用于镀膜应用的真空装置
从机械组件上的耐磨层，到光学组件的镀膜或塑料表面金属化，大多镀膜工艺都在真空条件下进行。
真空镀膜解决方案
真空镀膜是将高性能涂层添加到各种产品表面的有效方法之一，可以为客户提高产品价值。真空镀膜属于不断发展的高科技领域，Leybold 莱宝的解决方案在这一领域树立了标杆。
真空镀膜应用广泛，例如：
- Low-E 玻璃镀膜可反射太阳能量，同时保持 100% 透明。Low-E 镀膜是一种节能产品，有助于降低能耗。
- 建筑玻璃上的镀膜可通过透明的光立面增加现代摩天大楼的美观性，同时保留 low-E 玻璃的特性。
- 耐磨的硬质合金镀膜可改善切削刀具的高速切削能力。
- 太阳能电池板、显示屏和触摸屏传感器生产中用到功能性镀膜，可使现代器件能够不断发展和提高质量。
- 特殊光学镀膜可用于制造光学滤光片、透镜、反射表面和抗反射表面。
- 装饰性镀膜，比如高反射镀膜，可用于形成部件和产品的奢华表面。
真空镀膜市场的需求不断推动 Leybold 莱宝提供优化的产品和客户特定的真空解决方案，包括前级真空泵、高真空泵、真空控制装置、真空测量设备和检漏系统。
Leybold 莱宝真空泵和解决方案提供
与镀膜应用相关的产品
- DRYVAC
- DRYVAC PowerBoost
- RUVAC
- SOGEVAC
- TURBOVAC MAGiNTEGRA
- TURBOVAC i
- 扩散泵
- COOLVAC
- 真空计
- 检漏
- 真空配件和阀门
DRYVAC
DRYVAC
这一系列的干式螺杆真空泵兼具高成本效益和节能的特点，并且具有出色的耐用性。DRYVAC 可在进出样室等短节拍抽空间隔进行冷却，此外，在溅镀过程中还可处理高粉尘气体负载。DRYVAC 泵代表了前级真空泵的“新一代”产品，已成为行业标准。它们的功能与当今的市场要求非常一致，因为它们专为环保运行而设计，并且提供了方便且透明的服务计划。
DRYVAC PowerBoost
DRYVAC PowerBoost
有时您需要完全集成的解决方案，例如，连续性镀膜线的进样室需要真空泵具有强大的瞬间爆发力。DRYVAC PowerBoost 将 DRYVAC 和 RUVAC 罗茨泵与智能电子模块集于一体。该系统可自动调整 RUVAC 罗茨泵的性能，从而缩短抽空时间并降低能耗。对于洁净室环境（TFT、SEMI 和 FPD），DRYVAC PowerBoost 可在非常小的环境占地面积下提供理想的性能。
RUVAC
RUVAC
大容积抽空需要高性能的罗茨泵。我们经典的罗茨泵 RUVAC WA(U) 和 WS(U) 以及我们创新的密封型 RUVAC WH(U) 可以直接驱动，也可以通过变频器驱动，使其能够以更高的转速和泵速连续运行。
凭借 250 至 7000 m³/h 的容量，我们可以为各种规模的镀膜系统提供真空设备。
SOGEVAC
SOGEVAC
SOGEVAC 单级旋片泵系列是一种久经考验的用于镀膜应用的前级真空泵。几十年来，油封式 SOGEVAC 泵是寻求在镀膜应用中拥有卓越声誉的可靠真空泵的客户的理想之选。您通常会发现 SOGEVAC 泵与 RUVAC 罗茨泵在系统中配合使用。SOGEVAC 系列拥有多种泵速，从16 m³/h 到 750 m³/h 不等，因此，可将此系列泵与小型台式溅镀系统相结合，用于大型工业溅镀机器。
TURBOVAC MAGiNTEGRA
TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAGiNTEGRA 磁悬浮涡轮分子真空泵是经过生产验证的高真空泵，可产生不含碳氢化合物的真空，用于各种具有挑战性的应用。由于其非常耐用，可以耐受镀膜工艺中产生的颗粒，就像在工业生产规模的某些镀膜应用中出现的高气载。TURBOVAC MAGiNTEGRA 泵是我们在溅镀系统中实现高真空的合适解决方案。这些泵在泵送速度-尺寸-通量方面具有维护成本低和性能卓越的特质。如果您需要用于大面积镀膜应用的高真空泵，那么 TURBOVAC MAGiNTEGRA 是您的理想解决方案。
TURBOVAC i
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC i 系列涵盖多款机械涡轮分子真空泵，为工业应用提供各种经过优化的型号。得益于其特殊的设计，我们坚固耐用的 TURBOVAC i IND 版本非常可靠，可耐受在镀膜工艺中产生的颗粒或某些镀膜应用中在中小型真空室内所需的高气流。
扩散泵
扩散泵
高真空扩散泵功能多样，可用于许多应用场合，但特别适用于装饰镀膜、防磨损处理和卷绕镀膜。我们的 DIP 和 DIJ 系列扩散泵坚固耐用且经济高效，能以非常低的价格为任何需要高真空的应用提供所需的抽取速度。
COOLVAC
COOLVAC
用于获得无水无油真空的高真空泵系列的低极限压力可达 10-9 mbar。光学层需要尽可能的纯净，才能获得极佳的性能。因此，如果工艺需要纯净度极高的真空系统，那么 COOLVAC 是理想的选择。
真空计
真空计
