LEYSPEC 推車型產品將高效能殘餘氣體分析儀 (RGA) LEYSPEC 與 TURBOLAB 泵浦系統結合在一起,由 TURBOVAC i 渦輪分子真空泵浦和乾式壓縮 SCROLLVAC plus 渦捲式泵浦所構成。
安裝在輪子上,為您提供充分的機動性!
您可以在單一裝置上享有多種生產工具需要的所有優勢。
LEYSPEC 推車型產品是為了處理需要較高真空壓力的眾多應用所開發。
這些行動式泵浦總成最重要的市場是鍍膜、鋼材除氣和工業乾燥。然而,需要氣體分析的其他各市場也都能從這個泵浦總成受益。
使用 Leybold LEYSPEC 推車型產品,體驗無與倫比的氣體分析功能。
TURBOLAB 高效能泵浦總成結合 LEYSPEC 殘餘氣體分析儀,無論壓力為何,都能提供高效靈活的氣體分析。
此外,也可使用精細定量的 UHV 閥連接至任何製程。現在可以透過全金屬結構進行烘乾,從而在殘餘氣體分析期間執行清潔。
因此,您可隨時在需要時執行,針對眾多製程與應用展現充分機動性。
此泵浦系統是由 TURBOVAC 250 i 渦輪分子泵浦和 SCROLLVAC 7 乾式前級泵浦所組成,因此能快速做好測量準備
得益於 TURBOLAB 泵浦總成的整合式製程控制
LEYSPEC 軟體讓操作非常簡易又直覺,不需要冗長的訓練
隨時在您的製程或腔室中執行行動式殘餘氣體分析
可耐受烘乾,能完全專注於您的製程氣體
不受壓力影響的殘餘氣體分析 – 即使在大氣壓力下也不例外