Наши насосы обеспечивают давление в диапазоне от 10–3 до ≤ 10–11 мбар.
Принцип действия состоит в том, что газообразные вещества связываются с холодными поверхностями насоса посредством конденсации, криосорбции или криостабилизации.
Вакуумные криогенные насосы не имеют механических подвижных деталей и элементов, смазываемых маслом или консистентной смазкой.
Для производства высокого или сверхвысокого вакуума холодные поверхности/криогенные панели необходимо охладить до достаточно низкой температуры. Они охлаждаются надежными одно- или двухступенчатыми холодильными установками Leybold COOLPOWER i, которые давно зарекомендовали свою эффективность (принцип Гиффорда–МакМагона).
Скорость откачки любых газов (включая воздух) очень высока. Данные насосы можно использовать для откачки воды (H2O) и водорода (H2) с аналогичной эффективностью. Эффективность охлаждения можно увеличить за счет регулировки частоты вращения двигателя охлаждающей головки и компрессора.
Насосы используют надежные охлаждающие головки COOLPOWER i и компрессоры COOLPAK i.
Криогенные насосы нечувствительны к механическим воздействиям от частиц, поступающих из технологического процесса, или вибрациям.
Криогенные насосы Leybold просты в эксплуатации и обеспечивают автоматическое управление и контроль iSmartLine (ISL) с помощью систем COOL.DRIVE i или CRYOVISION.
Эти насосы также просты в обслуживании. Детали можно заменять на месте эксплуатации без необходимости демонтажа и отключения насоса от системы.
Низкие эксплуатационные расходы особенно при высоких скоростях перекачивания
Мы уделяем особое внимание близости к заказчику. Свяжитесь с нами, чтобы получить ответы на все ваши вопросы.