LEYSPEC Cartは、高性能残留ガス分析装置(RGA)LEYSPECとTURBOLAB排気システムを組み合わせた製品です。TURBOVAC iターボ分子真空ポンプとドライ圧縮SCROLLVAC plusスクロールポンプで構成されています。
車輪を装備しており、完全な移動性を備えています。
複数の製造ツールに必要なすべてのメリットを1つの機器で提供します。
LEYSPEC Cartは、より高い真空圧力を必要とする多くのアプリケーションに対応するように開発されました。
このモバイル排気ステーションの最も重要なマーケットは、コーティング、スチール脱ガス、産業用乾燥です。ガス分析が必要なその他のマーケットでも、このポンプシステムが役立ちます。
Leybold LEYSPEC Cartで、比類のないガス分析を体験してください。
高性能排気ステーションTURBOLABと、LEYSPEC残留ガス分析装置を組み合わせることで、圧力に関係なく効率的かつ柔軟なガス分析が可能になります。
さらに、精密供給UHVバルブを使用して、あらゆるプロセスに接続できます。残留ガス分析中のクリーンな運転を可能にするオールメタル構造により、ベークアウトが可能になりました。
これにより、必要なときにいつでもベークアウトを実行し、多くのプロセスやアプリケーションを完全にモバイル化できます。
ターボ分子ポンプTURBOVAC 250 iとドライバックポンプSCROLLVAC 7で構成される排気システムによる、迅速な測定準備
TURBOLAB排気ステーションによる統合プロセス制御
極めて容易で直感的なLEYSPECソフトウェアの操作により、長時間のトレーニングが不要
プロセスまたはチャンバーの任意なポイントでのモバイル残留ガス分析
常時可能なベークアウトにより、プロセスガスに完全に焦点を当てることができます
大気圧下でも実行可能な、圧力に依存しない残留ガス分析