当社には、170年以上の歴史があります。革新的な真空技術を継続的に活用することで、お客様のアプリケーションを実現し、収益性の高い進歩を可能にします。
ビジネスマンのエルンスト・ライボルトは、1850年にローテンブルクからケルンに移り、最初の会社を設立しました。当初は医療用ガラス器具、軟膏用ポット、温度計、秤の販売と輸入から始まりましたが、1854年に物理機器、製薬機器、化学機器などの製品ラインに事業を拡張しました。1863年、エルンスト・ライボルトは、E. Leyboltの社名で会社を引き継ぎました。
1870年、エルンスト・ライボルトは事業を売却しましたが、その後も会社はE. Leybold’s Nachfolger社として運営されました。
1871年の製品ラインには、585種類の物理機器に加えて、市場初の「物理キャビネット」(一連の機器と計器の完全なコレクション)などがありました。当社が誇る過去最大の取引は、エクアドルのキト大学から受注したもので、総額は3万ターレル(現在の価値で約25万米ドル)に上りました。これにより、当社は世界的な名声を確立しました。1876年には、中学校と高等学校向けに物理機器カタログを初めて発行しました。製品ラインは徐々に拡張され、ラボ向けの化学装置も取り扱うようになりました。その4年後には、クルックス実験に関する特別カタログが発行され、それには以下の一節がありました。「時に刺激的な新しい高真空製品の開発が、さらなる実験を誘発することは間違いありません」。そのような実験を実証するために、水銀柱を交互に上下させることによって手動で操作する、初期の容積式真空ポンプであるテープラーポンプがカタログで紹介されています。
真空技術の一連の成功は1906年に始まりました。カールスルーエの物理学教授であったヴォルフガング・ゲーデ博士との協力はとても実り多いものでした。分子エアポンプの発明、ターボ分子ポンプの原理(1911年)、拡散ポンプの採用(1913年)、可動部品をなくした拡散ポンプなど、ゲーデ博士との協力を通じて重要な革新技術が実現し、その重要性は今も変わることはありません。
ハーナウのW.C. Heraeus GmbH社の物理試験室長であったヴィルヘルム・ローン博士が、高純度金属を真空化で溶解させるプロセスを開発しました。これにより、鉄鋼や非鉄金属の品質が大幅に改善されました。
これは、真空コーティング技術のもう1つのマイルストーンとなりました。同年、マンフレート・デュンケル博士がE. Leybold’s Nachfolger社のマネージングディレクターに就任し、1967年まで当社を成功に導きました。この時代は、産業アプリケーションで真空技術の利用が拡大した重要な時期でした。この時代を経て、研究成果をプロセスエンジニアリングに応用するために、技術と科学の知識以外にも優れた管理能力が求められるようになりました。
1916年、ドイツの産業科学評議会は、ヴェルナー・フォン・シーメンスの生誕100年を記念して、シーメンス・リング財団を設立しました。定款第1条に従って、財団は「科学技術に優れた貢献をし、広く認められた個人を表彰する目標を掲げていました。従って、(シーメンス・リングは)研究成果を通じて科学分野に刺激を与えた技術者と、研究を通じて新たな技術分野を開拓した科学者に賞を授与するべき」としています。
最も特筆すべき新設計は「大規模産業の要件に対応する」「ルーツポンプ」(現在の「ルーツブロワー」)が中心です。カタログには、「最新の真空プロセスエンジニアリングでは、大部分のプロセスで高純度真空範囲の高いフローが求められます。例えば、高純度真空プロセスでは1 torr未満の圧力で大量のガスや水蒸気が生成されます。そのため真空技術には、大量のガスを経済的かつ効率的に排気するという使命が課されます」と記載されています。真空含浸、化学処理、製薬、食品のフリーズドライ、高真空および超高真空コーティング工場、金属の脱ガスなどの分野で多くの取り組みが行われてきました。これと同時に、すべての真空圧ライン用のポンプ、バルブ、ゲージなどの標準的な真空コンポーネント、リークディテクターなどの標準的な真空コンポーネントおよび技術教育ツールのラインアップの開発も大規模に継続されており、着実に拡張されています。
