冷凍幫浦

冷凍幫浦式利用超低溫的物理機制來吸附真空腔體內的氣體,以達到抽氣的效果。其抽氣機制分為:超低溫冷凝 (cryocondensation)、超低溫吸附 ( cryosorption) 及超低溫捕獲( cryotrapping) 等三種方式。