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ガス分析と質量分析計

真空技術においてなぜガス分析が重要なのかを知り、質量分析計の仕組みを理解しましょう。圧力がどのように変換されるのか、また質量分析計を操作する際に不可欠な他の仕様について学びましょう。このセクションでは、部圧測定やイオン化の基本的な情報についても説明します。

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真空技術の基礎 

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参考資料

真空記号

真空技術図でポンプの種類とポンプシステムの部品を視覚的に表現するために一般的に使用される記号の用語集

 

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単位の用語集

真空技術で使用される測定単位の概要、記号の意味、および歴史的な単位に相当する現在の単位

 

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参考資料と情報源

真空技術の基本的な知識に関連する参考資料、情報源、その他の資料

 

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