新会社の社名はLeybold-Heraeus GmbH社で、株式はDegussa、Metallgesellschaft、W.C. Heraeusの各社間で均等に配分されました
1970年代半ば、高真空技術の新時代が公式に幕を開け、「磁気浮上式ターボ分子ポンプの時代」と呼ばれました。当社は、このタイプのポンプを商業化した世界初の真空企業でした。1980年代と1990年代には、炭化水素フリーである磁気浮上式ターボ分子ポンプが、半導体業界で最も重要な高真空ポンプとなりました。高速回転する内部部品の「ベアリング」には、電磁石が採用されています。
このタイプのポンプは、現在でも多くの真空アプリケーションで広く利用されています。真空タンクでオイル分子を許容できるお客様にとって、ロータリーベーン真空ポンプは低真空アプリケーションにおいて極めてパワフルであり、高い信頼性を発揮します。
インテリジェントな駆動管理機能を備えた初のターボ分子ポンプが発売されました。
新興経済地域の高い可能性を活用し、1998年以降の、お客様のそばで営業するという方針に従って、中国に完全子会社を設立しました。
SCREWLINEドライ圧縮式真空ポンプが発売されました。
ケルンに高真空技術の製造施設が新設され、高まる研究開発作業の要件に対応できるようになりました。
経済成長に支えられて、UNAXISグループがOerlikonへと企業名を変更しました。これにより、当社の社名はOerlikon Leybold Vacuumとなりました。
現代の過酷な研究および産業アプリケーションに対応するために、SCREWLINEなどのドライ圧縮スクリューポンプがバックポンプとして選ばれています。これらのポンプは油封式ポンプに比べてパワフルで信頼性が高く、コンパクトで低メンテナンスな設計により、真空ポンプを必要とするあらゆるアプリケーションに対応します。主な利点としては、柔軟性が高く幅広いアプリケーションに対応することや、製造の合間にお客様が現場で清掃できること、各種の接続に対応し、あらゆるシステムに簡単に統合できることなどが挙げられます。
柔軟性がさらに高められ、幅広いアプリケーションに対応するRUVAC WHルーツ真空ポンプが発売されました。このポンプは製造の合間にお客様が現場で清掃できます。また、各種の接続に対応し、あらゆるシステムに簡単に統合できます。
このポンプもドライスクリューテクノロジーを基礎としており、コンパクトな設計でありながら、静音運転、低廃熱、冷却水量の削減など、数々の特長を備えています。周波数変換器が内蔵されており、設置の手間が軽減されます。
TURBOVAC MAGiNTEGRA磁気浮遊式ターボ分子ポンプは、個別の周波数変換器が不要なため、スペースを取りません。コンパクトで柔軟な設計、優れた真空性能、および標準化された数々のアクセサリーを備えています。ディスプレイ、太陽光、コーティング、研究開発アプリケーションなど、ほとんどの産業プロセスにおいてメンテナンスフリーの稼働を実現します。
最新の分析機器には最先端のコンポーネントが必要です。特に質量分析計では、コンポーネントが相互に高い精度で一致する必要があります。新型のターボ分子ポンプにより、分析のスループットが大幅に向上します。当社は従来の性能課題に対処するため、革新的なターボ分子ポンプを設計しました。TURBOVAC iポンプは、分析機器市場向けにカスタム設計されています。
サービス活動をドレスデンに移し、サービス機能のためのEUセンターを設立しました。
