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精密な真空計測

静電容量真空計

ガスに依存しない直接計測テクノロジー

あらゆる環境で高レベルの正確性と迅速な応答時間を提供

これらのゲージは主に大規模な設置で使用され、主に0~10 V出力(またはDI/DU範囲でオプションの4~20 mA出力)を介してPLCに直接統合されています。

研究&開発での使用などの小規模な設置では、アクティブゲージコントローラーとの互換性が維持されます。

CERAVAC CTR静電容量真空計

長年にわたる信頼性の高い性能を提供します。

高精度、高速応答時間、堅牢なセラミックダイヤフラムにより、1000~1 x 10-4mbar(1 x 10-5Torr)の計測に非常に優れています。

CERAVAC Capacitance Manometer

DI/DUピエゾ抵抗 / 容量性真空計

汚れた環境や湿気のある環境に適した、コスト効率の高い代替手段です。

高精度で非常に堅牢なセンサを備えており、2000 mbar(1500Torr)~0.1 mbar/torrの計測が可能です。 

Active Pressure Sensors

当社の製品