybold는 진공 스퍼터링 응용 분야에 필요한 모든 제품을 제공하며, 대표적인 예는 다음과 같습니다.
