Компания Oerlikon Leybold Vacuum предлагает оптимизированные решения для производства плоскоэкранных дисплеев

Компания Oerlikon Leybold Vacuum представляет широкий ассортимент систем вакуумных насосов и принадлежностей, специально оптимизированных для процессов нанесения тонкого пленочного покрытия. Эта технология может использоваться для создания плоскоэкранных дисплеев. Компания Oerlikon Leybold Vacuum приглашает клиентов на выставку Semicon Korea 27–29 января, чтобы узнать больше об этих инновационных системах DRYVAC.

Наша миссия — обеспечить наивысшую пропускную способность и самую низкую стоимость владения (CoO). Это достигается благодаря высокоэффективным насосным механизмам в сочетании с энергосберегающими функциями, например рабочими режимами.

Oerlikon Leybold Vacuum является лидером в разработке комплексных вакуумных решений для всех видов нанесения покрытия. Опыт компании не имеет себе равных в понимании технических требований и поддержке вашего бизнеса.

В результате создан оптимизированный ассортимент стандартных компонентов, отличающихся компактной конструкцией, превосходными техническими характеристиками и исключительной надежностью. Компактные и интеллектуальные вакуумные решения включают в себя устройства высокого вакуума, сочетания бустера/безмасляного насоса, а также устройства управления, если это необходимо.

Стандартизированные системы на основе безмасляных винтовых насосов DRYVAC в сочетании с воздуходувками Рутса семейства RUVAC WH являются оптимальным решением для производства плоскопанельных дисплеев, например, для быстрого действия загрузочных шлюзов, переноса и напыления. Они обеспечивают самое малое время откачки и самую высокую скорость в своем классе. Благодаря стандартизации Oerlikon Leybold Vacuum обеспечивает максимальное удобство использования предлагаемой системы. Основными преимуществами для заказчиков являются стандартизированные интерфейсы, такие как электрические соединения, варианты продувки и/или охлаждающая вода, а также простой доступ для обслуживания и очень удобная работа с резервными деталями.

Основные устройства, в которых эти системы показывают лучшие результаты:

  • Загрузочные шлюзы / перенос
  • Транзистор осаждения методом распыления TSPT / цветной фильтр FSPT осаждения методом распыления / аккумуляторный элемент
  • Инкапсуляция / напыление OLED…
  • Транзистор TFT-PECVD / Инкапсуляция тонкой пленкой TFE-PECVD
  • Установка для нанесения фоторезиста VCD