薄膜

薄膜は、厚さ1ナノメートルから数ミクロンまでの分数範囲の材料層です。薄膜技術はここ数十年の間に改良されおり、信頼性の高い製品を最高品質に到達する必要があります。薄膜成膜プロセスに関して、ライボルトはこの用途の要件を満たすクラス最高の真空装置とドライ DRYVAC / RUVAC 排気システムを提供します。

ドライ圧縮ポンプ付きポンプシステム

  • 高い水素ポンプの排気速度
  • 耐粒子
  • 一般的なプロセスガス用メディアと高い親和性
  • 動作パラメータおよびルートポンプ制御の統合された監視
  • 調整可能な温度とパージガスフロー
  • Profi バスを経由して制御可能なパラメータ