エリコンライボルトバキュームは、フラットパネルディスプレイ製造向けに最適化されたソリューションを提供しています。

エリコンライボルトバキュームは、幅広い製品ラインの真空ポンプシステムおよび周辺機器を紹介しています。特にフラットパネルディスプレイ用途などの薄膜コーティングプロセスのために特に最適化しています。セミコンコリア、1月27日から29日1 月には、エリコンライボルトバキュームはお客様にこれらの新しい革新的なシステム DRYVAC についての詳細を説明します。

最適なコストで最高のスループット( CoO )を提供することが私達の使命です。これは例えば動作モードの省エネオプションと組み合わせて、効率の高い排気メカニズムによって実現します。

エリコンライボルトバキューム は、すべてのコーティング用途のための完全な真空ソリューションの開発をリードしています。同社の専門知識は、技術要件、およびビジネスのサポートニーズを理解するうえで、卓越しています。

コンパクトなデザイン、最高の技術的な標準規格と卓越した信頼性を備えた標準のコンポーネントの最適化されたレンジがその結果です。コンパクトでスマートな真空ソリューションは、高真空、ブースター / ドライポンプの組み合わせだけでなく、必要な場合は制御デバイスで構成されています。

DRYVAC ドライスクリューポンプに基づいて標準化されたシステムは、RUVAC WH ファミリーからのルートブロワと組み合わせて、高速ロードロック、トランスファー、および成膜プロセスのようなフラットパネルディスプレイ用途の最適なソリューションです。それらはクラスで最高のポンプの速度で最速のポンプダウンタイムを提供しています。標準化によって、エリコンライボルトバキュームは提供システムの最高の使いやすさを実現しています。主なお客様の利点は、電気的接続、パージオプションおよび / または冷却水、簡単なメンテナンスアクセスと非常に便利なバックアッププールの取扱いなどの標準化されたインターフェイスです。

これらのシステムの主要なプロセス :

  • ロードロック/トランスファー
  • トランジスタスパッタ TSPT / カラーフィルタスパッタ FSPT / セル
  • OLED カプセル化 / 蒸発 / …
  • トランジスタTFT PECVD / 薄膜のカプセル化 TFE-PECVD
  • VCD フォトレジストコーター