スウェーデンの企業であるアトラスコプコ AB社がライボルトの株式を100%取得しました。アトラスコプコは、180ヵ国以上に顧客を持ち、従業員数は約4万人のマルチブランドグループです。当社はアトラスコプコの真空技術事業分野の一部となりました。アトラスコプコは当社の伝統あるブランド力を活用して、革新的技術の専門知識を補完し、スウェーデン市場での存在感を高めています。
15年の時を経て、高まる品質要件に対応するヘリウムリークディテクターの新シリーズであるPHOENIX 4が発売されました。この革新的な製品は、研究開発の要件から産業アプリケーションまで等しく適しており、CERNの粒子加速器の超高真空要件から、ハイパーループ真空輸送システムや半導体製造のリーク検知まで、幅広く対応します。
研究および産業分野のユーザーの間では、柔軟な使用に対応する、ドライで堅牢な真空ソリューションの利用が拡大しています。最新型の空冷式SCROLLVAC plusは、これらの要件に対応するシンプルで信頼性の高いフォアバキュームポンプの新製品です。
SOGEVAC真空ポンプの新世代モデルには、トリプルヒットの真空テクノロジーが採用されており、クリーンで静かな長時間運転性能を実現します。
当社は、特に産業プロセス向けに、ドイツでVARODRY真空ポンプ新シリーズを設計、製造しました。VARODRYにより、簡単、効率的、高い信頼性でドライの真空を供給できます。
従来は、油封式ロータリーベーンポンプが食品加工業界の基準でした。しかし、このタイプのポンプは現場の汚染、さらには食品の汚染につながるため、使用にリスクを伴います。こうしたリスクを回避し、製品の鮮度を保証するために、「NOVADRY」が開発されました。この100%オイルフリーの真空ポンプは市場に革命をもたらしました。
新世代のECODRY plusの登場により、ドライ多段テクノロジーがさらに進化しました。この製品は小型、スマートな運転、短時間のポンプダウン、環境への配慮などの利点を併せ持っています。新型のドライ圧縮式真空ポンプは、特に分析アプリケーションでの使用に適しています。
排気速度が900L/Sを超える、より大型のハイブリッドターボ分子真空ポンプの開発は、当社の不変のパイオニア精神を示す成果の1つです。
ビジネスマンのエルンスト・ライボルトは、1850年にローテンブルクからケルンに移り、最初の会社を設立しました。当初は医療用ガラス器具、軟膏用ポット、温度計、秤の販売と輸入から始まりましたが、1854年に物理機器、製薬機器、化学機器などの製品ラインに事業を拡張しました。1863年、エルンスト・ライボルトは、E. Leyboltの社名で会社を引き継ぎました。
1870年、エルンスト・ライボルトは事業を売却しましたが、その後も会社はE. Leybold’s Nachfolger社として運営されました。
1871年の製品ラインには、585種類の物理機器に加えて、市場初の「物理キャビネット」(一連の機器と計器の完全なコレクション)などがありました。当社が誇る過去最大の取引は、エクアドルのキト大学から受注したもので、総額は3万ターレル(現在の価値で約25万米ドル)に上りました。これにより、当社は世界的な名声を確立しました。1876年には、中学校と高等学校向けに物理機器カタログを初めて発行しました。製品ラインは徐々に拡張され、ラボ向けの化学装置も取り扱うようになりました。その4年後には、クルックス実験に関する特別カタログが発行され、それには以下の一節がありました。「時に刺激的な新しい高真空製品の開発が、さらなる実験を誘発することは間違いありません」。そのような実験を実証するために、水銀柱を交互に上下させることによって手動で操作する、初期の容積式真空ポンプであるテープラーポンプがカタログで紹介されています。
真空技術の一連の成功は1906年に始まりました。カールスルーエの物理学教授であったヴォルフガング・ゲーデ博士との協力はとても実り多いものでした。分子エアポンプの発明、ターボ分子ポンプの原理(1911年)、拡散ポンプの採用(1913年)、可動部品をなくした拡散ポンプなど、ゲーデ博士との協力を通じて重要な革新技術が実現し、その重要性は今も変わることはありません。
