루츠 송풍기와 조합된 건조 압축 진공 펌프

  • 높은 펌핑 속도
  • 높은 신뢰성
  • 까다로운 프로세스에 적합 (먼지, 증기 등)
  • 모니터링 시스템

터보분자 펌프

  • 입자 처리에 적합
  • 높은 전진공 내성
  • 모든 방향으로 설치

단일 단계 로터리 베인 펌프와 루츠 송풍기의 조합.

  • 빠른 펌프 다운을 위한 설계
  • 로드 록 및 전달 챔버
  • 예비진공 범위를 위한 견고한 진공 발생장치
  • 높은 신뢰성
  • 비용 최적화