太阳能镀膜
太阳能镀膜
太阳能电池板的生产可分为两种不同的技术：基于晶片和薄膜。
在基于晶片的太阳能电池生产中，第一个真空步骤是制造硅片。这些都是从单晶或多晶硅锭（在 DSS 或 Czochralski 晶体生长工艺中在真空条件下产生，有关更多详情，请参阅拉晶）中切割出来的。
另一个重要的真空步骤是透明导电氧化物的物理气相沉积 (PVD TCO) 镀膜步骤。该步骤在层叠的正面和背面进行溅镀。
在薄膜太阳能电池生产中，有两种主要技术：CIGS（铜、铟、镓、硒）和 CdTe（镉、碲）。在真空镀膜机的多个工艺步骤中均应用了两个活性层叠。同样，PVD TCO 镀膜也会在层叠的正面和背面进行溅镀。
新型异质结 (HJT) 技术将化学蒸汽沉积 (CVD) 步骤与众所周知的 PVD 前接触和后接触镀膜相结合。CVD 镀膜步骤以非晶或微晶为基础加以应用。在这项技术中，Leybold 莱宝在全球拥有庞大的泵装机数量。
所有真空工艺通常均在大型线上镀膜机中进行，这些机器以非常短的循环时间运行。Leybold 莱宝从一开始就支持这项技术，并积累了丰富的专业知识。为了实现真空进样室快速抽送，Leybold 莱宝专门开发了 POWERBOOST 系统。其他专业的 DRYVAC/RUVAC 泵系统也被证明是非常可靠的解决方案，适用于 CIGS 和 CdTe 等要求苛刻的应用，并可确保尽可能增加工厂的正常生产时间。
HJT 的要求更高，因为该工艺会产生大量粉末，除 H2 外还会使用有毒的掺杂气体。DRYVAC 在该工艺中表现非常出色，因为它具有静密封，并且为处理此类工艺采用了专门精选的泵材料。
