COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

Криогенные вакуумные насосы

Крионасосы – газоулавливающие насосы для производства вакуума.

Наши насосы обеспечивают давление в диапазоне от 10^–3 до ≤ 10^–11 мбар.

Принцип действия состоит в том, что газообразные вещества связываются с холодными поверхностями насоса посредством конденсации, криосорбции или криостабилизации.

Вакуумные криогенные насосы не имеют механических подвижных деталей и элементов, смазываемых маслом или консистентной смазкой.

Для производства высокого или сверхвысокого вакуума холодные поверхности/криогенные панели необходимо охладить до достаточно низкой температуры. Они охлаждаются надежными одно- или двухступенчатыми холодильными установками Leybold COOLPOWER i, которые давно зарекомендовали свою эффективность (принцип Гиффорда–МакМагона).

Характеристики

Быстрые и надежные
Компактность и простота
Отличная производительность

Скорость откачки любых газов (включая воздух) очень высока. Данные насосы можно использовать для откачки воды (H₂O) и водорода (H₂) с аналогичной эффективностью. Эффективность охлаждения можно увеличить за счет регулировки частоты вращения двигателя охлаждающей головки и компрессора.

Насосы используют надежные охлаждающие головки COOLPOWER i и компрессоры COOLPAK i.

Криогенные насосы нечувствительны к механическим воздействиям от частиц, поступающих из технологического процесса, или вибрациям.

Криогенные насосы Leybold просты в эксплуатации и обеспечивают автоматическое управление и контроль iSmartLine (ISL) с помощью систем COOL.DRIVE i или CRYOVISION.

Эти насосы также просты в обслуживании. Детали можно заменять на месте эксплуатации без необходимости демонтажа и отключения насоса от системы.

Низкие эксплуатационные расходы особенно при высоких скоростях перекачивания