真空計測および制御
ゲージ、残留ガス分析器、ポンプコントローラー
真空システムおよびプロセスでは、真空性能を計測する必要があります。
真空計は、幅広い範囲内の圧力を測定するために使用されます。
大気圧（約2000 mbar（1500 Torr））以上から10～12 mbar/torrまで測定します。1つのセンサー技術でこの範囲を測定できるものはありません。
さまざまな真空計をご用意しており、それぞれ独自の特性と数十年にわたる真空測定能力を備えています。
測定範囲を広げるために、複数の技術を1つのゲージにまとめて、システムに必要な接続を減らすことが一般的です。
真空計のタイプを区別する主な方法は、ガスの測定方法：直接または間接の圧力計測です。
- 直接（またはガスに依存しない）圧力計測の場合、真空計で得られる読み取り値はガスの種類に依存せず、与えられる圧力は常にシステムの真の圧力になります。膜の機械的な変形に依存することが多いため、大気圧より上から10-4mbar/torrまで測定できます。これらのゲージタイプは、限られた範囲で高い精度を提供し、通常、非常に堅牢です。
- 間接圧力測定の場合、圧力はガスの圧力依存特性（熱伝導率、イオン化確率など）の関数として決定されます。これらの特性は圧力だけでなく、ガスのモル質量にも依存します。したがって、これらはガス依存とも呼ばれます。測定値は通常、測定ガスとして空気または窒素に関連しています。他の蒸気またはガスを測定する場合は、システムの実際の圧力に対応する補正係数を適用する必要があります。これらのゲージは、より広い範囲（タイプ/組み合わせに応じて大気圧から10 x 10-12mbarまで）で圧力測定が可能であり、精度レベルは低くなります。
真空計のもう1つの一般的な決定ポイントはアクティブまたはパッシブであり、このオプションは当社の幅広い真空計で利用できます。
- アクティブゲージとは、ゲージヘッド（センサーヘッド）と信号の制御および出力に必要なエレクトロニクスを組み合わせて、システムとの統合を容易にするものです。
- パッシブゲージは、ゲージヘッドをエレクトロニクスから分離し、専用コントローラー内で個別に保持するものです。この利点は、高放射線環境などのエレクトロニクスが機能しない環境でも使用でき、別のコントローラーをその環境から取り外すことができることです。
- 広範囲の真空計測
- ポータブルおよび機械式真空計測
- 精密な真空計測
- 残留ガス分析
- 真空計およびポンプコントローラー
- アクセサリー
広範囲の真空計測
堅牢で信頼性が高く、正確な圧力測定
- THERMOVAC TTR/TRシリーズ- 標準のプライマリ / バックポンプ圧力のモニタリングに最適です。
- PENNINGVAC PTR/PRシリーズ– 高真空領域での計測が可能です。これらはフルレンジゲージです。
- IONIVAC ITR/IEシリーズ– 真空範囲を超高真空圧に拡張します。
ポータブルおよび機械式真空計測
ディスプレイが内蔵されており、バッテリー駆動のゲージを使用すると、場所や時間を問わず測定できます。
機械式ダイヤルゲージは、正確な測定値ではなく、真空引きをしていることを示す必要がある場合に最適です。
精密な真空計測
最も過酷な環境で最高レベルの精度と再現性を実現するため、詳細なシステム制御に最適です。
- CERAVAC CTR真空計- キャパシタンスマノメーターゲージの最上位。
- DI/DU真空計-わずかに精度は低くなりますが、汚れた / 湿気の多い / ほこりの多い環境に適しています。
残留ガス分析器
当社のLEYSPEC残留ガス分析器（RGA）製品ファミリーにより、シンプルで直感的な操作が可能になります。
当社は、オールインワンデバイスとモバイル残留分析器システムの両方を提供しています
真空計およびポンプコントローラー
圧力を表示し、その測定値をより幅広い制御システムに統合する機能を提供します。
お客様固有の要件に応じて、さまざまなコントローラーを選択できます。
アクセサリー
- 接続ケーブル：真空測定システムに適切に接続します。
- 真空計の校正：あらゆるメーカーのゲージとセンサーの公平な校正サービスを提供します。
- ゲージ保護：特に過酷なプロセスでは、ゲージの寿命を延ばすために保護機能を取り付けることをお勧めします。
