TURBOVAC / TURBOVAC MAG

TURBOVAC i/iX
TURBOVAC / iX シリーズは、ターボ分子真空ポンプモジュラーラインです。統合ドライブ電子機器（周波数変換器）で 1 つのユニットを形成します。
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TURBOVAC 機械ローターサスペンション
TURBOVAC ターボ分子真空ポンプと機械的ローターサスペンションは圧範囲 10-1 mbar （ 0.75 x 10-1 Torr ）から 10-10 mbar （ 0.75 x 10-1 Torr ）で使用されます。エアポンプの速度は、 35 l/s から 2400 l/sとなります。
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TURBOVAC MAG DIGITAL
TURBOVAC ターボ分子真空ポンプと電磁ローターサスペンションは圧範囲 10-1 mbar （ 0.75 x 10-1 Torr ）から 10-10 mbar （ 0.75 x 10-10 Torr ）で使用されます。
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TURBOVAC MAGiNTEGRA
正確さ、精度と信頼性は、これらの磁気浮上式リニアモーターカーターボ分子ポンプの特徴です。高速ポンプダウン時間のための高速ポンピングとガススループットにより、機器のサイクルタイムが改善されます。
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機械式、磁気式またはハイブリッドベアリングを備えた高真空ポンプは、クリーンな高および超高真空を必要とする様々なアプリケーションで使用されています。