真空吹氧脫碳製程

在脫碳製程的初始階段中,真空系統必須能夠持續在大約 50-200 mbar 的粗真空範圍內持續運作,抽速需求通常在 5,000 m³/h - 20,000 m³/h ;吹氧階段會造成大量的粉塵粒子,而在接下來的階段,高濃度未反應氧氣的氣流峰段則是對真空系統的另一個考驗。脫碳階段後即為真空除氣 (VD) 步驟,在 VD 製程中,通常要求在 0.67 mbar 的製程壓力下須達到 50,000 m³/h 到 250,000 m³/h 抽速。