クライオ真空ポンプ

クライオポンプ、ガス溜め込み式真空ポンプ。

当社のポンプは、圧力範囲10^-3～≤ 10^-11mbarの範囲をカバーしています。

動作原理は、ガス状物質が低温凝縮、低温吸着、または低温トラップによってポンプ内の低温表面に結合されることです。

クライオポンプには、真空側に機械的に動く部品、オイルまたはグリース潤滑部品がありません。

高真空または超高真空を生成するには、低温の表面 / クライオパネルを十分に低温に冷却する必要があります。それらはライボルトのCOOLPOWER iライン（Gifford / McMahonの原理）の実績のある、高信頼性の1段または2段の冷凍機によって冷却されます。

空気だけでなくすべてのガスの排気速度は非常に効率的です。水（H₂O）と水素（H₂）の場合は、なおさらです。冷却性能と冷却は、コンプレッサーだけでなく、コールドヘッドの可変モーター速度によって向上させることができます。

信頼性の高いCOOLPOWER iコールドヘッドとCOOLPAK iコンプレッサーで構築されています。

クライオポンプは、プロセスから発生するパーティクルまたは外部振動による機械的な障害には影響しません。

ライボルトのクライオポンプは、COOL.DRIVE iまたはCRYOVISIONを使用してiSmartLine（ISL）を自動制御およびモニタリングすることで、容易に操作できます。

これらのポンプはまた、メンテナンスが容易です。パーツは、システムからポンプを取り外さなくても現場で交換できます。

特に高い排気速度において低いランニングコスト

COOLPAK

COOLPOWER

COOLVAC

クライオシステム