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진공 게이지 보정 시스템

정기적으로 보정해야 하는 진공 게이지 및 센서의 정기 점검, 조정 및 재보정을 통해 공정 신뢰성이 가능합니다. 장치를 초기 값으로 설정하는 것은 품질 보장의 중요한 구성 요소입니다. 보정된 게이지는 특히 높은 요구 사항이 재현성 및 호환성 뿐만 아니라 테스트 프로세스의 품질에 따라 이루어지는 경우에 사용됩니다. 또한, 기존의 압력 측정 장치 로트에 대해 명확한 참조가 필요한 경우, 보정은 필수 사항입니다.

Leybold의 CS 보정 시스템을 통해 고객은 진공 게이지 자체의 정의되고 필요한 측정 정확도를 확인하고 보정할 수 있습니다. 이는 독일 인증 기관(DAkkS)의 표준 또는 국제 표준을 따를 수 있지만 필요한 측정 정확도는 사용자가 정의해야 합니다.

이 맥락에서 "보정"이라는 용어는 보정할 게이지에서 얻은 측정값과 "참조 게이지 또는 전송 표준"을 비교한 것을 의미합니다. 하나의 조건으로, 두 게이지 모두 ISO 3567 규정에 따라 설계된 동일한 진공 챔버에 연결되어야 합니다. 기준 게이지 자체(압력 디스플레이 및 연결 케이블 포함)는 최소 1년에 한 번 추적 가능한 전송 표준에 따라 보정해야 합니다.

당사의 기준 게이지는 Leybold GmbH 보정 서비스 DAkkS 2)에 따라 PTB 1) 전송 표준과 비교하는 방식으로 인증됩니다.

1) PTB - Physikalisch-Technische Bundesanstalt, 베를린(Federal Institute for physics and technology)

2 DAkkS-Deutsche Akkreditierungsstelle(독일 보정 서비스)

당사는 1981년부터 모든 게이지와 센서 제품을 독립적으로 보정해 왔습니다.

보정 프로세스를 위해 DAkkS 또는 공장 보정 인증서가 발급됩니다. 장기 안정성이 부적합한 장치나 보정에 부적절한 측정 원리의 경우 보정할 수 없습니다.

보정은 정적 또는 동적 모드에서 수행할 수 있습니다.

  • 정적은 보정 챔버가 펌프 시스템에서 분리되고 원하는 압력 값에 도달할 때까지 가스가 허용됨을 의미합니다. 이 방법에는 탈가스 속도가 낮으므로 깨끗한 보정 챔버와 펌핑 시간이 길어집니다.
  • 동적 보정을 사용하여 챔버 압력은 가스 주입 밸브와 터보 분자 펌프 흡입의 스로틀 밸브를 통해 조절됩니다. 입구 가스량은 펌프 가스 유량과 수동으로 균형을 이루어 안정적인 압력을 설정합니다.

CS 3

  • 모든 종류의 진공 게이지 및 측정 시스템을 보정할 수 있습니다
  • ISO 3567에 따라 설계
  • PTB-, DAkkS- 또는 공장 인증서를 사용한 전송 표준
  • 손쉬운 DIN/ISO 9000 승인
  • 신뢰성 및 재현성 있는 측정
  • 빠른 시동
  • 건식 압축 진공 펌프를 사용하여 탄화수소가 없는 측정 시스템
  • 간단한 조작
  • CE 인증
Calibration system CS3 - half side left

CS 3의 기본 유닛은 주로 3개의 보정 포트가 있는 스테인리스 스틸 보정 챔버(ISO 3567에 따라 설계됨)와 건식 압축 터보 분자 펌프 시스템 TURBOLAB 90으로 구성됩니다. 압력 설정의 경우 수동 가스 주입 밸브가 흡입 속도 조절을 위한 버터플라이 밸브와 함께 사용됩니다. 보정할 센서의 전체 압력 범위와 시스템의 최종 압력을 표시하기 위해 전체 범위의 높은 진공 게이지가 장착됩니다. ISO 3567에 따라 이 최종 압력은 최소 보정 압력의 10% 이상이어야 합니다.

게이지 비교를 위해 CS 3에는 2개 또는 3개의 참조 송신기 CERAVAC CTR 100 N(또는 개선된 정확성의 경우 CTR 101 N)과 디스플레이 장치 GRAPHIX 3 및 해당 연결 케이블이 함께 제공됩니다. 모두 최신 DAkkS 규정에 따라 자체 교정 실험실에서 보정됩니다.

CS 7

  • 보정 서비스를 위한 맞춤형 제품의 범위는 1000mbar(Torr)에서 1 x 10-7mbar(Torr)까지 입니다.
  • 일반적으로 연구 기관 또는 보정 실험실에서 사용됩니다.
  • 진공 게이지의 특성 점검
  • DAkkS(독일 연방 공화국 인증 기관) 또는 다른 국제 표준에 따른 진공 게이지의 정교한 보정
  • 재현 가능한 매개변수 확인
  • 작동이 간단한 보정 시스템
  • 챔버, 터보 분자 펌프 계통, 진공 게이지 및 보정 압력에 따른 추가 구성 요소
Vacuum Gauge Calibration System
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