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    TURBOVAC i/iX

    TURBOVAC / iX シリーズは、ターボ分子真空ポンプモジュラーラインです。統合ドライブ電子機器(周波数変換器)で 1 つのユニットを形成します。

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  • TURBOVAC 機械ローターサスペンション
    TURBOVAC 機械ローターサスペンション

    TURBOVAC ターボ分子真空ポンプと機械的ローターサスペンションは圧範囲 10-1 mbar ( 0.75 x 10-1 Torr )から 10-10 mbar ( 0.75 x 10-1 Torr )で使用されます。エアポンプの速度は、 35 l/s から 2400 l/sとなります。

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  • TURBOVAC MAG DIGITAL
    TURBOVAC MAG DIGITAL

    TURBOVAC ターボ分子真空ポンプと電磁ローターサスペンションは圧範囲 10-1 mbar ( 0.75 x 10-1 Torr )から 10-10 mbar ( 0.75 x 10-10 Torr )で使用されます。

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  • TURBOVAC MAGiNTEGRA
    TURBOVAC MAGiNTEGRA

    正確さ、精度と信頼性は、これらの磁気浮上式リニアモーターカー ターボ分子ポンプの特徴です。高速ポンプダウン時間のための高速ポンピングとガススループットにより、機器のサイクルタイムが改善されます。

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