真空吹氧脫碳 (VOD) 通常用於生産不銹鋼。與真空除氣法對比,VOD 處理包含額外的吹氧步驟,以减少鋼中可氧化物(例如碳或磷)的含量。氧氣流還可用於對熔體進行化學加熱(VD-OB 製程),因爲鋼中的成分與氧氣會進行放熱化學反應。

在脫碳步驟中,真空系統必須能够在約 50-200 mbar 的粗真空壓力範圍內持續運行,同時要排出通常爲 5,000 m³/h 至 20,000 m³/h 的高流量。脫碳步驟可能會持續約 10-45 分鐘。

這種應用的主要挑戰是吹氧階段會産生非常大量的粉塵粒子,而接續此吹氧氣流峰段之後,需面臨高濃度未反應氧氣的處理。 

脫碳之後始終是真空除氣 (VD) 步驟,在大約 0.67 mbar 的製程壓力下,抽真空速度需要達到 5,0000 m³/h 至 25,0000 m³/h。

粉塵需要過濾,以截取在除氣過程時常産生的大量粉塵。由於粉塵顆粒通常會自燃,因此過濾系統需據此特性設計。成功的過濾器設計通常採用“惰性氣體反吹清潔”步驟來清潔過濾器表面。

在粗真空壓力下長時間吹氧過程中,離開除氣罐的氣體也具有較高的密度,這意味著它們會儲存大量的熱能。爲了防止粉塵過濾器過熱,吹氧階段必須在過濾器與除氣罐之間安裝一個氣體冷却器。