欧瑞康莱宝真空提供平板显示器制造的优化解决方案

欧瑞康莱宝真空引入一系列真空泵系统及配件,专门优化用于
薄膜涂层工艺,如平板显示器的应用。1 月 27 日-29 日,在韩国半导体工业技术展览会上,欧瑞康莱宝真空吸引客户更多地了解这些新的富有创意的 DRYVAC 系统。

提供最高的生产量以及最佳的拥有成本 (CoO) 是我们的使命。这可通过高效泵送机制与节能选项(如操作模式)相结合来实现。

欧瑞康莱宝真空引领用于所有涂层应用的完整真空解决方案的开发。在理解技术要求和您的业务支持需求方面,公司的专长无与伦比。

产生的结果是一系列优化的标准组件,它们具有紧凑的设计最高的技术标准和出色的可靠性。如果需要,紧凑和智能真空解决方案可由高真空、增压泵/干泵组合以及控制装置组成。

基于 DRYVAC 干螺杆泵的标准系统与 RUVAC WH 族罗茨鼓风机相结合是理想的解决方案,用于如快速负载锁、转移和沉积过程的平板显示应用。在同类泵中,它们提供最快的抽空时间和最高的泵送速度。通过标准化过程,欧瑞康莱宝真空可实现所提供系统的最高用户友好性。主要的客户好处是标准化的接口,如电气连接、清除选项和/或冷却水,并配有维护方便的接口和非常方便的备份池处理。

在以下主要过程中,这些系统表现优异:

  • 负载锁定/传输
  • 三极管溅射 TSPT /彩色滤光溅射 FSPT /电池
  • 有机发光二极管封装/蒸发/ ...
  • 晶体管 TFT-PECVD /薄膜封装 TFE-PECVD
  • VCD 光刻胶涂布机