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真空計校正系統

定期檢查、調整與重新校正必須定期校正的真空計和感測器,將可達成製程可靠度。將裝置設定為初始值是品質保證的重要部分。經過校正的儀錶特別適用於可重複性、相容性及測試程序品質方面的高要求。此外,如果許多現有的壓力測量裝置需要明確的參考,則必須進行校正。

Leybold 的 CS 校正系統可讓客戶自行檢查和校正所定義且需要的真空計測量精確度。這可以遵循德國認證機構 (DAkkS) 或任何國際標準,而所需的測量精確度則必須由使用者定義。

關於這一點,「校正」一詞代表要校正的從儀錶中測得的值,與所謂「參考儀錶或傳輸標準」進行的比較。做為條件而言,這兩種儀錶都必須連接至依照 ISO 3567 規範設計的相同真空腔室。參考儀錶本身 (連同壓力顯示器和連接纜線) 必須對照可追蹤的傳輸標準進行校正,每年至少一次。

我們的參考儀錶認證方式是透過對照 Leybold GmbH 的 DAkkS2) 校正服務所制定的 PTB1) 傳輸標準。

1) PTB - Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin (聯邦物理與科技研究所)

2 DAkkS - Deutsche Akkreditierungsstelle (德國校正服務)

自 1981 年以來,我們便開始獨立為客戶校正所有的儀錶和感測器。

通過校正程序者會獲得 DAkkS 或原廠校正認證的核發。長期穩定性不足或測量原則不適合校正的裝置則不予校正。

校正可在靜態或動態模式下執行。

  • 靜態表示校正腔室與幫浦系統隔離,且氣體會容許進入,直到達到所需壓力值為止。這種方法需要低除氣率,這是透過乾淨的校正腔室與長抽氣時間所達成。
  • 使用動態校正,可透過渦輪分子幫浦進氣口上的氣體定量閥與節流閥來調整腔室壓力。進氣量會以手動方式與抽出的氣流平衡,以設定穩定的壓力。

CS 3

  • 任何廠牌的真空計與測量系統均可校正
  • 設計符合 ISO 3567 標準
  • 使用 PTB-、DAkkS- 或原廠認證的傳輸標準
  • 更容易通過 DIN / ISO 9000 認證
  • 可靠且可重複的測量
  • 快速啟動
  • 透過使用乾式壓縮真空幫浦成為無碳氫化合物的測量系統
  • 操作簡單
  • 經 CE 核准

CS 3 的基本單元主要由不鏽鋼校正腔室 (依據 ISO 3567 設計),搭配三個校正連接埠,以及一個乾式壓縮渦輪分子幫浦系統 TURBOLAB 90 組成。針對壓力設定,手動氣體定量閥會與蝶形閥搭配使用,以進行抽吸速度的節流。另外配備全範圍高真空計,可顯示要校正的感測器完整壓力範圍,以及系統的極限壓力。根據 ISO 3567,此極限壓力必須至少為最低校正壓力的 10%。

針對儀錶比較,CS 3 隨附了二或三個參考發射器 CERAVAC CTR 100 N (或 CTR 101 N,可提高精確度)、一步顯示裝置 GRAPHIX THREE 和對應的連接纜線。所有的這些項目都在我們自己的校正實驗室中進行校正,以符合最新的 DAkkS 規範。

Calibration system CS3 - half side left

CS 7

  • 服務校正範圍從 1000 mbar (Torr) 往下到 1 x 10-7 mbar (Torr) 的自訂產品。
  • 通常用於研究機構或校正實驗室。
  • 檢查真空計的特性
  • 根據 DAkkS (德意志聯邦共和國的國家認證機構) 或其他國際標準,精確校正真空計
  • 確保可再現的參數
  • 操作簡易的校正系統
  • 腔室、渦輪分子幫浦系統、真空計及其他組件,視校正壓力而定
Vacuum Gauge Calibration System
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