ハーナウのW.C. Heraeus GmbH社の物理試験室長であったヴィルヘルム・ローン博士が、高純度金属を真空化で溶解させるプロセスを開発しました。これにより、鉄鋼や非鉄金属の品質が大幅に改善されました。
これは、真空コーティング技術のもう1つのマイルストーンとなりました。同年、マンフレート・デュンケル博士がE. Leybold’s Nachfolger社のマネージングディレクターに就任し、1967年まで当社を成功に導きました。この時代は、産業アプリケーションで真空技術の利用が拡大した重要な時期でした。この時代を経て、研究成果をプロセスエンジニアリングに応用するために、技術と科学の知識以外にも優れた管理能力が求められるようになりました。
1916年、ドイツの産業科学評議会は、ヴェルナー・フォン・シーメンスの生誕100年を記念して、シーメンス・リング財団を設立しました。定款第1条に従って、財団は「科学技術に優れた貢献をし、広く認められた個人を表彰する目標を掲げていました。従って、(シーメンス・リングは)研究成果を通じて科学分野に刺激を与えた技術者と、研究を通じて新たな技術分野を開拓した科学者に賞を授与するべき」としています。
最も特筆すべき新設計は「大規模産業の要件に対応する」「ルーツポンプ」(現在の「ルーツブロワー」)が中心です。カタログには、「最新の真空プロセスエンジニアリングでは、大部分のプロセスで高純度真空範囲の高いフローが求められます。例えば、高純度真空プロセスでは1 torr未満の圧力で大量のガスや水蒸気が生成されます。そのため真空技術には、大量のガスを経済的かつ効率的に排気するという使命が課されます」と記載されています。真空含浸、化学処理、製薬、食品のフリーズドライ、高真空および超高真空コーティング工場、金属の脱ガスなどの分野で多くの取り組みが行われてきました。これと同時に、すべての真空圧ライン用のポンプ、バルブ、ゲージなどの標準的な真空コンポーネント、リークディテクターなどの標準的な真空コンポーネントおよび技術教育ツールのラインアップの開発も大規模に継続されており、着実に拡張されています。
新会社の社名はLeybold-Heraeus GmbH社で、株式はDegussa、Metallgesellschaft、W.C. Heraeusの各社間で均等に配分されました
1970年代半ば、高真空技術の新時代が公式に幕を開け、「磁気浮上式ターボ分子ポンプの時代」と呼ばれました。当社は、このタイプのポンプを商業化した世界初の真空企業でした。1980年代と1990年代には、炭化水素フリーである磁気浮上式ターボ分子ポンプが、半導体業界で最も重要な高真空ポンプとなりました。高速回転する内部部品の「ベアリング」には、電磁石が採用されています。
このタイプのポンプは、現在でも多くの真空アプリケーションで広く利用されています。真空タンクでオイル分子を許容できるお客様にとって、ロータリーベーン真空ポンプは低真空アプリケーションにおいて極めてパワフルであり、高い信頼性を発揮します。
インテリジェントな駆動管理機能を備えた初のターボ分子ポンプが発売されました。
新興経済地域の高い可能性を活用し、1998年以降の、お客様のそばで営業するという方針に従って、中国に完全子会社を設立しました。
SCREWLINEドライ圧縮式真空ポンプが発売されました。
ケルンに高真空技術の製造施設が新設され、高まる研究開発作業の要件に対応できるようになりました。
経済成長に支えられて、UNAXISグループがOerlikonへと企業名を変更しました。これにより、当社の社名はOerlikon Leybold Vacuumとなりました。
