오일 확산 진공 펌프

유체 유입 펌프 제품군에 속하는 오일 확산 펌프

Leybold의 혁신적인 가열 시스템은 평균 전력 소비를 줄여 특별한 이점을 제공하며 기존의 확산 및 오일 부스터 펌프에 비해 훨씬 빠른 가열 시간을 제공합니다. 높은 펌핑 속도와 높은 진공 그리고 높은 가스 처리량이 필요한 작업 또는 에너지 효율 컨트롤러(EEC)와 같은 다양한 에너지 효율 옵션과 함께 대형 산업용 부스터 펌프가 필요한 작업에 적합한 맞춤형 솔루션을 제공하여 탄소 배출량을 줄입니다. Leybold의 혁신적인 직접 가열 방식은 높은 에너지 효율을 위한 스마트 가열 공정을 제공합니다.

오일 확산 펌프는 높은 진공을 생성하고 증기(유증기)로 펌프 유체를 빠르게 움직여 작동합니다. 모든 유체 유입 펌프는 비슷한 펌핑 방식을 가지고 있어 펌프 유체가 전기 히터 용기에 의해 가열되고 제트 스택 노즐을 통과한 후 오일 증기가 팽창합니다. 펌프 가스 분자는 증기 스트림으로 확산되어 펌핑 챔버 밖으로 배출됩니다.

펌프 유체 흐름 분자는 영향을 주는 자극을 통해 해당 흐름 방향으로 가스 분자를 이송합니다. 따라서 펌프 기체는 압력이 더 높은 공간으로 이동합니다. 이 기술은 움직이는 부품이 필요하지 않으므로 마모가 발생하지 않습니다. 오일 확산 펌프의 경우 펌프 유체 유형(실리콘 또는 미네랄 오일)과 온도 및 노즐 설계에 따라 작동 중 해당 증기 압력이 증가할 수 있습니다.

증기 제트는 펌프의 냉각된 외벽에 있는 노즐을 통해 배출 후 응축되므로 공정 챔버로 유입되지 않습니다. 또한, 현대의 독특한 배플 설계는 개선된 응결 표면 설계를 통해 오일 역 흐름을 방지하고 오일 소비를 줄여줍니다. 이 단순한 물리적 방식은 확산 펌프를 강력한 기술로 만듭니다.

배압 펌프 압력은 증기가 배출될 수 있을 만큼 충분히 낮아야 합니다. 이를 위해, 그에 상응하는 배압 펌프, 일반적으로는 Leybold의 기계식 전진공 펌프를 사용합니다. 또한, 전진공 압력은 증기 제트에 영향을 미치며 이 값이 최대 배압 압력 또는 임계 전방 라인 압력이라는 특정 한계치를 초과할 경우 문제가 발생할 수 있습니다.

독특한 제트 단계 노즐 시스템
응용 분야 적용에 최적화
Leybold 오일 확산 펌프의 장점

독특한 제트 단계 노즐 시스템

증기 흐름은 노즐에서 초음속 속도로 발산되어 최대한 높은 증기 흐름 속도를 얻습니다. 제트 단계 노즐 시스템은 3~5단계로 Leybold 오일 확산 펌프의 놀라운 펌프 속도를 제공합니다. 증기 분사기를 구성하는 펌프 유체 증기는 펌프 하우징의 수랭식 벽에서 응축된 반면, 운반된 가스는 주로 하나 이상의 후속 단계에서 압축되어(가스 처리량) 배압 펌프에 의해 제거됩니다.

액체 유입 펌프의 고진공 주입구 포트의 압력이 10^-7mbar이고 배압 압력이 10^-1mbar일 경우, 그리고 펌핑된 가스가 10^-6 비율로 압축된 경우 액체 유입 펌프로 얻을 수 있는 압축률은 매우 높습니다. 이 압축 비율은 해당 적용 공정에 안정적인 높은 진공 압력을 보장합니다. 유체 유입 펌프의 궁극적인 압력은 펌프의 작동 온도에서 사용되는 유체의 부분 압력 값에 의해 제한됩니다. Leybold는 고품질 확산 펌프 오일 제품인 LVO 500, LVO 521 및 LVO540을 통해 탁월한 성능을 보장합니다.

응용 분야 적용에 최적화된 Leybold 시리즈 오일 확산 펌프

이러한 제품 라인은 각 고객의 작업에 최적화되어 있습니다.

DIP 라인은 최저 압력에서 최대 펌핑 속도를 내는 완벽한 펌프 제품입니다.
DIJ 라인은 5단계 노즐 시스템으로 실현되는 2x10^-3mbar의 최대 가스 처리량을 실현합니다.
마지막으로 가장 까다로운 작업을 위해 준비된 최고 펌프 속도와 함께 최대 가스 처리량을 제공하는 최고의 솔루션인 OB 라인을 만나보세요.