一般的な研究用途は、次のとおりです。

  • 表面科学
  • 触媒作用
  • 冶金学
  • 太陽光発電
  • 半導体
  • エネルギー
  • コンビナトリアル材料の研究

 

M-UHV システムは、次の各種 UHV 分析手法の統合のための優れたプラットフォームです :

  • X 線光電子分光装置( XPS )
  • オージェ電子分光法( AES )
  • エネルギー損失分光( ELS )
  • 紫外線光電子分光装置( UPS )
  • 走査型電子顕微鏡( SEM )
  • 走査型オージェ顕微鏡( SAM )
  • 昇温脱離法( TPD ) / 昇温反応分光( TPRS ) / 熱放出分光分析( TDS )
  • 反射高エネルギー電子線回折( RHEED )
  • イオン散乱分光( ISS )
  • 二次イオン質量分析法( SIMS )
  • 走査型トンネル顕微鏡( SAM )
  • 高分解能電子エネルギー損失分光( HREELS )
  • ・・・など