コーティングアプリケーションの真空装置
機械部品の磨耗保護から光学部品のコーティング、プラスチック表面の金属被膜に至るまで、これらのプロセスはすべて真空条件下で行われます。
真空コーティングソリューション
真空コーティングは、さまざまな製品の表面に高性能な層を追加し、顧客にとっての価値を向上させる最も効果的な方法の1つです。真空コーティングは、ハイテクで常に進化している生産市場の一分野であり、ライボルトのソリューションはその基準を打ち立てています。
真空コーティングは、次のようなさまざまなアプリケーションで使用されています。
- 100%の透明性を維持しながら太陽エネルギーを反射するLow-Eガラスコーティング。Low-Eガラスコーティングは、エネルギー消費量の削減に貢献する省エネ製品です。
- 透明感のあるライトファサードにより現代の高層建築物の美観を高めながら、Low-Eガラスの特性を維持する、建築用ガラスコーティング。
- 高切削速度での切削工具の使用性を向上させるための耐磨耗性の硬質コーティング
- ソーラーパネル、ディスプレイ、タッチスクリーンセンサーの製造に使用される機能性コーティングは、最新のデバイスの絶え間ない開発と品質向上を可能にします。
- 光学フィルター、レンズ、反射面、反射防止面を作るための特殊光学コーティング
- 部品や製品の高級感を演出する高反射コーティングなどの装飾コーティング。
真空コーティング市場の要望は常に、ライボルトが最適化製品や顧客固有の真空ソリューションを提供するうえでの原動力になっています。このような製品やソリューションには、フォア真空ポンプ、高真空ポンプ、真空制御装置、真空計測装置、リーク検知システムなどがあります。
ライボルトの真空ポンプとソリューションが提供するもの
コーティングアプリケーション関連製品
- DRYVAC
- DRYVAC PowerBoost
- RUVAC
- SOGEVAC
- TURBOVAC MAGiNTEGRA
- TURBOVAC i
- 拡散ポンプ
- COOLVAC
- 真空計
- リーク検知
- 真空用継手・バルブ
DRYVAC
かつてない堅牢性を備えた、ドライスクリュ真空ポンプの最新のコスト効率とエネルギー効率に優れたファミリーです。DRYVACは、スパッタリング処理中の粉塵ガス負荷の増加に加えて、ロードロック中に繰り返し発生するショックベントに対応できます。DRYVACポンプは、「次世代」の前段真空ポンプであり、すでに業界標準となっています。これらの機能は、環境に配慮し、環境を損なわない操作のために設計されており、便利で透明性の高いサービスプランを提供するため、今日の市場要件に適合しています。
DRYVAC PowerBoost
完全に統合されたソリューションが必要な場合もあります。たとえば、強力なバーストエネルギーを必要とするインライン型のコーターのロードロックなどです。DRYVAC PowerBoostは、DRYVACおよびRUVACブースターポンプとインテリジェント電子モジュールを組み合わせたものです。このシステムは自動的にRUVACブースターポンプの性能を調整して、サイクルタイムを短縮し、エネルギー消費を低減します。クリーンルーム環境（TFT、SEMI、FPD）では、DRYVAC PowerBoostは最小限の環境フットプリントで可能な限り最高の性能を提供します。
RUVAC
大容量のポンプには高性能ブースターポンプが必要です。当社の従来のブースターポンプは、RUVAC WA（U）とWS（U）に加えて、革新的で密閉性の高いRUVAC WH（U）も直接駆動することも、周波数変換器で駆動することもできます。これにより、より高い回転速度とポンプ速度で連続運転できます。
250～7000 m³/時の容量を持つ当社は、あらゆるサイズの真空コーティングシステムを設計できます。
SOGEVAC
SOGEVACロータリベーンポンプファミリーは、コーティングアプリケーションで使用される、実績のある前段真空ポンプです。数十年にわたり、オイルシール型SOGEVACポンプは、コーティングアプリケーションで最も高い評価を得ている信頼性の高い真空ポンプを求めるお客様の中で最も選ばれています。通常、SOGEVACポンプは、RUVACルーツブロワと組み合わせたシステムに搭載されています。SOGEVACファミリーは、16 m³/時～750 m³/時の幅広い排気速度で利用できます。このポンプファミリーは、大型の産業用スパッタリング装置用に小型卓上スパッタリングシステムと連結して使用できます。
TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAGiNTEGRA磁気浮上ターボ分子真空ポンプは、過酷な用途で炭化水素を含まない真空を生成する、生産実績のある高真空ポンプです。その堅牢性により、産業生産スケールの一部のコーティングアプリケーションで発生する高ガスフローと同様に、コーティングプロセスで生成される粒子も許容できます。TURBOVAC MAGiNTEGRAポンプは、スパッタリングシステムでの高真空に最適なソリューションです。これらのポンプは、排気速度、サイズのスループットに関して、低いメンテナンスコストと高い性能を提供します。大面積のコーティングアプリケーションには、高真空ポンプが必要ですか? TURBOVAC MAGiNTEGRAは、頼りになるソリューションです。
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC iファミリーは、産業アプリケーションに最適化されたさまざまなモデルを提供する機械式ターボ分子真空ポンプです。専用設計により、堅牢なTURBOVAC i INDバージョンは、コーティングプロセスで発生する粒子や、小規模から中規模の真空チャンバまでの特定のコーティングアプリケーションで必要とされる高ガスフローに耐えるのに最適です。
拡散ポンプ
高真空拡散ポンプは、多くの用途に十分な汎用性を備えていますが、特に装飾コーティング、摩耗防止処理、ロールtoロールコーティングに役立ちます。当社のDIPおよびDIJシリーズの堅牢でコスト効率の高い拡散ポンプは、高真空を必要とするあらゆる用途に、排気速度に対して最低の価格を提供します。
COOLVAC
高真空ポンプファミリーは、到達圧力を10-9 mbarまで下げることで、湿度とオイルフリーの真空を確保します。光学層は、適切な特性を得るためにできる限り純粋である必要があります。そのため、真空システムの純度が中核的な役割を果たす場合、COOLVACを選択することが適切です。
真空計
安定した真空圧力は、一貫した高品質コーティングに不可欠です。プロセス、真空レベル、および必要な精度に応じて、さまざまなゲージを使用して真空レベルを監視したり、制御したりします。低真空用のTTR91またはTTR101ゲージから、高真空レベル用のITR90まで、さまざまなゲージを取り揃え、お客様の処理ニーズにお応えします。真空コーティングプロセスでは、スパッタリング時に正確な圧力と低い到達圧力が重要です。特定の高精度スパッタリングプロセスでは、圧力の測定精度が重要な役割を果たします。当社では、あらゆるサイズおよびすべての精度レベルに対応する測定および制御システムを提供する独自の真空ゲージファミリーを開発しました。
リーク検知
安定したコーティングプロセスの前提条件は、真空環境が整っていることであり、均一な製品品質を確保することです。そのため、当社のヘリウムリークディテクタのPHOENIXシリーズを使用して、コーティングシステムのリークテストを実施しています。このシリーズには、ウェットソリューションとドライソリューション、モバイルシステムとカートマウントシステムの両方が含まれます。
真空用継手・バルブ
真空システムは、特殊な真空締め部品、継手、バルブがなければ完成しません。バルブ、シーリング、配管、ホースなど、当社のすべてのアクセサリは当社のポンプに完全に適合し、ISO-KやISO-CFなどの世界標準に準拠しています。
