光学コーティングのための真空ソリューション

光学系の反射挙動や透過特性の改善

フィルター、レンズ、眼鏡用レンズ、鏡など

真空による薄膜コーティング

眼鏡、鏡、反射板などの製造には高度な技術が必要ですが、その中には真空を利用することで可能になる技術もあります。そのひとつが、反射防止層やスクラッチ防止膜の製造です。もちろん、眼鏡の特殊な光学フィルターや赤外線フィルター、紫外線フィルターはよく知られていますが、光学コーティングは科学的なアプリケーションにも多く利用されています。顕微鏡から宇宙観測用のジェームズ・ウェッブ望遠鏡の鏡に至るまで、特殊な光学フィルターレンズは至る所で見られます。

PVDを使用した光学コーティング

光学コーティングでは、多くの薄い層を組み合わせて、さまざまな反射特性や光伝導率を改善させる層を作成します。これらの層は、通常、「物理蒸着」（PVD）または蒸発プロセスと呼ばれるプロセスで、バッチコーティングシステムで適用されます。これらはすべて、圧力範囲が10^-2～10^-3 mbarの真空条件下で行われます。

光学コーティングアプリケーションには、真空チャンバー内の安定した値で目的の真空レベルを維持できる高精度システムが必要です。ライボルトは、以下を含む、これらのシステムに必要なすべての真空製品を提供しています。

バックポンプまたは「前段」真空
高真空ポンプ
信頼性とコスト効率に優れた設置
プロセス制御ソリューション
システム統合

プロセスの第1段階では、真空チャンバーを非常に迅速に排気できる「粗引き」ポンプを使用して、真空チャンバーから周囲のガスと湿度を除去する必要があります。DRYVAC、VARODRY、SCREWLINE、SOGEVAC、TRIVACおよびRUVACポンプなど、お客様のプロセス要件に応じた様々な製品群を取り揃えています。複数のシステムを組み合わせて、最適な排気速度を実現し、所有コストを最適化できます。

プロセスの次のステップでは、プロセスチャンバーは真空レベル5 x 10^-6 mbar以下に排気されます。これは、運転圧力範囲内のアルゴン、窒素、および酸素のガス負荷が連続的に維持される必要あります。一部のプロセスでは、オイル、ダスト、および振動のないプロセス環境が必要です。この場合は、TURBOVAC i、TURBOVAC MAGまたはCOOLVACポンプを推奨します。要求の厳しいプロセスには、拡散ポンプ（DIJおよびDIP）がより適しています。
高真空システムには、長時間にわたって高いガス負荷で連続的に動作する能力が必要です。

ライボルトのポンプはコーティングアプリケーション向けに設計されており、数十年にわたりその価値を実証してきました。経験からも、信頼性と稼働時間が重要であることがわかっています。そのため、定期的なメンテナンスプランとOEMのスペアパーツをお勧めします。真空システムを適切に管理すると、運用コストも節約できます。お客様の地域のライボルトの担当者にお問い合わせいただき、お客様の生産を常に稼働させるための最適なソリューションをご確認ください。

真空蒸着プロセスの真空状態を常に正確に測定することができます。当社のさまざまな真空ゲージを使用すれば、プロセスに最適な条件を常にモニタリングできます。ライボルトの担当者が、最適なプロセス制御ソリューションについてアドバイスいたします。リーク検知およびRGA（再使用ガス分析装置）システムは、プロセスの再現性と信頼性において重要な役割を果たします。

当社のポンプは完全に適合するように設計されていますが、場合によっては、制御およびモニタリングソリューションが必要になることもあります。この場合、生産プロセスをサポートするPLCまたはコントローラーを設置します。