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저온 펌프, 가스 유입식 진공 펌프.

 Leybold의 펌프는 10-3~≤ 10-11mbar의 압력 범위를 충족합니다.

작동 원리는 가스 물질이 냉각 응축, 냉각 흡착 또는 냉각 포집을 통해 펌프 내부의 차가운 표면에 결합되는 것입니다.

저온 펌프에는 기계적으로 움직이는 부품, 오일 또는 그리스 윤활 부품이 포함되지 않습니다. 

고진공 또는 초고진공을 생성하기 위해 차가운 표면/저온 패널을 충분히 낮은 온도로 냉각해야 합니다. 냉각은 Leybold의 COOLPOWER i 라인(Gifford/McMahon 원칙)의 검증된 안정성이 뛰어난 1단 또는 2단 냉매를 통해 이루어집니다. 

특징

모든 가스와 공기의 펌핑 속도는 매우 효과적입니다. 물(H2O) 및 수소(H2)도 사용할 수 있습니다. 냉각 성능 및 쿨 다운은 압축기뿐만 아니라 가변적인 냉각 헤드 모터의 속도로 증가할 수 있습니다.

믿을 수 있는 COOLPOWER i 냉각 헤드와 COOLPAK i 압축기를 사용하여 구축합니다. 

저온 펌프는 공정에서 발생하는 입자의 기계적 교란이나 외부 진동에 민감하지 않습니다. 

Leybold 저온 펌프는 COOL.DRIVE i 또는 CRYOVISION을 사용하여 iSmartLine(iSL)의 자동 제어 및 모니터링을 통해 작동이 쉽습니다. 

또한 이 펌프는 유지 관리가 쉽습니다. 각 부품은 시스템에서 펌프를 제거하지 않고 현장에서 교체할 수 있습니다. 

특히 펌프 속도가 빠른 경우 운영 비용 절감

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