잔류 가스 분석기

LEYSPEC

LEYSPEC 잔류 가스 분석기(RGA) 제품군은 간단하고 직관적인 작동을 가능하게 합니다.

버튼을 누르면 주요 가스의 분압을 표시할 수 있으며, 공정에 추가 가스가 포함된 경우 여분의 디스플레이 채널에 해당 가스를 할당할 수 있습니다.

높은 베이크아웃 온도 덕분에 LEYSPEC는 고진공 및 초고진공 환경에서 사용하기에 적합합니다.

작동 원리

측정 셀은 열음극 이온화 진공 게이지입니다. 전자는 뜨거운 필라멘트에서 방출되어 전기 바이어스를 통해 공급원으로 가속됩니다. 빠르게 움직이는 전자는 가스 분자와 충돌하여 전자를 분해하고 이온화합니다. 기체 양이온은 음전하를 가진 이온 수집기에 전류를 공급합니다. 이온 전류는 압력에 비례하며, 이온이 많을수록 이온 전류가 높아집니다. 사중극자 배열은 4개의 스테인리스강 로드로 구성됩니다. 모든 로드에 직류 및 고주파 전압이 적용되며, 이를 통해 복잡한 자기장이 생성되고 전압을 변화시켜 자기장이 제어됩니다.

그 결과로 발생하는 진동은 특정 질량의 이온만 통과하여 "날아가" 감지부에 도달할 수 있게 합니다.

적절한 질량 대 전하비(m/e)를 가진 이온은 극을 통해 안정적인 3차원 궤도에서 진동합니다.
잘못된 m/e 이온은 제어력을 벗어나 극과 충돌합니다.

이온이 이온 수집기에 도착하여, 필터를 통과한 상대적으로 풍부한 이온을 측정한 출력 전류를 제공합니다. 그런 다음 m/z 비율에 대한 이온 전류 또는 분압이 장치 또는 소프트웨어에 표시됩니다.

위에서 설명한 작동 원리에 기반하여, LEYSPEC RGA는 가스 조성을 확인 및 표시하여 가스 순도를 확인합니다. 이를 통해 LEYSPEC는 가스 오염 물질을 식별하고 공정 성능 및 수율을 전반적으로 최적화하기 위해 추가 공정 및 장비 제어를 수행할 수 있습니다.

올인원 기기로 간편하고 직관적인 조작

높은 감도로 인해 LEYSPEC 잔류 가스 분석기는 매우 적은 미세량의 오염물질 또는 공정 가스를 감지할 수 있습니다. 이 제품은 100, 200 및 300amu를 위한 다양한 솔루션을 제공합니다. 혹독한 환경에 대비해 최대 300°C에 달하는 베이크아웃 온도를 적용할 수 있습니다.

LEYSPEC는 자체 소프트웨어와 통합 제어 및 디스플레이 장치를 사용하여 직관적으로 작동할 수 있습니다. 컴퓨터에 연결하지 않고도 간단한 잔류 가스 분석을 수행할 수 있습니다. 버튼을 누르면 주요 가스가 표시되고 여분의 디스플레이를 통해 추가 가스가 표시될 수 있습니다.

고진공 시스템에서 까다로운 테스트 절차 및 잔류 가스 분석에도 적합합니다.

헬륨 누출 테스트, 선택 가능한 가스에 대한 경고 및 오류 수준, 시동 또는 환기 후 탈기 기능과 같은 LEYSPEC의 사전 설치된 기능이 있는 이 잔류 가스 분석기는 모든 시스템에 매우 유용합니다.

LEYSPEC 카트

이동식 잔류 분석기 시스템

LEYSPEC 카트는 완전히 통합된 차동 펌핑 시스템을 갖추고 있어 최대의 유연성과 손쉬운 취급이 가능합니다.

이 시스템은 다양한 측정 작업에 쉽게 적용할 수 있는 완전 독립적인 펌프 시스템으로, 다양한 압력에서 신속한 작동 준비 및 운용성을 제공합니다.

솔루션:

SCROLLVAC 7 Plus 및 TURBOVAC 350 i를 사용한 독립적인 펌핑 시스템
빠르고 간편한 작동을 위한 통합형 공정 제어
LEYSPEC RGA를 위한 쉽고 직관적인 소프트웨어
독립적으로 이동 가능한 카트와의 완전한 통합
대기까지의 다양한 압력 수준에서 유연한 작동을 위한 UHV 니들 밸브

특징

콤팩트하고 간편한 디자인

모든 제품은 쉽고 빠른 작동을 위한 통합형 디스플레이와 정교한 테스트 절차 및 잔류 가스 분석을 위한 LEYSPEC 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 크기가 작고 어떤 방향으로든 장착할 수 있는 LEYSPEC 제품군은 다양한 구축 환경에 완벽하게 적합합니다.

직관적인 인터페이스를 통해 LEYSPEC 잔류 가스 분석기는 매우 쉬운 작동을 제공합니다. 버튼을 누르면 주요 가스의 분압을 표시할 수 있으며, 공정에 추가 가스가 포함된 경우 여분의 디스플레이 채널에 해당 가스를 할당할 수 있습니다.

직관적인 소프트웨어

지능적이고 직관적인 LEYSPEC 소프트웨어가 완벽한 제품 제공을 가능하게 해줍니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 간단한 작업부터 복잡한 분석까지 다양한 활용 사례를 이용할 수 있습니다. 레시피를 만드는 것은 빠르고 편리한 만큼 쉽습니다.

작동 중에 총 압력이 표시되고 분석 목적에 맞게 다양한 보기를 선택할 수 있습니다. 스캔 모드, 트렌드 모드 또는 아날로그 모드 중에서 선택합니다.

높은 측정 강도

LEYSPEC 제품군은 정확한 잔류 가스 분석을 위해 매우 높은 감도를 제공합니다. 이를 통해 매우 작은 오염 물질 또는 공정 가스의 흔적도 감지할 수 있습니다.

LEYSPEC은 구성 요소를 확인 및 표시하여 가스 순도를 확인합니다. 이를 통해 LEYSPEC는 가스 오염 물질을 식별하고 공정 성능 및 수율을 전반적으로 최적화하기 위해 추가 공정 및 장비 제어를 수행할 수 있습니다.

유연성

새로운 LEYSPEC 시리즈는 질량 분광법의 모든 응용 분야에 적합한 솔루션입니다. 잔류 가스 분석에 중점을 둔 제품군은 공정 요구 사항에 따라 100, 200 또는 300amu의 솔루션을 제공합니다.

고급 기능

사전 설치된 소프트웨어 기능을 통해 헬륨 누출 테스트 또는 선택 가능한 가스에 대한 경고 및 오류 수준 설정과 같은 많은 추가 기능과 테스트 절차를 수행할 수 있습니다. 시동 또는 대기 노출 후 간단한 공정의 탈기를 위해 프로그래밍이 가능한 탈기 기능이 구현됩니다. 배경 억제를 통해 중요한 내용에 집중할 수 있습니다.

높은 베이크아웃

최대 300°C의 높은 베이크아웃 온도를 자랑하는 LEYSPEC ultra는 정교한 고진공 및 초고진공 분야에 적합합니다. LEYSPEC ultra 제품군은 매우 높은 베이크아웃 온도를 제공하므로 혹독한 환경에서도 신뢰할 수 있는 가스 분석을 수행할 수 있습니다.

LEYSPEC RGA는 매우 높은 감도와 직관적인 소프트웨어를 결합하여 모든 기본 및 고급 테스트 절차를 수행할 수 있습니다.