제품 서비스 응용 분야 블로그 & 위키 다운로드 회사 정보 채용 정보 뉴스 및 이벤트
COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

COOLVAC

극저온 진공 펌프

가스 포착 펌프

COOLVAC 진공 펌프는 가스 물질이 저온 응축에 의해 펌프 내부의 차가운 표면에 결합될 때 진공을 생성하는 냉동기 저온 펌프이며 초고진공의 생성에 사용됩니다.

COOLVAC 저온 펌프는 펌핑 원리로 인해 모든 가스에 대해 효율적인 펌핑 속도를 제공합니다. COOLVAC 진공 펌프는 10-3mbar~10-11mbar의 압력 범위에서 탄화수소가 없는 초고진공을 생성합니다.

COOLVAC 제품군의 모든 저온 펌프에는 모든 안전 관련 구성 요소가 장착되어 있으며, 특히 배기 라인 연결을 위한 추가 DN 40 KF 플랜지가 장착된 안전 밸브가 있습니다.

펌프 본체는 고품질 스테인리스강으로 제작되었습니다. COOLPAK i 제품군의 헬륨 압축기는 COOLVAC i 제품군의 저온 펌프 내에 통합된 COOLPOWER i 냉각 헤드를 작동시키는 데 필요합니다.

iSmartLine(iSL)

iSmartLine(iSL) 제품군의 저온 펌프는 두 가지 냉각 단계의 전기 가열기를 통해 실온까지 서서히 가열됩니다. 압력, 온도 및 가열 전원은 COOL.DRIVE i 컨트롤러에 의해 모니터링됩니다.

이 공정 중에 펌핑된 가스는 다음 순서에 따라 차례로 방출됩니다.

  1. 저온 패널에 흡수된 가스(예: 수소, 헬륨, 네온)
  2. 저온 패널에 응축된 가스(예: 질소, 산소, 아르곤)
  3. 배플 및 열 복사 보호판에 응축된 가스 및 증기(예: 수증기)

위에서 설명한 Leybold의 재생 공정의 이점은 불활성 및 비활성 가스를 재생산하는 동안 추가적인 퍼지 가스가 필요하지 않는다는 것입니다.

이점:

  • 3가지 작동 모드를 통해 냉각 성능 향상, 에너지 절약 및 사용자 맞춤형 작동 가능
  • 탄화수소가 없는 고진공
  • 아르곤과 수소를 위한 고용량
  • 통합형 COOL.DRIVE i 컨트롤러 1을 통한 완전 자동 재생
  • 펌프를 분해하거나 진공 시스템을 재조정하지 않고도 현장에서 쉽게 서비스 가능
  • 물과 질소를 위한 빠른 펌핑 속도
  • 전기 재생 시스템을 통한 빠르고 안전하며 효율적인 재생

iBasicLine(iBL)

iBasicLine(iBL) 범위의 저온 펌프의 경우 다음 두 가지 하위 단계에서 수동으로 재생이 수행됩니다. 

  1. 냉동기 시스템 전원을 끄고 실온에 도달할 때까지 기다립니다
  2. 저온 펌프에서 충분히 낮은 압력에 도달한 후 다시 냉각합니다.

iBasicLine 버전의 COOLVAC 저온 펌프는 펌핑 속도, 용량, 대기 시간, 내장 냉각 헤드, 최대 처리량, 2단계(Si 다이오드)용 내장 온도 센서 및 해당 전류 피드스루에 관한 기술 데이터와 관련하여 iSL 버전의 COOLVAC 저온 펌프와 동일합니다.

iBasicLine 모델에는 COOL.DRIVE i 컨트롤러, 가열기, 게이지 및 전방 진공 밸브가 포함되지 않습니다.

장점을 확인해 보세요!

스마트

COOLVAC은 소형 COOL.DRIVE i 컨트롤러 및 COOLPAK I 압축기(LINK)의 MK5 컨트롤러와 조합하여 자동으로 제어할 수 있습니다. 컨트롤러는 작동이 용이하며 각 i 시리즈의 고성능, 저진동, 에너지 효율적인 COOLPOWER 콜드 헤드(LINK) 및 압축기(LINK)로 신속하고 안정적이며 깨끗한 재생이 가능합니다. COOLPAK i 압축기와의 통신을 통해 빠른 냉각, 에너지 절약 또는 표준 작동을 위한 부스트, 에코, 표준 등 세 가지 작동 모드를 제공합니다.

안전하고 간단

이러한 저온 펌프에는 EN 4126 표준에 따른 안전 밸브가 통합되어 있습니다. COOLVAC 진공 펌프는 시스템에서 펌프를 분리할 필요가 없어 유지 보수가 빠르고 간단하며 소유 비용이 낮습니다.

빠른 펌핑 속도

특히 COOLVAC 저온 펌프는 모든 가스 및 수증기에 매우 효과적인 펌핑 속도를 제공합니다. iBasicLine 제품군 및 iSmartLine 제품군의 저온 펌프는 5,000l/s~60,000l/s의 흡입 용량 등급으로 제공됩니다.

Contact Leybold

문의

Leybold는 고객에게 다가가고자 노력합니다. 문의 사항을 남겨주세요.