現代の過酷な研究および産業アプリケーションに対応するために、SCREWLINEなどのドライ圧縮スクリューポンプがバックポンプとして選ばれています。これらのポンプは油封式ポンプに比べてパワフルで信頼性が高く、コンパクトで低メンテナンスな設計により、真空ポンプを必要とするあらゆるアプリケーションに対応します。主な利点としては、柔軟性が高く幅広いアプリケーションに対応することや、製造の合間にお客様が現場で清掃できること、各種の接続に対応し、あらゆるシステムに簡単に統合できることなどが挙げられます。
柔軟性がさらに高められ、幅広いアプリケーションに対応するRUVAC WHルーツ真空ポンプが発売されました。このポンプは製造の合間にお客様が現場で清掃できます。また、各種の接続に対応し、あらゆるシステムに簡単に統合できます。
このポンプもドライスクリューテクノロジーを基礎としており、コンパクトな設計でありながら、静音運転、低廃熱、冷却水量の削減など、数々の特長を備えています。周波数変換器が内蔵されており、設置の手間が軽減されます。
TURBOVAC MAGiNTEGRA磁気浮遊式ターボ分子ポンプは、個別の周波数変換器が不要なため、スペースを取りません。コンパクトで柔軟な設計、優れた真空性能、および標準化された数々のアクセサリーを備えています。ディスプレイ、太陽光、コーティング、研究開発アプリケーションなど、ほとんどの産業プロセスにおいてメンテナンスフリーの稼働を実現します。
最新の分析機器には最先端のコンポーネントが必要です。特に質量分析計では、コンポーネントが相互に高い精度で一致する必要があります。新型のターボ分子ポンプにより、分析のスループットが大幅に向上します。当社は従来の性能課題に対処するため、革新的なターボ分子ポンプを設計しました。TURBOVAC iポンプは、分析機器市場向けにカスタム設計されています。
サービス活動をドレスデンに移し、サービス機能のためのEUセンターを設立しました。
スウェーデンの企業であるアトラスコプコ AB社がライボルトの株式を100%取得しました。アトラスコプコは、180ヵ国以上に顧客を持ち、従業員数は約4万人のマルチブランドグループです。当社はアトラスコプコの真空技術事業分野の一部となりました。アトラスコプコは当社の伝統あるブランド力を活用して、革新的技術の専門知識を補完し、スウェーデン市場での存在感を高めています。
15年の時を経て、高まる品質要件に対応するヘリウムリークディテクターの新シリーズであるPHOENIX 4が発売されました。この革新的な製品は、研究開発の要件から産業アプリケーションまで等しく適しており、CERNの粒子加速器の超高真空要件から、ハイパーループ真空輸送システムや半導体製造のリーク検知まで、幅広く対応します。
研究および産業分野のユーザーの間では、柔軟な使用に対応する、ドライで堅牢な真空ソリューションの利用が拡大しています。最新型の空冷式SCROLLVAC plusは、これらの要件に対応するシンプルで信頼性の高いフォアバキュームポンプの新製品です。
SOGEVAC真空ポンプの新世代モデルには、トリプルヒットの真空テクノロジーが採用されており、クリーンで静かな長時間運転性能を実現します。
当社は、特に産業プロセス向けに、ドイツでVARODRY真空ポンプ新シリーズを設計、製造しました。VARODRYにより、簡単、効率的、高い信頼性でドライの真空を供給できます。
従来は、油封式ロータリーベーンポンプが食品加工業界の基準でした。しかし、このタイプのポンプは現場の汚染、さらには食品の汚染につながるため、使用にリスクを伴います。こうしたリスクを回避し、製品の鮮度を保証するために、「NOVADRY」が開発されました。この100%オイルフリーの真空ポンプは市場に革命をもたらしました。
新世代のECODRY plusの登場により、ドライ多段テクノロジーがさらに進化しました。この製品は小型、スマートな運転、短時間のポンプダウン、環境への配慮などの利点を併せ持っています。新型のドライ圧縮式真空ポンプは、特に分析アプリケーションでの使用に適しています。
排気速度が900L/Sを超える、より大型のハイブリッドターボ分子真空ポンプの開発は、当社の不変のパイオニア精神を示す成果の1つです。