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COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

COOLVAC

冷凍真空幫浦

氣體捕集式幫浦

COOLVAC 真空幫浦是一種製冷式低溫幫浦,當氣態物質透過低溫冷凝作用與幫浦內部的低溫表面鏈結以形成真空,用於產生超高真空。

由於抽氣原理,COOLVAC 低溫幫浦對所有氣體都具有高有效抽速。COOLVAC 真空幫浦在 10-3 mbar 至 10-11 mbar 之間的壓力範圍內產生無碳氫化合物的超高真空。

來自 COOLVAC 系列的所有低溫幫浦均配備所有安全相關元件,特別是在連接排氣管線時配備額外 DN 40 KF 法蘭的安全閥。

幫浦的本體是以高品質不鏽鋼製成。需要使用 COOLPAK i 系列的氦氣壓縮機操作內置於 COOLVAC i 系列低溫幫浦中的 COOLPOWER i 製冷頭。

iSmartLine (iSL)

iSmartLine (iSL) 系列的低溫幫浦通過兩級製冷頭的電加熱器逐步加熱到室溫。 壓力、溫度和加熱功率由 COOL.DRIVE i 控制器監控。

過程中抽出的氣體會依下列順序逐一釋放:

  1. 吸附在低溫板的氣體 (例如氫、氦、氖),
  2. 冷凝在低溫板的氣體 (例如氮、氧、氬),
  3. 冷凝在擋板和熱幅射屏蔽板的氣體和蒸氣 (例如水蒸氣)。

前述 Leybold 再生程序的優點是在惰性、無反應的氣體再生期間,不需要額外的清掃氣體。

您獲得的好處:

  • 提供 3 種操作模式,以提升冷卻效能、節能及自訂操作
  • 不含碳氫化合物的高真空
  • 高氬與氫的容納量
  • 透過整合式 COOL.DRIVE i 控制器 1) 進行全自動再生
  • 無需拆卸和重新建立真空系統即可輕鬆進行現場維修
  • 對水和氮氣具有高抽速
  • 使用電熱再生系統進行快速、安全且有效率的再生

iBasicLine (iBL)

使用 iBasicLine (iBL) 系列的低溫幫浦時,可手動在兩個子步驟中進行再生: 

  1. 關閉製冷系統,並等待到達到室溫為止
  2. 在低溫幫浦達到充分低壓後,請重新冷卻

iBasicLine 與 iSL 版本的 COOLVAC 低溫幫浦在抽速、容量、冷卻時間、內置製冷頭、最大氣通量、內置第二級溫度傳感器 (矽二極管)和相應的電流饋通等技術數據方面相同。

iBasicLine 機型包含 COOL.DRIVE I 控制器,以及加熱器、真空計與前級真空閥。

看看其中的優勢!

Smart

The COOLVAC can be automatically controlled by combination with the compact COOL.DRIVE i controller and the MK5 controller of the COOLPAK I compressors (LINK). The Controller is easy to operate for a rapid, reliable and clean regeneration with the high performance, low vibration and energy efficient COOLPOWER cold heads (LINK) and Compressors (LINK) of the respective i series. With three operation modes - boost, eco or standard - for fast cool down, energy saving or standard operation via communication with the COOLPAK i compressor

Safe and Simple

Integrated in these cryo pumps are safety valves according to the EN 4126 standard. The maintenance of the COOLVAC vacuum pumps is equally fast and simple with no need to detach the pump from the system and low cost of ownership.

High Pumping Speed

Highly effective pumping speed for all gases and water vapor in particular the COOLVAC cryo pumps are a great choice. The cryo pumps from both the iBasicLine range as well as those from the iSmartLine range are available in suction capacity classes from 5000 l/s to 60000 l/s.

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