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COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view

COOLVAC

극저온 진공 펌프

가스 포착 펌프

COOLVAC 진공 펌프는 가스 물질이 저온 응축에 의해 펌프 내부의 차가운 표면에 결합될 때 진공을 생성하는 냉동기 저온 펌프이며 초고진공의 생성에 사용됩니다.

COOLVAC 저온 펌프는 펌핑 원리로 인해 모든 가스에 대해 효율적인 펌핑 속도를 제공합니다. COOLVAC 진공 펌프는 10-3mbar~10-11mbar의 압력 범위에서 탄화수소가 없는 초고진공을 생성합니다.

COOLVAC 제품군의 모든 저온 펌프에는 모든 안전 관련 구성 요소가 장착되어 있으며, 특히 배기 라인 연결을 위한 추가 DN 40 KF 플랜지가 장착된 안전 밸브가 있습니다.

펌프 본체는 고품질 스테인리스강으로 제작되었습니다. COOLPAK i 제품군의 헬륨 압축기는 COOLVAC i 제품군의 저온 펌프 내에 통합된 COOLPOWER i 냉각 헤드를 작동시키는 데 필요합니다.

iSmartLine(iSL)

iSmartLine(iSL) 제품군의 저온 펌프는 두 가지 냉각 단계의 전기 가열기를 통해 실온까지 서서히 가열됩니다. 압력, 온도 및 가열 전원은 COOL.DRIVE i 컨트롤러에 의해 모니터링됩니다.

이 공정 중에 펌핑된 가스는 다음 순서에 따라 차례로 방출됩니다.

  1. 저온 패널에 흡수된 가스(예: 수소, 헬륨, 네온)
  2. 저온 패널에 응축된 가스(예: 질소, 산소, 아르곤)
  3. 배플 및 열 복사 보호판에 응축된 가스 및 증기(예: 수증기)

위에서 설명한 Leybold의 재생 공정의 이점은 불활성 및 비활성 가스를 재생산하는 동안 추가적인 퍼지 가스가 필요하지 않는다는 것입니다.

이점:

  • 3가지 작동 모드를 통해 냉각 성능 향상, 에너지 절약 및 사용자 맞춤형 작동 가능
  • 탄화수소가 없는 고진공
  • 아르곤과 수소를 위한 고용량
  • 통합형 COOL.DRIVE i 컨트롤러 1을 통한 완전 자동 재생
  • 펌프를 분해하거나 진공 시스템을 재조정하지 않고도 현장에서 쉽게 서비스 가능
  • 물과 질소를 위한 빠른 펌핑 속도
  • 전기 재생 시스템을 통한 빠르고 안전하며 효율적인 재생

iBasicLine(iBL)

iBasicLine(iBL) 범위의 저온 펌프의 경우 다음 두 가지 하위 단계에서 수동으로 재생이 수행됩니다. 

  1. 냉동기 시스템 전원을 끄고 실온에 도달할 때까지 기다립니다
  2. 저온 펌프에서 충분히 낮은 압력에 도달한 후 다시 냉각합니다.

iBasicLine 버전의 COOLVAC 저온 펌프는 펌핑 속도, 용량, 대기 시간, 내장 냉각 헤드, 최대 처리량, 2단계(Si 다이오드)용 내장 온도 센서 및 해당 전류 피드스루에 관한 기술 데이터와 관련하여 iSL 버전의 COOLVAC 저온 펌프와 동일합니다.

iBasicLine 모델에는 COOL.DRIVE i 컨트롤러, 가열기, 게이지 및 전방 진공 밸브가 포함되지 않습니다.

장점을 확인해 보세요!

Smart

The COOLVAC can be automatically controlled by combination with the compact COOL.DRIVE i controller and the MK5 controller of the COOLPAK I compressors (LINK). The Controller is easy to operate for a rapid, reliable and clean regeneration with the high performance, low vibration and energy efficient COOLPOWER cold heads (LINK) and Compressors (LINK) of the respective i series. With three operation modes - boost, eco or standard - for fast cool down, energy saving or standard operation via communication with the COOLPAK i compressor

Safe and Simple

Integrated in these cryo pumps are safety valves according to the EN 4126 standard. The maintenance of the COOLVAC vacuum pumps is equally fast and simple with no need to detach the pump from the system and low cost of ownership.

High Pumping Speed

Highly effective pumping speed for all gases and water vapor in particular the COOLVAC cryo pumps are a great choice. The cryo pumps from both the iBasicLine range as well as those from the iSmartLine range are available in suction capacity classes from 5000 l/s to 60000 l/s.

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