太陽能鍍膜
太陽能鍍膜
太陽能板的生產可分為兩種不同的技術：晶圓式與薄膜。
在晶圓式太陽能電池生產中，第一個真空步驟是矽晶圓的製造。這些矽晶圓會切割成單或聚晶棒，其會在 DSS 或柴氏長晶製程中在真空下生產 (如需更多詳細資訊，請參閱拉晶)。
另一個重要的真空步驟是透明導電氧化物的物理氣相沉積 (PVD TCO) 鍍膜步驟，它會在層疊的正面和背面濺鍍。
在薄膜太陽能電池生產方面，有兩項主要技術：CIGS (銅、銦、鎵、硒) 與 CdTe (鎘、碲)。這兩個使用中層疊都會在數個製程步驟中在真空鍍膜機中套用。同樣地，PVD TCO 鍍膜會在層疊的正面和背面濺鍍。
異質接面 (HJT) 的新技術結合了化學氣相沉積 (CVD) 步驟與知名的 PVD 前與後接觸鍍膜。CVD 鍍膜步驟是在非晶質或微晶質的基礎上套用的。透過這項技術中，Leybold 在全球安裝了大量幫浦。
所有真空製程通常都在大型進線鍍膜機器中進行，其運作週期最短。Leybold 從一開始就支援這項技術，而且累積了豐富的專業知識。為了達成快速負載搬送抽氣的目標，Leybold 專用開發了它的 POWERBOOST 系統。其他專門的 DRYVAC/RUVAC 幫浦系統經實證為最可靠的解決方案，適用於 CIGS 與 CdTe 等嚴苛應用，確保達到最高的工廠運作時間。
HJT 的要求更為嚴苛，因為此製程會產生大量灰塵，並在 H2 之外使用毒性氣體。DRYVAC 在這這方面特別出色，因為它具有全密封特性，而且幫浦材料經過特別挑選來處理這類製程。
