冷凍真空幫浦

冷凍幫浦屬於儲氣式真空幫浦。

我們幫浦涵蓋的壓力範圍為 10^-3 至 ≤ 10^-11 mbar。

運作原理為氣態物質透過低溫冷凝、低溫吸附或低溫陷捕的方式，與幫浦內的低溫表面結合。

冷凍幫浦的真空側沒有任何機械式移動、機油或油脂潤滑的零件。

為了產生高真空或超高真空，必須將低溫表面/低溫面板冷卻至一定程度的低溫。其為利用 Leybold 的 COOLPOWER i 系列 (Gifford/McMahon 原理) 製造之經實證可靠性高的一或二級冷凍系統進行冷卻。

所有氣體和空氣的抽氣速度都非常有效力，水 (H₂O) 和氫氣 (H₂) 更是如此。透過製冷頭及壓縮機的可變馬達速度可以提高冷卻效能和冷卻速度。

使用可靠的 COOLPOWER i 製冷頭和 COOLPAK i 壓縮機所打造。

冷凍幫浦對來自製程或外部振動的粒子引發的機械干擾並不敏感。

Leybold 冷凍幫浦因使用自動控制，所以易於操作，並可使用 COOL.DRIVE i 或 CRYOVISION 監控 iSmartLine (iSL)。

此系列幫浦也很容易維護。現場就能馬上更換零件，不需要從系統卸除幫浦。

運作成本低，尤其是抽氣速度愈快，運作成本就更低

COOLPAK

COOLPOWER

COOLVAC

低溫系統

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