Вакуумное оборудование для нанесения покрытий на плоскопанельные дисплеи

Тонкое пленочное покрытие для плоскопанельных дисплеев

Скорее всего, вы читаете эту статью на плоскопанельном дисплее — эта технология изменила отрасль электроники, сделав устройства по-настоящему мобильными. Сегодня в каждом автомобиле, доме и даже в вашем кармане можно найти плоскопанельный экран. Все они производятся в условиях вакуума, используемых для изготовления тонкопленочных покрытий, которые создают конечный слой на каждом дисплее, независимо от технологии.

Эволюция плоскопанельных дисплеев

История плоскопанельных дисплеев началась в середине 1980-х годов с первых жидкокристаллических (ЖК) панелей на ноутбуках. Вскоре после этого появились компьютерные ЖК-мониторы, которые заменили телевизоры с ЭЛТ (электронно-лучевыми трубками): громоздкие и тяжелые мониторы, которые вы, вероятно, узнаете на фотографиях и в фильмах предыдущего тысячелетия. С 2003 года количество ЖК-дисплеев превысило продажи ЭЛТ-мониторов, и их время ушло.

Технологии начали с малого — буквально. Первые ЖК-дисплеи в 1990 году имели размер стекла под названием Generation GEN1 (200–300 x 200–400 мм). С тех пор размеры постоянно увеличивались, пока в 2018 году не достигли уровня GEN11 (2340 x 3370 мм). С расширением производства размер ЖК-телевизоров ежегодно увеличивался. По мере увеличения их размеров повышались технические требования для поставщиков производственного оборудования, которые касались работы со стеклом, транспортировки и нанесения покрытия.

С 2010 года для подсветки ЖК-телевизоров вместо люминесцентной лампы с холодным катодом стали использовать динамическую светодиодную подсветку, что вывело ЖК-технологии на новый уровень.

Примерно через пять лет новая технология OLED (англ. organic light emitting diode, органический диод), была готова к массовому производству и стала альтернативой ЖК-дисплею. Преимущества OLED включали в себя сниженную стоимость, небольшой вес, гибкость, оптимизированную энергоэффективность и лучшее качество изображения (особенно для передачи черного цвета).

Тонкое пленочное покрытие для плоскопанельных дисплеев

Даже первые ЖК-экраны были созданы в условиях вакуума, и для их производства использовалась продукция Leybold. Производители машин для нанесения покрытий рассчитывают на нас, так как мы предоставляем полноценные, специально разработанные вакуумные решения, которые соответствуют индивидуальным требованиям технологического процесса. Зачастую нам необходимо адаптировать продукцию, потому что каждый производственный процесс уникален.

Ниже приведены примеры поставляемой нами продукции и задачи, которые она позволяет решить.

Форвакуумные насосы. В случае загрузочных шлюзовых камер вакуумные насосы должны работать со сверхкороткими циклами (т. е. 2–3 цикла откачки в минуту при давлении от 1000 до 1 мбар). Для быстрого создания форвакуума или откачки из технологической камеры мы предлагаем широкий ассортимент продукции, включая интеллектуальные системы POWER BOOST. Эти комплексные решения идеально подходят для любых высокотехнологичных производственных процессов и занимают меньше места, чем стандартные системы.
Высоковакуумная откачка. В случае технологических камер вакуумные системы должны выполнять быструю откачку (до 5x10^-6 мбар) и справляться с бесперебойной работой при газовой нагрузке аргона, азота и кислорода в диапазоне давления от 10^-2 до 10^-3 мбар. Для технологических камер, требующих отсутствия масла, пыли и вибрации, оптимально подойдут наши насосы TURBOVAC i, TURBOVAC MAG или COOLVAC.
Для менее строгих технологических условий мы рекомендуем использовать диффузионные насосы DIJ и DIP.
Помните, что независимо от того, какая высоковакуумная система выбрана, она должна работать бесперебойно в течение длительного времени при высоких нагрузках смесей инертных и технологических газов.
Техническое обслуживание и запасные части. Надежность технологического процесса играет критическую роль при производстве дисплеев. Любые непредвиденные простои могут быть очень дорогостоящими и негативно повлиять на конечную продукцию. Мы рекомендуем инвестировать в наиболее подходящие насосные системы, выбирать высококачественные детали и расходные материалы и выполнять надлежащее техническое обслуживание. Технические специалисты Leybold окажут необходимую поддержку и порекомендуют наиболее подходящий график технического обслуживания, а также проконсультируют по запасным частям и расходным материалам.
Решения в области управления технологическим процессом. Следите за производительностью вашей вакуумной системы, используя точные решения для измерения вакуума. Мы предлагаем широкий ассортимент надежных датчиков, которые охватывают все диапазоны давления.
Интеграция системы. Будьте уверены в том, что ваши вакуумные насосы сочетаются друг с другом. Всегда выбирайте оборудование, которое подходит для совместной работы. Мы можем предложить различные решения на базе ПЛК и в области управления, которые будут точно соответствовать вашим задачам по нанесению покрытия.