Giai đoạn chất nền TWISTER Nghiên cứu và Phát triển dễ dàng
Giai đoạn chất nền TWISTER™ được sản xuất hoàn toàn nội bộ là bước tiếp theo để tích hợp công nghệ sáng tạo, mạnh mẽ và đáng tin cậy vào hệ thống UNIVEX của bạn hoặc bất kỳ buồng phủ nào khác mà bạn có thể đã vận hành.
Các giải pháp phù hợp cho các ứng dụng cụ thể
Để đảm bảo quy trình phủ thành công và có thể lặp lại, chúng tôi đã phát triển một giai đoạn chất nền có thể xoay, có thể làm nóng cho phép tính đồng nhất và chất lượng phủ tuyệt vời.
Để đáp ứng các nhu cầu khác nhau của bạn, chúng tôi cung cấp một hệ thống mô-đun gồm ba phiên bản chính:
- Cơ bản
- Nâng cao
- Đã hoàn tất
Từ đó chúng ta có thể rút ra 576 biến thể khả thi!
Hệ thống mô-đun
Dựa trên nguyên tắc mô-đun, giai đoạn chất nền TWISTER™ là một thiết bị có thể nâng cấp điển hình chỉ yêu cầu các kẹp khí nén bổ sung trong trường hợp thêm khóa tải. Nếu cần làm mát, chỉ cần thay thế tấm gia nhiệt bằng tấm gia nhiệt + làm mát kết hợp.
Xử lý chính xác cho kết quả chính xác
- Màng mỏng đồng đều và đồng nhất nhờ xoay chính xác chất nền
- Tùy chọn dịch chuyển Z để điều chỉnh khoảng cách của chất nền đến các nguồn phủ và để chuyển giao khóa tải
- Độ linh hoạt của các tấm nền với đường kính lên đến 6 inch
- Cải thiện chất lượng lớp bằng cách gia nhiệt lên đến 400 °C
- Làm mát bằng nước tùy chọn:
- Bảo vệ các chất nền nhạy cảm như lá và vật liệu OLED
- Làm mát nhanh hơn và xử lý tiếp theo
- Tấm che phủ dễ dàng thay thế để vệ sinh
- Kiểm soát vị trí
- Có thể nâng cấp hầu hết các thiết bị phủ phòng thí nghiệm hiện có
