主動式、被動式和組合式真空計的定義

真空計類型可分為主動式 (包括單儀錶頭與組合式儀錶頭) 和被動式真空計。所有真空製程都有合適的真空計類型。Leybold 提供完整的真空計系列,正如我們為各種適用製程提供多種幫浦一樣。基本真空計類型的基本特性如下所述。一如既往,如果您有任何特定需求,或在真空計選擇過程中需要協助,請與我們聯絡,我們很樂意協助您。

主動式真空計的功能

主動式真空計包括控制單元電子設備和實際的傳感器。這意味著主動式儀表是完整的,獨立的偵測頭和驅動器電子設備,整合在一個緊湊的單元中。傳感器部分從測量的信號中產生一個電性度量。

這些真空計通常需要 24 V DC,然後提供與壓力相關的 0 - 10 V 輸出。由於內建電子裝置的關係,烘烤溫度限制在 <212 °F (<100 °C),因此在連接電子裝置的情況下,只能進行有限度的烘烤。移除電子裝置後,通常可在高達 150 °C 的溫度下進行烘烤。

線性化輸出訊號不論是類比或數位,都表示纜線上沒有傳輸錯誤。真空計纜線已經過標準化,且線路不會對測量的壓力值造成影響。

控制器只是一個顯示裝置,所以電源供應是來自廠房。訊號的顯示是在中央顯示幕上。壓力是以類比量測或透過數位介面來表示。數位真空計與控制器無關 (主動),並且會依序傳達測量值。 

另外也請務必注意,主動式真空計對輻射和磁場敏感。

組合式感應器真空計或組合式真空計

正如其名,組合式真空計會在單一真空計中結合各種測量原理。這代表可消除個別的弱點,作業安全性因而得以提高,並且也更具成本效益。兩個傳感器提供單一量測,並共用單一外殼、單一連線和單一顯示器。組合式真空計也能在更大的範圍內提供更佳的壓力監控能力。組合式真空計的範例為 Pirani/冷陰極真空計 – 請參閱 間接壓力量測頁面以取得更多詳細資料。 

被動式真空計的功能

與主動式真空計不同,被動式真空計只包含傳感器,而不包含電子裝置。被動式測量裝置會將量測零件與驅動電子裝置完全分開。裝設在系統的儀錶頭僅包含實體量測所需的零件,而其他電子裝置都分離在控制裝置中。通常控制裝置也裝有類比電壓輸出、切換點繼電器輸出接點和數位介面。

被動式真空計傳送傳感器直接測量到的訊號,而且纜線會影響測量訊號。它們需要根據指示器類型的特定電纜。

控制器同時也是測量裝置,因此電源供應僅由控制器提供。以此類推,顯示器僅位於控制器上。

與主動式真空計相較之下,被動式真空計更可耐受輻射和高烘烤溫度。

維護

最後,也請務必注意,如同任何設備,真空計的維護對於令其功能符合預期標準扮演著重要角色。為了確保壓力讀數的可靠度,所有類型的真空計基本上都必須保持乾淨。 

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