殘氣分析儀

LEYSPEC

LEYSPEC 殘氣分析儀 (RGA) 產品系列可實現簡單直覺的操作方式。

按下按鈕，即可顯示主要氣體的分壓，如果您的製程包含其他氣體，您可以將其指派給備用顯示通道。

由於可實現高烘乾溫度，LEYSPEC 非常適合用於嚴苛的高真空和超高真空應用。

運作原理

量測單元是一種熱陰極離子化真空計。電子會從熱燈絲發射，並透過電子偏壓朝向來源加速。快速移動的電子會與氣體分子碰撞，將電子移位，因而使其離子化。正電荷氣體離子可為負電荷離子收集器提供電流。離子電流與壓力成正比。離子愈多，離子電流就愈高。四極陣列由四根不鏽鋼棒組成。直接電流和高頻電壓會施加在所有鋼棒上，因而會產生複雜的磁場。可藉由改變電壓來控制磁場。

產生的震動只允許特定質量的離子「飛」越並到達偵測零件：

具有適當質量對電荷比例 (m/e) 的離子，會在通過立柱的穩定三維軌跡中震盪。
m/e 不正確之離子的振盪會失控，並與立柱碰撞

離子到達離子收集器內並提供輸出電流，此電流為該離子通過過濾器時相對含量的度量指標。該離子電流或針對 m/z 比例的分壓接下來會顯示在裝置或軟體中。

根據所述的運作原理，LEYSPEC RGA 能藉由找出並顯示氣體成分來確認氣體的純度。如此一來，LEYSPEC 即可識別氣體污染物，並執行進一步的製程與設備控制，將製程效能與產量最佳化。

整合式全功能 (All-In-One) 裝置，讓操作變得簡單又直覺

由於具備高靈敏度，LEYSPEC 殘氣分析儀可偵測極少量的污染物或製程氣體。產品系列提供 100、200 和 300 amu 的解決方案。烘乾溫度最高可達 300 °C，因而可在嚴苛環境下作業。

LEYSPEC 可直覺地以其軟體及整合式控制與顯示裝置操作。不需將其連接至電腦，即可進行簡易的殘氣分析。按一下按鈕即可顯示主要氣體，並有備用顯示畫面可供顯示其他氣體。

本系列也適用於高真空系統中的嚴苛測試程序和殘氣分析。

有了 LEYSPEC 預先安裝的功能，例如氦氣洩漏測試、所選擇氣體的警告與錯誤等級，以及啟動或通風後的除氣功能，此款殘氣分析儀可讓任何系統如虎添翼。

LEYSPEC 推車型

移動式殘留物分析儀系統

LEYSPEC Cart 具有完全整合的差動泵送系統，提供最大的彈性與簡易的處理。

這是一種完全獨立的泵送系統，可輕鬆適應各種量測工作，具備在各種壓力下迅速準備運作和操作能力。

我們的解決方案：

獨立泵送系統，配備 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i
整合式製程控制，操作快速又簡單
適用於 LEYSPEC RGA 的簡易直覺式軟體
完全整合在可獨立移動的 Cart 中
UHV 針閥可在最高達大氣壓力的不同壓力等級中彈性操作

特性

輕巧易用

所有產品均隨附整合式顯示幕，以方便快速進行地操作，並搭載適用於複雜測試程序和殘氣分析的 LEYSPEC 軟體。LEYSPEC 產品系列尺寸輕巧，可固定於任意方向，非常適合各種不同的內建狀況。

由於具備直覺式介面，LEYSPEC 殘氣分析儀非常容易操作。按下按鈕，即可顯示主要氣體的分壓，如果您的製程包含其他氣體，您可以將其指派給備用顯示通道。

直覺式軟體

智慧且直覺的 LEYSPEC 軟體讓產品項目更臻完整。簡單易用的介面提供多種使用案例，從簡單的操作到複雜的分析皆可。建立各種作法就是這麼簡單：快速又方便。

操作期間會顯示總壓力，並可選擇不同的檢視方式以配合分析目的。可選擇掃描模式、趨勢模式或類比模式。

高靈敏度

LEYSPEC 產品系列具有極高的靈敏度，可準確進行殘氣分析。如此一來，就能偵測出極少量的污染物或製程氣體痕跡。

LEYSPEC 藉由尋找並顯示其成分來驗證氣體的純度。因此，我們會找出氣體污染物，並進一步執行製程與設備控制，以達到整體最佳化的製程效能與產量。

靈活性

全新的 LEYSPEC 系列是進行質譜分析應用的完美解決方案。產品系列著重於殘氣分析，可根據製程要求提供 100、200 或 300 amu 的解決方案。

進階功能

預先安裝的軟體功能可供使用許多其他功能和測試程序，例如氦氣洩漏測試，或是為可選擇的氣體設定警告和錯誤等級。此外更導入可程式設定的除氣功能，以便在開始或暴露於大氣後進行簡單的製程除氣功能。背景抑制功能可容許聚焦在重要的峰值上。

高熱烘乾

LEYSPEC ultra 的高熱烘乾溫度高達 300 °C，非常適合複雜的高真空及超高真空應用。LEYSPEC ultra 系列提供極高的烘乾溫度，即使在嚴苛環境中也能進行可靠的氣體分析。

LEYSPEC RGA 提供非常高的靈敏度，並結合直覺式軟體，可供進行所有基本和進階的測試程序

文件

LEYSPEC Carts

PDF 317.9 kB

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LEYSPEC - Residual Gas Analyser

PDF 570.8 kB

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