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冷凍幫浦屬於儲氣式真空幫浦。

 我們幫浦涵蓋的壓力範圍為 10-3 至 ≤ 10-11 mbar。

運作原理為氣態物質透過低溫冷凝、低溫吸附或低溫陷捕的方式,與幫浦內的低溫表面結合。

冷凍幫浦的真空側沒有任何機械式移動、機油或油脂潤滑的零件。 

為了產生高真空或超高真空,必須將低溫表面/低溫面板冷卻至一定程度的低溫。其為利用 Leybold 的 COOLPOWER i 系列 (Gifford/McMahon 原理) 製造之經實證可靠性高的一或二級冷凍系統進行冷卻。 

特性

所有氣體和空氣的抽氣速度都非常有效力,水 (H2O) 和氫氣 (H2) 更是如此。透過製冷頭及壓縮機的可變馬達速度可以提高冷卻效能和冷卻速度。

使用可靠的 COOLPOWER i 製冷頭和 COOLPAK i 壓縮機所打造。 

冷凍幫浦對來自製程或外部振動的粒子引發的機械干擾並不敏感。 

Leybold 冷凍幫浦因使用自動控制,所以易於操作,並可使用 COOL.DRIVE i 或 CRYOVISION 監控 iSmartLine (iSL)。 

此系列幫浦也很容易維護。現場就能馬上更換零件,不需要從系統卸除幫浦。 

運作成本低,尤其是抽氣速度愈快,運作成本就更低

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