稳定的真空压力对于始终如一的高质量镀膜至关重要。根据该工艺、真空度和所需的精度，使用各种真空计监测甚至控制真空度。从用于粗真空的 TTR91 或 TTR101 真空计到用于高真空度的 ITR90，我们提供全系列真空计，以满足您的加工需求。对于真空镀膜工艺，在溅镀过程中实现精确压力和较低的最终压力非常重要。在某些高精度的溅镀工艺中，测量压力的准确性起着至关重要的作用。我们开发了自己的真空计系列，为所有尺寸和所有精度级别提供测量和控制系统。
检漏
检漏
严密的真空系统可确保产品质量的一致性，是稳定的镀膜工艺的先决条件。因此，可使用我们的 PHOENIX 系列氦检漏仪对镀膜系统进行检漏测试。该系列包括油式和干式解决方案以及移动式和车载式系统。
真空配件和阀门
真空配件和阀门
如果没有特殊的真空密封零件、配件和阀门，真空系统就不完整。我们的所有附件，包括阀门、密封、管道和软管，都与我们的泵配合良好，并符合所有世界标准，例如 ISO-K 和 ISO-CF。
DRYVAC
这一系列的干式螺杆真空泵兼具高成本效益和节能的特点，并且具有出色的耐用性。DRYVAC 可在进出样室等短节拍抽空间隔进行冷却，此外，在溅镀过程中还可处理高粉尘气体负载。DRYVAC 泵代表了前级真空泵的“新一代”产品，已成为行业标准。它们的功能与当今的市场要求非常一致，因为它们专为环保运行而设计，并且提供了方便且透明的服务计划。
DRYVAC PowerBoost
有时您需要完全集成的解决方案，例如，连续性镀膜线的进样室需要真空泵具有强大的瞬间爆发力。DRYVAC PowerBoost 将 DRYVAC 和 RUVAC 罗茨泵与智能电子模块集于一体。该系统可自动调整 RUVAC 罗茨泵的性能，从而缩短抽空时间并降低能耗。对于洁净室环境（TFT、SEMI 和 FPD），DRYVAC PowerBoost 可在非常小的环境占地面积下提供理想的性能。
RUVAC
大容积抽空需要高性能的罗茨泵。我们经典的罗茨泵 RUVAC WA(U) 和 WS(U) 以及我们创新的密封型 RUVAC WH(U) 可以直接驱动，也可以通过变频器驱动，使其能够以更高的转速和泵速连续运行。
凭借 250 至 7000 m³/h 的容量，我们可以为各种规模的镀膜系统提供真空设备。
SOGEVAC
SOGEVAC 单级旋片泵系列是一种久经考验的用于镀膜应用的前级真空泵。几十年来，油封式 SOGEVAC 泵是寻求在镀膜应用中拥有卓越声誉的可靠真空泵的客户的理想之选。您通常会发现 SOGEVAC 泵与 RUVAC 罗茨泵在系统中配合使用。SOGEVAC 系列拥有多种泵速，从16 m³/h 到 750 m³/h 不等，因此，可将此系列泵与小型台式溅镀系统相结合，用于大型工业溅镀机器。
TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAGiNTEGRA 磁悬浮涡轮分子真空泵是经过生产验证的高真空泵，可产生不含碳氢化合物的真空，用于各种具有挑战性的应用。由于其非常耐用，可以耐受镀膜工艺中产生的颗粒，就像在工业生产规模的某些镀膜应用中出现的高气载。TURBOVAC MAGiNTEGRA 泵是我们在溅镀系统中实现高真空的合适解决方案。这些泵在泵送速度-尺寸-通量方面具有维护成本低和性能卓越的特质。如果您需要用于大面积镀膜应用的高真空泵，那么 TURBOVAC MAGiNTEGRA 是您的理想解决方案。
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC i 系列涵盖多款机械涡轮分子真空泵，为工业应用提供各种经过优化的型号。得益于其特殊的设计，我们坚固耐用的 TURBOVAC i IND 版本非常可靠，可耐受在镀膜工艺中产生的颗粒或某些镀膜应用中在中小型真空室内所需的高气流。
扩散泵
高真空扩散泵功能多样，可用于许多应用场合，但特别适用于装饰镀膜、防磨损处理和卷绕镀膜。我们的 DIP 和 DIJ 系列扩散泵坚固耐用且经济高效，能以非常低的价格为任何需要高真空的应用提供所需的抽取速度。
COOLVAC
用于获得无水无油真空的高真空泵系列的低极限压力可达 10-9 mbar。光学层需要尽可能的纯净，才能获得极佳的性能。因此，如果工艺需要纯净度极高的真空系统，那么 COOLVAC 是理想的选择。
真空计
稳定的真空压力对于始终如一的高质量镀膜至关重要。根据该工艺、真空度和所需的精度，使用各种真空计监测甚至控制真空度。从用于粗真空的 TTR91 或 TTR101 真空计到用于高真空度的 ITR90，我们提供全系列真空计，以满足您的加工需求。对于真空镀膜工艺，在溅镀过程中实现精确压力和较低的最终压力非常重要。在某些高精度的溅镀工艺中，测量压力的准确性起着至关重要的作用。我们开发了自己的真空计系列，为所有尺寸和所有精度级别提供测量和控制系统。
检漏
严密的真空系统可确保产品质量的一致性，是稳定的镀膜工艺的先决条件。因此，可使用我们的 PHOENIX 系列氦检漏仪对镀膜系统进行检漏测试。该系列包括油式和干式解决方案以及移动式和车载式系统。
真空配件和阀门
如果没有特殊的真空密封零件、配件和阀门，真空系统就不完整。我们的所有附件，包括阀门、密封、管道和软管，都与我们的泵配合良好，并符合所有世界标准，例如 ISO-K 和 ISO-CF。
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